第二章 显象管内电子诱导解吸的研究

§1引言 当电子碰撞固体表面时,可以从固体表面上激发出下述粒子。 (a)中性分子、原子或分子碎片; (b)受激中性粒子; (c)正的或负的离子。 这个过程为电子诱导解吸,简称EID(Electron Incluced Desorption)或者称为电解吸。 存在有电子束的真空器件中,不能忽视EID,因为它会引起如下后果: (1)中性粒子的释放,成为超高空真空状态中的主要气源,使容器内的压力上升。 (2)受激中性分子或化学活性碎片的释放。结果这些气体与其它一些表面发生化学反应,导致了气体成份的变化。 (3)释出的受激中性粒子足以从表面释放出电子。 此外,由于电子的轰击,从阳极解吸出离子,造成浪涌电流的产生,导致真空高压击穿。在B-A规里,EID的离子脱附,会出现反常的本底电流,造成气体压力的测量误差。