SAW滤波器的市场前景及发展趋势

声表面波SAW(Surface Acoustic Wave)就是在压电基片材料表面产生并传播、且其振幅随深入基片材料的深度增加而迅速减少的弹性波。SAW滤波器的基本结构是在具有压电特性的基片材料抛光面上制作两个声电换能器——叉指换能器(IDT)。它采用半导体集成电路的平面工艺,在压电基片表面蒸镀一定厚度的铝膜,再把设计好的两个IDT的掩膜图案,利用光刻方法沉积在基片表面,分别用作输入换能器和输出换能器。其工作原理是:输入换能器将电信号变成声信号,沿晶体表面传播,输出换能器再将接收到的声信号变成电信号输出。     

SAW滤波器大器晚成

声表面波SAW(Surface Acoustic Wave)就是在压电基片材料表面产生和传播、且振幅随深入基片材料的深度增加而迅速减少的弹性波。SAW滤波器的基本结构是在具有压电特性的基片材料抛光面上制作两个声电换能器——叉指换能器(IDT)。它采用半导体集成电路的平面工艺,在压电基片表面蒸镀一定厚度的铝膜,把设计好的两个IDT的掩膜图案,利用光刻方法沉积在基片表面,分别作输入换能器和输出换能器。     

融合传统精华 开创通信巅峰：移动通信用SAWF的发展

一、特点及发展方向 声表面波滤波器(SAWF)是一种利用声表面波(SAW)效应和谐振挣陛制成的对频率有选择作用的器件。在四端网络理论中,它是一种对频率进行选择的电路,其作用是允许某一频带的信号通过,而阻止其他频带的信号通过。SAWF的工作原理是输入IDT将电信号变成声信号,沿着压电晶体表面传播,输出IDT将接收到的声信号变成电信号输出,它对电信号的加工处理在这两次变换中完成。     

信号处理及移动通信用SAW滤波器综述

声表面波(SAW)器件是利用压电材料将电信号转换成表面波在固体表面传播,在输出端将表面波再转换成电信号从而进行信号处理的器件。由于SAW信号处理系统的速度比最快的数字处理系统还要快两个数量级,并且具有非常大的信息容量,所以在信号处理和通信系统中占有十分重要的地位。本文就SAW器件中常见的SAW滤波器的原理、结构和主要特点,以及SAW滤波器的选用和使用注意事项及其应用状况与发展趋势作出了概述。     

声表面波器件及其在电视和通信系统中的应用

声表面波器件(SAWD)在信号处理、频率控制及频率选择、信息获取诸方面中应用,是一种性能十分优良的元件。它的结构与基本原理如下图所示: 在一块压电基片上,用微细加工技术加工两组梳状电极(又指换能器),电信号加在其中一组电极上时,就在压电基片表面转换为SAW信号,该信号沿压电基片表面传到另一组电极,又转变为电信号。这一特殊的信号传输过程,使得SAW器件具备如下一些主要特征。     

聚二甲基硅氧烷薄膜对声表面波传播特性影响

研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响。在128°YXLiNbO3压电基片上光刻叉指换能器(IDT),其声传播路径上涂覆PDMS薄膜,IDT激发的SAW加热PDMS薄膜上石蜡油微流体,并测量不同PDMS薄膜厚度时石蜡油微流体的温度,进而计算薄膜对SAW的衰减量。实验结果和理论计算表明,压电基片上涂覆PDMS薄膜将衰减辐射入石蜡油微流体的声表面波强度,衰减幅度随基片上PDMS薄膜厚度的增加而增加。当压电基片上涂覆的PDMS薄膜厚度为100μm和150μm时,薄膜对SAW衰减量分别为23.3%和36.0%。     

