基于部件库的 MEMS 设计方法

针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题,提出了基于部件库的MEMS设计方法;介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术.完成了各关键技术的攻关,并建立了一个原形系统.     

基于部件库的MEMS设计方法

针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题 ,提出了基于部件库的MEMS设计方法 ;介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术。完成了各关键技术的攻关 ,并建立了一个原形系统。     

基才部件库的MEMS设计方法

针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题，提出了基于部件库的MEMS设计方法；介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术。完成了各关键技术的攻关，并建立了一个原形系统。     

MEMS虚拟组装设计的建模研究

虚拟组装是基于部件库的MEMS设计系统的重要组成部分,虚拟组装研究的重点在于建立组装模型,以表达部件之间的组装关系和进行组装顺序的规划.本文结合MEMS的层次性特点,提出了增强关联图的组装模型,并在组装关系纵横分类基础上,提出增强关联图的简化算法,最终采用拆卸法完成组装顺序的规划.     

MEMS虚拟组装设计的建模研究

虚拟组装是基于部件库的MEMS设计系统的重要组成部分 ,虚拟组装研究的重点在于建立组装模型 ,以表达部件之间的组装关系和进行组装顺序的规划。本文结合MEMS的层次性特点 ,提出了增强关联图的组装模型 ,并在组装关系纵横分类基础上 ,提出增强关联图的简化算法 ,最终采用拆卸法完成组装顺序的规划。     

微机电系统CAD研究及发展现状

随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析.介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法.     

MEMS虚拟组装设计的建模研究

虚拟组装是基于部件库的MEMS设计系统的重要组成部分,虚拟组装研究的重点在于建立组装模型,以表达部件之间的组装关系和进行组装顺序的规划。本文结合MEMS的层次性特点,提出了增强关联图的组装模型,并在组装关系纵横分类基础上,提出增强关联图的简化算法,最终采用拆卸法完成组装顺序的规划。     

MEMS系统级设计与基于多端口组件网络的建模方法

MEMS的系统级设计对保证其整体综合性能和合理开发MEMS产品至关重要.针对MEMS的多能量域耦合、多信号混合的特点以及能量非保守等特殊要求,提出了基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法--采用多端口组件表示MEMS的功能结构部件,组件与组件通过端口联成网络表示整个系统;用统一规范化的微分代数方程表征并用硬件描述语言表述多端口组件.针对梁等具体的MEMS功能结构部件,采用宏建模方法确定其行为方程,从而得到有特定物理意义的、可供重用的组件模型.最后,给出了微加速度计的基于多端口组件网络方法的系统级设计示例.     

ArchitectTM--MEM5系统级仿真及工艺分析工具

主要介绍了一种全新的设计方法,在标准的EDA设计环境里、采用可重复使用的MEMS设计库单元,使设计者能够对MEMS产品的工艺可行性作分析.这种设计方法是MEMS开发单位采用"面向加工的设计方法"的重要基础.     

MEMS系统级设计与基于多端口组件网络的建模方法

MEMS的系统级设计对保证其整体综合性能和合理开发MEMS产品至关重要。针对MEMS的多能量域耦合、多信号混合的特点以及能量非保守等特殊要求 ,提出了基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法———采用多端口组件表示MEMS的功能结构部件 ,组件与组件通过端口联成网络表示整个系统 ;用统一规范化的微分代数方程表征并用硬件描述语言表述多端口组件。针对梁等具体的MEMS功能结构部件 ,采用宏建模方法确定其行为方程 ,从而得到有特定物理意义的、可供重用的组件模型。最后 ,给出了微加速度计的基于多端口组件网络方法的系统级设计示例