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相似文献
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1.
气敏器件的种类较多,例如QM-H1、QM-N5、QM-N10和QN系列气敏元件等。 QM-N5型气敏半导体器件是新型“气—电”传感器件,它适用于对可燃性气体的检测、检漏、监控等设备中做传感器件,具有灵敏度高、稳定性好、响应和恢复时间短、电导率变化大等优点。  相似文献   

2.
<正> 1 前言 目前国内外烧结气敏器件虽然商品化,但由于器件电参数离散性大,对满足传感仪器探头的互换和大批量生产还有困难,为此厚膜敏感器件的研究与应用更被人们所重视,厚膜气敏器件采用厚膜印刷工艺,其电参数一致性好,适合大批量生产。它与一般的半导体器件不仅工艺不同,而且其工作原理也有很大差异。厚膜气敏器件工作时,需要  相似文献   

3.
丁烷气敏传感器可靠性研究􀀁   总被引:1,自引:1,他引:0  
通过对旁热式下烷气敏传感器的工作寿命试验和试验数据的处理,获得了该元件的寿命分布及分参数等信息。了解了该类元件的可靠性水平,为评价和提高该气敏传感器的可靠性水平提供了依据。  相似文献   

4.
有限元方法在微结构气敏传感器设计中的应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
微结构气敏传感器是利用微电子,微机械和薄膜等技术制作的新一代的气敏元件。本文报道有凶方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用。结果表明,有限元方法可用于模拟膜片上的温度分布和器件功耗,对器件结构有很好的指导作用。  相似文献   

5.
叙述了场效应气敏器件的基本理论和重要研究方向-高温场效应气敏器件和阵列式智能气体传感器。  相似文献   

6.
<正> 本文介绍了一种新型的SnO_2半导体陶瓷烧结型乙醇敏感气敏元件,并就提高气敏器件分辨率进行了研究。 研制出的新型酒精敏感器件—MQY1。该器件对乙醇气体有很高的灵敏度,具有选择性好、性能稳定等优点。 该器件采用旁热式烧结工艺结构,以SnO_2  相似文献   

7.
对于表面控制型氧化物气敏器件工作机理的研究,人们已经做了大量的工作。提出了表面控制型氧化物气敏器件工作过程的一些定性的理论解释。这些理论解释均与试验结果相符合。本文将在这些理论解释的基础上,试图初步建立数学模型,用来对表面控制型气敏器件的工作过程进一步数学化来加以研究,使之逐步的完成理想化条件对器件工作过程进行定量分析。  相似文献   

8.
木文介绍的是用厚膜法制备气敏器件加热器的方法及初步探索。目的是为研制各种厚膜型器件及多功能器件提供必需的加热衬底。我们以95%Al_2O_3陶瓷做基片。在其一侧采用印刷技术先后制做电极、加热器及绝缘保护层;在另一侧,同样采用印刷技术先后制作电极及敏感材料。从以SnO_2为主体的敏感材料的试验结果来看,用厚膜法制备的气敏器件的加热衬底,完全可以满足加热要求;并可做为制做其它敏感器件加热衬底的方法。  相似文献   

9.
ZnO薄膜在传感器方面的最新应用进展   总被引:3,自引:1,他引:2  
ZnO薄膜是一种新型的、性能优良的半导体材料.本文详细介绍了ZnO薄膜在声光器件、压电器件、气敏元件、声表面波器件、压力元件、湿敏元件和紫外探测器等方面的最新应用进展,并对该材料的发展趋势进行了展望.  相似文献   

10.
<正> 电子敏感器件是一种新型的功能转换器件,它能将光、热、力、磁、超声、气氛等物理,化学和生物反映的信息量转换成电或其它信息,在工农业生产,能源和资源开发,交通运输,计算机接口,自动控制,检测,医疗环保,气象和灾害预测,民用电器等方面有广泛用途。为了推广目前国内研制、生产的光敏、力敏、气敏、磁敏及霍尔集成电路等半导体敏感器件,更好地与使  相似文献   

11.
本文以国内气敏传感器的现状为基础,探讨了气敏传感器今后的研究课题——提高可靠性、稳定性、长寿命化和多品种化的问题。  相似文献   

12.
本文介绍了一种Pd栅MOS结构的半导体气敏器件。在叙述Pd栅MOS晶体管气敏机理的基础上,着重讨论了钯栅厚度对器件灵敏度的影响。实验结果证明,Pd栅MOS晶体管的灵敏度随着钯栅厚度的增加而降低。在工作温度不太高的条件下,灵敏度随钯栅厚度的变化基本上不受温度的影响。另外,文中还扼要地阐述了钯栅M0S晶体管的结构、制造技术及器件灵敏度的测试原理和方法。研究结果对于MOS结构的半导体气敏传感器的研制具有重要的意义。  相似文献   

