| 二氧化钒纳米周期点阵的光学特性 |
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| 引用本文： | 唐佳茵,李毅,孙瑶,刘飞,郝如龙,伍征义,蒋蔚,徐婷婷,陈培祖,方宝英,王晓华,肖寒. 二氧化钒纳米周期点阵的光学特性[J]. 红外与毫米波学报, 2016, 35(2): 227-233 |
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| 作者姓名： | 唐佳茵 李毅 孙瑶 刘飞 郝如龙 伍征义 蒋蔚 徐婷婷 陈培祖 方宝英 王晓华 肖寒 |
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| 作者单位： | 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海电力学院计算机与信息工程学院,上海理工大学光电信息与计算机工程学院 |
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| 基金项目： | 国家“863”计划(2006AA03Z348)；教育部科学技术研究重点项目(207033)；上海市科学技术委员会科技攻关计划(06DZ11415)；上海市教育委员会科技创新重点项目(10ZZ94)；上海市领军人才计划资助项目。 |
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| 摘 要： | 为了得到相变温度低且性能优越的智能窗光学材料,基于时域有限差分法模拟计算了不同结构的VO_2纳米周期点阵相变前后的光学特性,优选出最佳的VO_2纳米周期点阵结构.采用直流磁控溅射和后退火工艺在玻璃衬底上制备VO_2薄膜,再利用掩膜光刻的方法制备VO_2纳米周期点阵结构,测试其组分结构,反射和透过率曲线.结果表明,填充比为0.74的圆形纳米周期点阵的相变温度有效降低了约25℃,在波长为1700 nm处的透过率改变量达到39%,透过率整体高于VO_2薄膜,呈现出良好的相变光学特性,说明通过调控VO_2纳米周期点阵的结构可以有效提升材料的光学特性.
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| 关 键 词： | VO2 纳米周期点阵 光学特性 热致相变 |
| 收稿时间： | 2015-04-30 |
| 修稿时间： | 2015-12-18 |
Optical properties of VO2 nano periodic array |
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| TANG Jia-Yin,LI Yi,SUN Yao,LIU Fei,HAO Ru-Long,WU Zheng-Yi,JIANG Wei,XU Ting-Ting,CHEN Pei-Zu,FANG Bao-Ying,WANG Xiao-Hua and XIAO Han. Optical properties of VO2 nano periodic array[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2016, 35(2): 227-233 |
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| Authors: | TANG Jia-Yin LI Yi SUN Yao LIU Fei HAO Ru-Long WU Zheng-Yi JIANG Wei XU Ting-Ting CHEN Pei-Zu FANG Bao-Ying WANG Xiao-Hua XIAO Han |
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| Affiliation: | School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology,Department of Computer and Information Engineering, Shanghai University of Electric Power,School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | VO2 nano periodic array optical property thermochromism |
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