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| 用激光干涉法对溅射ZnO薄膜的厚度进行实时监控 | |
| 引用本文： | 王德和,沈自平,谢克诚,王晓苓.用激光干涉法对溅射ZnO薄膜的厚度进行实时监控[J].压电与声光,1983(5). |
| 作者姓名： | 王德和 沈自平 谢克诚 王晓苓 |
| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所 (王德和，沈自平，谢克诚)，四川压电与声光技术研究所(王晓苓) |
| 摘 要： | 本文介绍了激光干涉法监控薄膜厚度的原理与装置.本方法具有简单、方便、稳定可靠、图形直观等优点.对溅射ZnO薄膜的厚度进行实时监控,当厚度为4微米时,精度可达2%.监控厚度可达几十微米.本方法另一个突出的优点是可在不启开钟罩的条件下.方便地研究溅射成膜的各种工艺参数与膜的沉积速率的关系. |
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