激光预处理硬质合金衬底沉积金刚石薄膜研究 |
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引用本文: | 李成明,吕反修.激光预处理硬质合金衬底沉积金刚石薄膜研究[J].金属热处理学报,1996,17(4):7-11. |
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作者姓名: | 李成明 吕反修 |
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作者单位: | [1]太原工业大学 [2]北京科技大学 |
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摘 要: | 研究了准分子激光辐照对WC-6wt%Co硬质合金工具衬底沉积金刚石膜的影响。证实准分子激光辐照可产生钴选择性蒸发和表面粗糙化;从而有效地降低表面钴含量,消除钴对金刚石膜沉积的有害影响。
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关 键 词: | 硬质合金 激光预处理 金刚石薄膜 CVD |
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