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离子束增强沉积CrN镀层及热力学分析
引用本文:唐宾.离子束增强沉积CrN镀层及热力学分析[J].材料热处理学报,1999(3).
作者姓名:唐宾
作者单位:太原理工大学表面工程研究所!西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
摘    要:利用IBED 技术,在Si(111) 和GCr15 轴承钢基体上沉积CrN 镀层。研究N+ + N+2 离子轰击能量和Nions/Cratoms 到达比对镀层组织结构的影响。结果表明,氮离子轰击能量的增加促进CrNCrN(200) 择尤生长;但Nions/Cr atoms 比从1.45 ×10 - 2 增至3.67 ×10 - 2 和5.87 ×10 - 2时,镀层中CrN 组分非但没有增多,Cr 反而以Cr2O3 形态存在。

关 键 词:离子束增强沉积(IBED)  CrN  组织结构  热力学

Analyses of Cr\|N Coatings by Ion Beam Enhanced Deposition and Thermodynamics
Tang Bin.Analyses of Cr\|N Coatings by Ion Beam Enhanced Deposition and Thermodynamics[J].Transactions of Materials and Heat Treatment,1999(3).
Authors:Tang Bin
Abstract:
Keywords:IBED  \ Cr\|N  \ structure  \ thermodynamics
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