| CVD制备3C-SiC及其应用于MEMS的研究进展 |
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| 引用本文： | 严春雷,刘荣军,曹英斌,张长瑞,张德坷. CVD制备3C-SiC及其应用于MEMS的研究进展[J]. 材料导报, 2012, 26(21): 13-16,29. DOI: 10.3969/j.issn.1005-023X.2012.21.003 |
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| 作者姓名： | 严春雷 刘荣军 曹英斌 张长瑞 张德坷 |
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| 作者单位： | 1.国防科学技术大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室,长沙,410073;2.国防科学技术大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室,长沙,410073;3.国防科学技术大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室,长沙,410073;4.国防科学技术大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室,长沙,410073;5.国防科学技术大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室,长沙,410073 |
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| 摘 要： | 高温、强振、强腐蚀、高湿等恶劣环境中的监测和控制系统对MEMS (Microelectromechanical systems)提出了新的挑战.SiC具有化学惰性,高热导率及优良的力学、电学、高温性能,在MEMS技术中备受青睐,成为SiMEMS体系极具竞争力的替代材料.综述了关于立方相碳化硅(3C-SiC)薄膜的化学气相沉积(CVD)制备方法,介绍了其力学、电学性能的最新研究进展,最后举例说明了3C-SiC薄膜在MEMS器件中应用的研究现状.
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| 关 键 词： | 立方相碳化硅薄膜 化学气相沉积 力学性能 电学性能 MEMS器件 |
Research Progress of 3C-SiC:Preparation by CVD and Application in MEMS |
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| YAN Chunlei , LIU Rongjun , CAO Yingbin , ZHANG Changrui , ZHANG Deke. Research Progress of 3C-SiC:Preparation by CVD and Application in MEMS[J]. Materials Review, 2012, 26(21): 13-16,29. DOI: 10.3969/j.issn.1005-023X.2012.21.003 |
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| Authors: | YAN Chunlei LIU Rongjun CAO Yingbin ZHANG Changrui ZHANG Deke |
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| Affiliation: | (State Key Laboratory of Advanced Ceramic Fibers & Composites,College of Aerospace & Materials Engineering, National University of Defense Technology,Changsha 410073) |
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