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| 成象法激光微加工的研究 | |
| 引用本文： | 龚焕明,罗伟民,施亚玲.成象法激光微加工的研究[J].应用激光,1984(5). |
| 作者姓名： | 龚焕明 罗伟民 施亚玲 |
| 作者单位： | 上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所 |
| 摘 要： | 从光的衍射理论和几何成象理论出发,分析研究了显微物镜焦平面附近小孔光栏的衍射和象平面位置上的成象。用YAG激光器加工出了几微米宽的长方孔。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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