基于部件库的 MEMS 设计方法

针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题,提出了基于部件库的MEMS设计方法;介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术.完成了各关键技术的攻关,并建立了一个原形系统.     

基于部件库的 MEMS 设计方法

针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题,提出了基于部件库的MEMS设计方法;介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术.完成了各关键技术的攻关,并建立了一个原形系统.     

基才部件库的MEMS设计方法

针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题，提出了基于部件库的MEMS设计方法；介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术。完成了各关键技术的攻关，并建立了一个原形系统。     

MEMS虚拟组装设计的建模研究

虚拟组装是基于部件库的MEMS设计系统的重要组成部分 ,虚拟组装研究的重点在于建立组装模型 ,以表达部件之间的组装关系和进行组装顺序的规划。本文结合MEMS的层次性特点 ,提出了增强关联图的组装模型 ,并在组装关系纵横分类基础上 ,提出增强关联图的简化算法 ,最终采用拆卸法完成组装顺序的规划。     

MEMS虚拟组装设计的建模研究

虚拟组装是基于部件库的MEMS设计系统的重要组成部分,虚拟组装研究的重点在于建立组装模型,以表达部件之间的组装关系和进行组装顺序的规划.本文结合MEMS的层次性特点,提出了增强关联图的组装模型,并在组装关系纵横分类基础上,提出增强关联图的简化算法,最终采用拆卸法完成组装顺序的规划.     

MEMS虚拟组装设计的建模研究

虚拟组装是基于部件库的MEMS设计系统的重要组成部分,虚拟组装研究的重点在于建立组装模型,以表达部件之间的组装关系和进行组装顺序的规划。本文结合MEMS的层次性特点,提出了增强关联图的组装模型,并在组装关系纵横分类基础上,提出增强关联图的简化算法,最终采用拆卸法完成组装顺序的规划。     

微机电系统CAD研究及发展现状

随着微机电系统(MEMS)的快速发展,要求MEMS计算机辅助设计(CAD)能对MEMS设计进行快速建模与仿真分析.介绍了MEMS CAD技术的发展背景及特点,详细阐述了现有MEMS CAD的工艺先行、基于标准工艺、Bottom-Up流程、Top-Down流程及支持任意设计流程等工作模式,综述了MEMS CAD所涉及的多能量域耦合分析、宏建模及材料数据库等关键技术,最后总结了MEMS CAD软件的两种设计方法.     

MEMS系统级设计与基于多端口组件网络的建模方法

MEMS的系统级设计对保证其整体综合性能和合理开发MEMS产品至关重要。针对MEMS的多能量域耦合、多信号混合的特点以及能量非保守等特殊要求 ,提出了基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法———采用多端口组件表示MEMS的功能结构部件 ,组件与组件通过端口联成网络表示整个系统 ;用统一规范化的微分代数方程表征并用硬件描述语言表述多端口组件。针对梁等具体的MEMS功能结构部件 ,采用宏建模方法确定其行为方程 ,从而得到有特定物理意义的、可供重用的组件模型。最后 ,给出了微加速度计的基于多端口组件网络方法的系统级设计示例     

MEMS系统级设计与基于多端口组件网络的建模方法

MEMS的系统级设计对保证其整体综合性能和合理开发MEMS产品至关重要.针对MEMS的多能量域耦合、多信号混合的特点以及能量非保守等特殊要求,提出了基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法--采用多端口组件表示MEMS的功能结构部件,组件与组件通过端口联成网络表示整个系统;用统一规范化的微分代数方程表征并用硬件描述语言表述多端口组件.针对梁等具体的MEMS功能结构部件,采用宏建模方法确定其行为方程,从而得到有特定物理意义的、可供重用的组件模型.最后,给出了微加速度计的基于多端口组件网络方法的系统级设计示例.     

MEMS系统级设计与基于多端口组件网络的建模方法

MEMS的系统级设计对保证其整体综合性能和合理开发MEMS产品至关重要。针对MEMS的多能量域耦合、多信号混合的特点以及能量非保守等特殊要求，提出了基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法——采用多端口组件表示MEMS的功能结构部件，组件与组件通过端口联成网络表示整个系统；用统一规范化的微分代数方程表征并用硬件描述语言表述多端口组件。针对梁等具体的MEMS功能结构部件，采用宏建模方法确定其行为方程，从而得到有特定物理意义的、可供重用的组件模型。最后，给出了微加速度计的基于多端口组件网络方法的系统级设计示例。     

