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SEM—EPMA中电磁物镜工作距离的计算
引用本文:
江家蓥.SEM—EPMA中电磁物镜工作距离的计算[J].光仪技术,2000,16(3):7-16.
作者姓名:
江家蓥
摘 要:
工作距离1和象差系数Cs、Cc之比1/Cs、1/Cc是设计和实验工作者经常用到的。本文推导了1/Cs、1/Cc的表达式,讨论了物镜有限缩小倍数M对它们的影响,计算了几种透镜几何参数下它们的数值并绘成曲线。
关 键 词:
SEM-EPMA
电磁物镜
工作距离
计算
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