信号处理及移动通信用SAW滤波器综述

声表面波(SAW)器件是利用压电材料将电信号转换成表面波在固体表面传播,在输出端将表面波再转换成电信号从而进行信号处理的器件。由于 SAW 信号处理系统的速度比最快的数字处理系统还要快两个数量级,并且具有非常大的信息容量,所以在信号处理和通信系统中占有十分重要的地位。本文就 SAW 器件中常见的 SAW 滤波器的原理、结构和主要特点,以及 SAW 滤波器的选用和使用注意事项及其应用状况与发展趋势作出了概述。     

一种采用IDT技术的新型微量液体密度传感器

新型微量液体密度传感器采用压电基片-液体层-压电基片结构。两个叉指换能器(IDT)分别位于压电基片-液体层-压电基片的两个液固界面上,压电基片保持平行且两个IDT处于相对的位置。一定条件之下第一个IDT在射频脉冲的激励下可只向液体层中辐射出高频超声脉冲,该超声脉冲在液体层中来回反射。液体层中来回反射的超声脉冲每次入射到起接收作用的第二个IDT上均有一个电脉冲信号输出。液体层密度值可用超声脉冲在液体层内来回传播一次的声时变化予以表征。通过测量第二个IDT输出的前两个电脉冲信号之间的时间间隔变化,即可得到相应的液体密度值。实验结果表明,采用压电基片-液体层-压电基片结构的微量液体密度传感器的敏感程度至少可达10-5g.cm-3/ns量级。     

文摘选辑

(一)声表面波技术233 温度稳定的SAW射频延迟线—USP.4,434,383该器件要求基片的功率流角较大,主输出换能器在竖直方向的宽度足以截断整个功率流角范围内的波束.从主输出换能器反射的波朝着竖直排列在另一端的输出换能器阵列(补偿器)传播.补偿器和主输出换能器的输出信号经加法器相加,即为SAW器件的输出信号.输出换能器以功率流方向变化的特点来补偿器件响应中的温度变化.(庆)234 SAW滤波器的安装结构——USP     

国外声表面波器件的研究动向

本文主要报道国外声表面波(SAW)器件的研究动向。重点叙述采用单相单向换能器(SPUDT)的低损耗滤波器,利用具有较高固有传播速度的西沙瓦波或表面横向切变波等其他表面波模式的微波SAW器件,以及在GaAs压电基片上制作片式超小型振荡器。并介绍了改进SAW电路部件和传播特性的近期进展。     

TriQuint发布多种高性能SAW滤波器

表面波SAW(Surface Acoustic Wave)是在压电基片材料表面产生并传播的弹性波,其振幅随深入基片材料的深度增加而迅速减少.SAW滤波器的作用在于抑制电子设备高次谐波、发射漏泄信号、镜像信息、以及各类寄生杂波干扰等.     

基于声表面波技术实现微通道内微流体的融合

提出了一种新的油相微通道内微流体融合方法.在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器(IDT)和反射栅,模塑法制作的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微通道贴合于压电基片的声路径上,在PDMS微通道内采用微量进样器注入石蜡油和待融合微流体.经功率放大器放大后的射频(RF)电信号加到IDT上,激发声表面波(SAW),驱动微通道内的待融合微流体,实现其融合.实验结果表明,在SAW作用下,微通道内微流体的融合决定于加到IDT上RF信号功率、待融合微流体直径和待融合微流体间距.     

Y型声表面波器件特性分析

在1280旋转Y切割X传播方向上的L iN bO3基片上设计并研制了Y型声表面波器件。它将输入IDT激发的声表面波轴对称分成两路并由各自的输出IDT检测输出。应用P矩阵法分析了其中一输出IDT检测输出的一次时延信号、三次渡越反射信号和五次渡越反射信号与输入IDT所加的电信号之间的关系式,并应用网络分析仪测量Y型声表面波器件幅度特性,结果表明,理论分析与实验结果基本相符。     

