|
|||||
|
|
| 新的电子束投影曝光机 | |
| 作者姓名： | 风雷 |
| 摘 要： | 美帝休格公司制成新的电子束投影曝光机,可代替威斯汀豪斯公司1969年研制的电子束图象投影系统。在操作中,要在片子上曝光的集成电路图形置于移象管的光电阴极部位,采用普通的接触印制方法或电子束描扫方法均可。把涂复钯的光电阴极和片子(它作为阳极)放在真空中,使紫外线通过阴极(或掩模),电子便从钯涂层中发射出来。电子达到10000电子伏的 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||
|
||||||||||||
|
||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |