| 一种便携式光学表面轮廓仪 |
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| 引用本文： | 张瑜,陈宇琪,陈磊. 一种便携式光学表面轮廓仪[J]. 光学仪器, 2016, 38(2): 178-184. DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2016.02.016 |
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| 作者姓名： | 张瑜 陈宇琪 陈磊 |
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| 作者单位： | 1. 南京理工大学 电子工程与光电技术学院,江苏南京,210094;2. 金智视讯技术有限公司,江苏南京,211100 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(U1231111) |
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| 摘 要： | 研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用于大、小口径元件表面测量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明,仪器的粗糙度测量精度为0.1nm,重复性误差优于0.01nm,横向分辨率优于1μm。
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| 关 键 词： | 短相干光相移干涉 表面轮廓 干涉显微镜 粗糙度 |
| 收稿时间： | 2015-07-24 |
A portable microscopic profilometer |
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| ZHANG Yu,CHEN Yuqi and CHEN Lei. A portable microscopic profilometer[J]. Optical Instruments, 2016, 38(2): 178-184. DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2016.02.016 |
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| Authors: | ZHANG Yu CHEN Yuqi CHEN Lei |
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| Affiliation: | School of Electronic and Optical Engineering, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China,Jinzhi Video Technology Co., Ltd., Nanjing 211100, China and School of Electronic and Optical Engineering, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | short-coherent light phase-shifting interferomotry surface profile interference microscope roughness |
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