微机械虚拟运行的实现框架

简要论述了虚拟运行在MEMS设计系统[1,2 ] 中的重要性 ,引入了动态运动规律和数学库的概念 ,提出了在单机多任务系统上 ,以事件发生时间推进的机制 ,带有多个运动部件及其运动规律的微机械系统虚拟运行实现框架。并结合静电微马达和双金属驱动微流量泵为例 ,分析了虚拟运行中数学库的组织 ,动态运动规律的产生过程以及三维可视化的实时问题 ,所提出并采用的实现框架适用于微马达[3] 、微泵[4 ] 、微加速度计[5] 等微电子机械系统的设计和虚拟运行     

微执行器的研究与展望

在微机电系统中,微执行器是核心部件。为了优化设计微执行器,通过对比近年来各种微执行器的研究和发展,系统地总结了线性位移微执行器所采用的驱动原理、驱动方式和应用以及存在的优缺点等。针对热执行器,提出了个人的一些见解。     

System level simulation of a micro resonant accelerometer with geometric nonlinear beams

Geometric nonlinear behaviors of micro resonators have attracted extensive attention of MEMS (microelectro-mechanical systems) researchers, and MEMS transducers utilizing these behaviors have been widely researched and used due to the advantages of essentially digital output.Currently, the design of transducers with nonlinear behaviors is mainly performed by numerical method and rarely by system level design method.In this paper, the geometric nonlinear beam structure was modeled and established as a reusable library component by system level modeling and simulation method MuPEN (multi port element network).A resonant accelerometer was constructed and simulated using this model together with MuPEN reusable library.The AC (alternating current) analysis results of MuPEN model agreed well with the results of architect model and the experiment results shown in the existing reference.Therefore, we are convinced that the beam component based on MuPEN method is valid, and MEMS system level design method and related libraries can effectively model and simulate transducers with geometric nonlinear behaviors if appropriate system level components are available.     

红外传感器在无人机姿态平衡系统中的应用

为简化小型无人机内环控制的复杂程度,提出了使用红外温度传感器设计小型无人机平衡系统,以此替代传统的MEMS等惯性元件实现无人机内环控制的思路.介绍了红外平衡系统的原理、组成和整体结构;通过论述TS105-3型红外温度传感器的功能参数和内部结构,以及处理器在数据采集和控制量输出等方面的设计,介绍了该系统的硬件组成和工作原理,以及小型无人机姿态平衡系统在软件功能规划等方面的具体设计,并给出了软件流程图.     

CMOS MEMS技术的现状及展望

简要介绍了MEMS的发展状况及CMOS工艺在MEMS中的地位。主要介绍了pre-CMOS，intermediate-CMOS和post-CMOS三种不同的CMOS MEMS工艺。详细讨论了CMOS MEMS今后将面临的挑战及其未来应用领域，最后，根据国内情况对我国CMOS MEMS的发展提出了建议。     

MEMS惯性传感器技术的误差补偿及可靠性研究

文章基于MEMS惯性传感器中加速度计与陀螺仪的基本工作原理,采用建立误差模型的方法,对MEMS惯性待感器的系统误差和随机误差进行误差补偿方法的相关研究;根据涵盖了绝大部分针对环境失效机理的可靠性试验项目MIL-STD-883进行MEMS惯性传感器的可靠性研究,同时总结相应的可靠性试验研究方法,并对未来的发展趋势提出几点浅见。     

新型MEMS致冷器研究

微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件、低功耗的新型致冷器。着重介绍了微型MEMS致冷器的国内外研究动向与发展趋势,阐述并分析了几种典型致冷材料与器件的工作原理、技术可行性及应用前景。     

基于TD-SCDMA的手机图书馆系统设计

通过分析手机图书馆的应用现状,利用TD-SCDMA的数据通信优势以及现有的嵌入式平台及其成果,提出并构建了一种基于TD-SCDMA和CDMA 2000的手机在线图书馆设计方案。描述了手机图书馆的整体架构以及实现的关键技术等。本方案使得手机用户能方便地在线浏览图书,具有很强的实用价值。     

基于ARM的综合信息处理系统设计

基于综合控制系统的测试需求,提出一种综合信息处理系统设计,可以实现对于综合控制系统的综合控制,硬件部分以高性能的ARM芯片LPC2378FBD144为核心,通过1553B总线对各功能模板及设备进行信息综合与统一管理,软件部分采用Visual C++6.0编写,使用MFC开发库进行开发,提供图形化人机接口,实现对用户程序和数据文件的上传和下载。通过测试实验,整个系统实现了对综合信息处理装置进行复位、启动、通信、软件调试、单元测试等,系统具有通用性和扩展性。