SiC外延炉模块化集成制造技术探索与研究

SiC外延炉是半导体行业中的一项重要设备，其主要作用是在衬底上生长出高品质、大面积、无杂质的SiC外延薄膜。简要介绍了SiC外延炉模块化集成制造技术，并通过实施模块化集成制造技术方案，解决了设备生产周期长的问题，有效地降低了制造成本。