蘸水笔刻蚀技术（DPN） 的机理与进展

蘸水笔刻蚀（dip-pen nanolithography ，DPN）技术是近年来发展起来的基于原子力显微镜（AFM）的一种 扫描探针加工技术，有着广泛的应用前景。蘸水笔技术的刻蚀过程包括AFM 针尖对墨水分子的吸附、针尖与 基底间弯月液桥的形成、墨水分子在液桥中的传输、墨水分子在基底的扩散等四个阶段，并受温度、湿度、针 尖、扫描速度等多种因素的影响。文章具体分析了蘸水笔技术在不同阶段的作用机理，综合介绍了蘸水笔刻 蚀技术在近年来的进展，包括电化学DPN 技术、DPN 的多种加工模式、DPN 的复合加工及多探针的DPN 加工 等；分析了DPN的加工特点及其应用。