| MEMS在电气设备中应用探讨 |
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| 引用本文： | 康明才,吴军基,黄锦安.MEMS在电气设备中应用探讨[J].微纳电子技术,2003,40(10):35-37. |
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| 作者姓名： | 康明才 吴军基 黄锦安 |
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| 作者单位： | 南京理工大学,江苏,南京,210094 |
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| 摘 要： | 以电力系统保护为背景,分析了微电子机械系统(MEMS)的发展使电气设备实现小型化、智能化的可能性;论述了微电器应具备的特征;讨论了微电气设备的特点。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微型智能电器 电力系统 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)10-0035-03 |
| 修稿时间： | 2003年5月13日 |
Discussion of MEMS application in electrical equipments |
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| KANG Ming-cai,WU Jun-ji,HUANG Jin-an.Discussion of MEMS application in electrical equipments[J].Micronanoelectronic Technology,2003,40(10):35-37. |
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| Authors: | KANG Ming-cai WU Jun-ji HUANG Jin-an |
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| Abstract: | The development of MEMS makes it possible for electrical equipments to be miniatur-ized and intelligentized under the background of power system protection.The characters and fea-tures of the electrial equipments is deseribed,and the direction of MEMS application in electri-cal equipments is discussed. |
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| Keywords: | MEMS micro-electrical intelligence equipment power system |
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