| 基于钝化微分的压电微动平台PID控制 |
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| 引用本文： | 刘尔春,孙庆龙,卢志诚,惠相君,周鹏飞,汪家乐,孙靖康,崔玉国.基于钝化微分的压电微动平台PID控制[J].压电与声光,2019,41(1):89-93. |
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| 作者姓名： | 刘尔春 孙庆龙 卢志诚 惠相君 周鹏飞 汪家乐 孙靖康 崔玉国 |
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| 作者单位： | ;1.宁波大学机械工程与力学学院;2.首信自动化有限公司 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51675288)；宁波市工业攻关重大专项基金资助项目(2016B10017) |
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| 摘 要： | 为避免压电微动平台在工作过程中受到扰动或冲击,采用改进比例、积分、微分(PID)控制器对其进行控制。首先,在平台的PID控制器中引入低通滤波器,以降低微分环节对扰动或冲击的敏感性(即使微分环节对扰动或冲击产生钝化效应),进而设计出了压电微动平台的改进PID控制器;接着,基于所搭建的压电微动平台位移测量系统,实验验证了所设计的钝化微分PID控制器的效果。实验结果表明,在钝化微分PID控制作用下,平台具有较快的响应,达到5μm阶跃目标的响应时间为0.3s,无超调;平台的定位误差显著减小,在跟踪最大值为15.25μm的变幅值三角波时,定位误差中线由无控制时的-0.7～1.2μm减小为-0.1～0.1μm。
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| 关 键 词： | 微动平台 压电执行器 PID控制 钝化微分 |
PID Control of Piezoelectric Micro positioning Stage Based on Passivation Differential |
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| LIU Erchun,SUN Qinglong,LU Zhicheng,HUI Xiangjun,ZHOU Pengfei,WANG Jiale,SUN Jingkang,CUI Yuguo.PID Control of Piezoelectric Micro positioning Stage Based on Passivation Differential[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2019,41(1):89-93. |
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| Authors: | LIU Erchun SUN Qinglong LU Zhicheng HUI Xiangjun ZHOU Pengfei WANG Jiale SUN Jingkang CUI Yuguo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro positioning stage piezoelectric actuator PID control passivation differential |
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