| 单晶炉压力自动控制系统的实现 |
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| 引用本文： | 李海霞,杜青青.单晶炉压力自动控制系统的实现[J].工业仪表与自动化装置,2019(1):93-96. |
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| 作者姓名： | 李海霞 杜青青 |
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| 作者单位： | 兰州石化职业技术学院,兰州,730060;兰州石化职业技术学院,兰州,730060 |
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| 摘 要： | 根据硅单晶炉真空系统技术特点,从炉内真空系统的抽气、充气控制等方面进行改进和完善,并采用带有前馈的PID算法实现压力的自动控制。结合工业PLC和人机界面进行编程,在实际工业中的应用表明,该压力自动控制系统可保证炉内真空达到高稳定性,拉出高品质单晶。
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| 关 键 词： | 单晶炉 真空与充气系统 压力控制 PID |
Implementation of a single crystal furnace pressure automatic control system |
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| LI Haixia,DU Qingqing.Implementation of a single crystal furnace pressure automatic control system[J].Industrial Instrumentation & Automation,2019(1):93-96. |
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| Authors: | LI Haixia DU Qingqing |
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| Affiliation: | (Lanzhou Petrochemical College of Vocational Technology,Lanzhou 730060,China) |
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| Abstract: | LI Haixia;DU Qingqing(Lanzhou Petrochemical College of Vocational Technology,Lanzhou 730060,China) |
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| Keywords: | crystal growing furnace evacuating-charging system pressure control PID |
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