| 基于小波变换的IC缺陷轮廓曲线分形维估计 |
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| 引用本文： | 孙晓丽,宋国乡.基于小波变换的IC缺陷轮廓曲线分形维估计[J].现代电子技术,2006,29(1):126-128. |
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| 作者姓名： | 孙晓丽 宋国乡 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学,理学院,陕西,西安,710071 |
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| 基金项目： | 国家863计划VLSI重大专项(2003AA121630) |
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| 摘 要： | 硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响。讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了一条新的途径。
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| 关 键 词： | IC缺陷轮廓 小波变换 分形维 集成电路 |
| 文章编号： | 1004-373X（2006）01-126-03 |
| 收稿时间： | 2005-09-16 |
| 修稿时间： | 2005年9月16日 |
The Estimation of Fractal Dimension of IC Defect Outline Based on Wavelet Transform |
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| SUN Xiaoli,SONG Guoxiang.The Estimation of Fractal Dimension of IC Defect Outline Based on Wavelet Transform[J].Modern Electronic Technique,2006,29(1):126-128. |
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| Authors: | SUN Xiaoli SONG Guoxiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | IC defect outline wavelet transform fractal dimension integrated circuit |
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