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| 在线气体过滤器 | |
| 摘 要： | <正> 英国Millipore公司现已开发了一种新型Wafergard在线气体过滤器——WafergardⅡF Mini In-Line。 该过滤器的最大流量为30sl/min,能滞留所有大于0.003μm颗粒。安装后十分钟内就能达到小于10 ppmb湿度和每立方英尺少于一个颗粒(粒径大于0.01μm)的出 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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