质量流量控制器动态配气装置量值溯源方法分析

质量流量控制器动态配气装置,其配气重复性好、响应度快,可以实现高精度的连续自动化配气。文章首先讲述了流量比混合法动态配气原理和质量流量控制器(MFC)动态配气装置原理,并介绍了将质量流量控制器动态配气装置中各个质量流量控制器流量溯源于上级电子皂膜流量标准装置的量值溯源方法。通过校准质量流量控制器后,以气相色谱仪对氮中一氧化碳有证标准物质和质量流量控制器动态配气装置配制气数据分析结果为验证依据的试验方法,得出现有量值溯源方法下仍会引入一定配气误差,为保证配制标准气体精度,给出基于现有量值溯源方法的新的建议。