晶圆传输机械手的实现途径及其结构设计

晶圆传输是集成电路制造设备的组成部分之一；研究晶圆传输核心部件机械手的实现途径和国内外的技术状况，分析晶圆传输机械手的更新和迭代，探讨传输精度和效率的优化措施。通过对应用技术和需求分析，对其机械结构和末端执行器进行逆向设计并对其性能进行测试，把设计固化为可以应用的技术成果；同时提出了晶圆传输机械手的优化方向，为后期技术升级和产业化提供了理论依据，其研究结果对同类设计具有借鉴意义。