S型声表面波器件特性分析

在128°Y切割X传播方向上的L iN bO3基片上设计并研制了S型声表面波器件。它将输入IDT激发的声表面波中心对称分成两路并由各自的输出IDT检测输出。应用P矩阵法分析了其中一输出IDT检测输出的1次时延信号、3次和5次渡越反射信号与输入IDT所加的电信号之间的关系式,并与“一”字型器件的3次渡越反射信号进行对比。结果表明,S型声表面波器件能有效地降低3次和5次渡越反射信号。     

光衍射栅导出的通用SAW滤波器组

利用普通光衍射栅输出聚焦面上的探测器阵列,可构成滤光器组.从这个原理出发,设计了几种具有相同声学功能的SAW叉指换能器结构,并且表明,这些结构的效率和相对带宽与制作在给定压电基片上的普通SAW器件的相同.本质上,这类器件是:(1)传播方向与频率有关(k矢量)的输入换能器阵列的组合;(2)主要由其倾斜角选择的多个大孔径输出换能器的组合.这种结构已在～100MHz的中心频率下在LiNbO_3上进行了成功的试验,得到了单信道带宽～1MHz的小型高效的32信道滤波器组.试验还表明,利用SAW基片的二维性和叉指换能器极大的设计灵活性,可根据这些基本结构设计出具有许多潜在应用的其他各种结构,这些应用包括信道化接收机和频谱分析,多路传输-信号分离操作,并可用作匹配滤波器组.本文择要介绍了这类器件的一些结果.     

TriQuint发布多种高性能SAW滤波器

表面波SAW（Surface Acoustic Wave）是在压电基片材料表面产生并传播的弹性波,其振幅随深入基片材料的深度增加而迅速减少。SAW滤波器的作用在于抑制电子设备高次谐波、发射嘱泄信号、镜像信息、以及各类寄生杂波干扰等。     

基于一种改进型DMS结构的极窄带SAW滤波器

该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器.D MS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式.为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉指换能器(IDT)之间加入反射器.结果表明,研制的极窄带SAW滤波器中心频率为...     

应用P矩阵法分析S型声表面波器件特性

在128°Y切割X传播方向上的LiNbO3基片上设计并研制了S型声表面波器件。它将输入叉指换能器激发的声表面波中心对称分成两路并由各自输出叉指换能器检测输出。采用P矩阵法分析推导了输入叉指换能器加电信号,一输出叉指换能器检测输出时的一次时延信号、三次渡越反射信号和五次渡越反射信号与所加电信号的关系式。采用网络分析仪测量了S型声表面波器件的幅度特性,同时,由门函数处理后获得其三次和五次渡越反射信号的幅度特性以验证理论推导的正确性。     

声表面波低损耗滤波器的换能器结构

一、前言 声表面波(SAW)器件以它的独特优点已广泛用于军事、民品电子设备中,由于常规的叉指换能器(IDT)结构,SAW是双向传播的,存在6db的固有传播损耗。如果IDT与外部负载匹配以实现最小的插入损耗,则三次渡越回波抑制只有12db,使幅度和相位波动大到不能使用,通常解决的办法是使IDT失配增大插入损耗来降低三次渡越信号。不用任何办法设计出的常规SAW滤波器插入损耗在20db左右,在中频范围内,在电路中加一级     

声表面波器件PSPICE仿真研究

声表面波(SAW)器件难以直接采用PSPICE仿真,对设计包含SAW器件的电子系统带来障碍,该文研究了应用PSPICE仿真SAW器件的原理,它将叉指换能器1个周期段等效电路的复阻抗采用LC串并联网络等效,应用阻抗理论推导LC串并联网络各L、C值,将各周期段等效电路声学端级联、电端并联,结合输入和输出叉指换能器电端外围连接特性,同时考虑压电基片自由表面SAW损耗小特点导出了自行研制的Y型SAW器件的宏等效电路模型,并给出了PSPICE仿真电路描述语句,该器件幅度特性仿真结果与实测结果基本相近。