第三十二届国际三束会议介绍

这次会议于88年5月31日至6月3日在美国佛罗里达州的洛德代尔堡举行。参加会议代表最多的为美国(273人),其次是欧州(71人)和日本(33人),提交大会的论文共171篇,大会同意采纳129篇,比以往各届有较大的增加。从内容来看,电子束占18％,离子束占18％,抗蚀剂占17％,X射线占13％,微细器件加工占11％,蚀刻占9％,其余为物理评价和表面反应等内容的文章。从提供论文的数量来分,美国占62％,日本占16％,西德占9％。