| 512×512元PtSi肖特基势垒IR CCD图像传感器 |
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| 引用本文： | 熊平,周旭东,邓光华,李作金,王颖,李华高,袁礼华,蒋志伟.512×512元PtSi肖特基势垒IR CCD图像传感器[J].半导体光电,2003,24(3):154-156. |
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| 作者姓名： | 熊平 周旭东 邓光华 李作金 王颖 李华高 袁礼华 蒋志伟 |
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| 作者单位： | 重庆光电技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 研制了隔行扫描单片式内线转移结构512×512元PtSi肖特基势垒红外电荷耦合器件(CCD)。器件采用最小2μm设计规则,两层多晶硅结构。器件的像元尺寸为36μm(H)×34μm(V),填充系数为40％。器件工作在80K温度下。在阵列帧频为30帧每秒及镜头为 F/1条件下,器件噪声等效温差为0.15K。用1000K黑体测得其探测率D~*为1×10~(10)cm·Hz~(1/2)/W。对器件设计及性能测试结果进行了介绍。
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| 关 键 词： | PtSi CCD 图像传感器 |
| 文章编号： | 1001-5868(2003)03-0154-03 |
| 修稿时间： | 2003年2月24日 |
512×512 Element PtSi Schottky-barrier IR CCD Image Sensor |
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| XIONG Ping,ZHOU Xu-dong,DENG Guang-hua,LI Zuo-jin,WANG Ying,LI Hua-gao,YUAN Li-hua,JIANG Zhi-wei.512×512 Element PtSi Schottky-barrier IR CCD Image Sensor[J].Semiconductor Optoelectronics,2003,24(3):154-156. |
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| Authors: | XIONG Ping ZHOU Xu-dong DENG Guang-hua LI Zuo-jin WANG Ying LI Hua-gao YUAN Li-hua JIANG Zhi-wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PtSi CCD image sensor |
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