13.
利用可靠性设计技术,对α-Fe2O3气敏元件进行可靠性工艺设计。通过失效源的确立与分析,提高元件的成品率,实现气敏元件可靠性的增长。  相似文献   

14.
大多数实用气敏传感器是金属氧化物半导体或金属氧化物固体电解质材料制作的,所以,把它们分为氧化物半导体气敏传感器和氧化物固体电解质气敏传感器两类.前者利用待测气体与氧化物半导体的相互作用引起器件电导(或电阻)的变化来测定气体,后者 利用氧化物固体电解质制作的电池的电动势与气体浓度的关系来测定气体的.  相似文献   

15.
电流型二氧化碳气敏微电极的研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
本文提出并用微电极技术建立了基于室温下直接阴极还原CO_2的电流型二氧化碳气敏微电极.微CO_2电极体系由金(或铂)微工作电极、Ag/AgCl对电极(兼作参比电极)、含有非水电解质[二甲基亚砜(DMSO)和四乙基氯化铵(0.1mol·L~(-1))的支持芯及透气膜构成.该电极在0~100%CO_2的整个浓度范围内有良好的线性响应关系,与现有的CO_2气敏器件比较,它具有灵敏度高、响应速度快、工作稳定和整体性好等特性.这类采用非水电解质的电流型气敏微电极能被开发应用于室温检测其它非电化学活性气体.文中还根据微电极工作原理讨论了这种气敏器件的响应机制.  相似文献   

16.
微结构气敏传感器的热分析与结构设计   总被引:2,自引:0,他引:2  
微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化、易智能化、易批量生产等独物优点,受到国内外研究者的广泛重视。本文分析膜片型微结构气敏传感器基本单元的热学行为,用有限元方法模拟计算多种不同电极结构的器件功耗及工作区温度分布,提出了进一步降低黛耗改善工作区温度均匀性的途径和方法,并讨论了微结构气敏传感器设计中应着重考虑的问题。  相似文献   

17.
利用半导体r赤铁矿(即γ—Fe_2o_3陶瓷)研制出一种对易燃气体敏感元件,这种气敏元件是利用γ—Fe_2o_3半导体陶瓷具有显著的对气体敏感的现象制成的。从加速试验可以估算气敏元件的寿命,解释敏感性和老化机理。这种气敏元件适于作液化石油气的检测器和气体安全系统,它的优点是灵敏度高,稳定性好。文中还将阐述气敏元件的敏感特性,工作机构和可靠性。  相似文献   

18.
气敏元件性能检测装置的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
为了促进气敏元件的研究与开发,本文介绍了一种气敏元件性能检测装置。该装置克服了以往气敏元件测试系统的结构复杂,操作繁琐等诸多不足,具有简单易行,功能齐备等优点,适用于气敏元件的参数测试及可靠性试验过程中的监测。  相似文献   

19.
通过对α-Fe2O3汽敏元件进行低温、高温、稳态湿热和振动等可靠性环境试验,探索了各种环境因素对其性能的影响.根据试验数据,采用FTA方法对元件进行了失效分析,找出了影响α-Fe2O3气敏元件性能的主要因素,从而为提高气敏元件可靠性提供了理论和技术保证.  相似文献   

20.
本文用γ-Fe_2O_3和α-Fe_2O_3粉末混合物为原料,用更简单的注塑成型方法代替传统的压制成型工艺,用便宜的Ni电极代替传统的Au或Pt等贵重金属电极,制成α-Fe_2O_3气敏管芯。在不同的工作温度和氢气浓度下测量气敏特性△R/R_0~N(浓度)。 结果表明,虽然在低浓度范围,其灵敏度△R/R_0低于传统压制成型的α-Fe_2O_3器件,但由于所有特性曲线在N>1000ppm范围均呈线性关系,且其斜率显著大于传统α-Fe_2O_3器件,因此随着氢气浓度提高,二者的差距不断缩小,并在N>5000ppm范围,达到或超过传统α-Fe_2O_3器件水平。  相似文献   

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