|
|||||
|
|
| 等离子体加工中的计算机建模 | |
| 引用本文： | 刘之景,刘晨.等离子体加工中的计算机建模[J].表面技术,1999,28(2):26-28. |
| 作者姓名： | 刘之景 刘晨 |
| 作者单位： | [1]中国科学技术大学天文与应用物理系 [2]中国科学技术大学电子工程和信息科学系 |
| 摘 要： | 介绍了等离子体刻蚀和沉积加工的工业应用，指出在产品加工和设计中，计算机建模的重要性和必要性，强调了等离子体刻蚀反应器，热喷射系统和等离子体化学蒸气沉积中所使用的计算机模型。 |
| 关 键 词： | 沉积 刻蚀 计算机 建模 等离子体加工 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |