| 数字微镜纳米接触粘着力研究 |
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| 引用本文： | 田文超,贾建援. 数字微镜纳米接触粘着力研究[J]. 微纳电子技术, 2002, 39(10): 24-30 |
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| 作者姓名： | 田文超 贾建援 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学机电工程学院,陕西,西安,710071 |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基金项目(99X05)和西安电子科技大学青年科研工作站资助项目 |
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| 摘 要： | 针对由于尺寸效应导致粘着力对微电子机械性能影响的问题,建立了数字微镜的弹性片同基底之间纳米接触的物理模型。根据Hamaker三个假设和Lennard-Jones势理论,用连续方法推导出弹性片同基底之间粘着力的力学模型,并得到数值结果。仿真出粘着力同接触间距以及弹性变形的关系,数值结果和仿真结果同相关实验一致,从而得出粘着力在微电子机械中不可忽略的结论,为纳米碰撞及纳米摩擦、纳米接触的进一步研究提供了理论基础。
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| 关 键 词： | 微电子机械 纳米接触 数字微镜 粘着力 尺寸效应 |
| 文章编号： | 1671-4776(2002)10-0027-04 |
| 修稿时间： | 2002-07-13 |
Adhesion research of digital micromirror nano-contact |
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| TIAN Wen-chao,JIA Jian-yuan. Adhesion research of digital micromirror nano-contact[J]. Micronanoelectronic Technology, 2002, 39(10): 24-30 |
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| Authors: | TIAN Wen-chao JIA Jian-yuan |
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| Abstract: | In order to solve the adhesion effect on the micro-elecmechanics capability,the nano-contact model of digital micromirror between the elastic flake and basis is founded in this paper.Based on the Hamaker three hypothesizes and Lennard-Jones potential,the mechanic equation is obtained with continuance method,followed by the simulation of the relation between the adhe-sion and contact interval.The result is agreed with the relative experimentation. |
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| Keywords: | micro-elecmechanics(MEMS ) nano-contact digital micromirror adhesion size effect |
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