| 不同衬底上LaNiO3导电氧化物薄膜的制备和研究 |
| |
| 引用本文： | 李建康,姚熹.不同衬底上LaNiO3导电氧化物薄膜的制备和研究[J].功能材料与器件学报,2005,11(3):318-322. |
| |
| 作者姓名： | 李建康 姚熹 |
| |
| 作者单位： | 苏州科技学院电子与信息工程系,苏州,215011;西安交通大学电子材料研究所,西安,710049 |
| |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划（No.2002CB613304）;江苏省自然科学基金（BK2005039） |
| |
| 摘 要： | 通过MOD法和快速热处理过程,在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了LaNiO3(LNO)导电氧化物薄膜.经XRD结构分析表明,所制备的LNO薄膜具有纯的钙钛矿结构,并且以(100)方向择优取向.经SEM和AFM分析表明,LNO薄膜具有表面均匀、无裂纹.经标准四探针法测试表明,LNO薄膜具有好的金属特性,其室温电阻率为7.6×10-4Ω·cm.铁电性能测试表明,LNO薄膜可以提高PZT铁电薄膜的剩余极化强度.
|
| 关 键 词： | LaNiO3薄膜 快速热处理 钙钛矿结构 |
| 文章编号： | 1007-4252（2005）03-0318-05 |
| 收稿时间： | 2005-01-14 |
| 修稿时间： | 2005-03-03 |
Preparation and study of conductive LaNiO3 thin films on different substrates |
| |
| LI Jian-Kang,YAO Xi.Preparation and study of conductive LaNiO3 thin films on different substrates[J].Journal of Functional Materials and Devices,2005,11(3):318-322. |
| |
| Authors: | LI Jian-Kang YAO Xi |
| |
| Affiliation: | LI Jian-kang~1,YAO Xi~2 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | LaNiO3 thin films rapid thermal process perovskite-type structure |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
