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1.
铜布线及其设备 总被引:8,自引:2,他引:6
翁寿松 《电子工业专用设备》1999,28(3):13-15,18
介绍 I C 铝布线所存在的问题,采用铜布线替代铝布线是发展趋势,并就世界主要半导体公司已经和正在推出的多种铜布线 I C,以及相关设备作一简介。 相似文献
2.
当今,世界已步入知识经济的时代,何谓知识经济,联合国经济合作与发展组织认为:“知识经济是建立在知识和信息的生产、分配和使用之上的经济”。知识经济与农业、工业经济最大的区别就是知识经济时代,人力资源的收益率最高;农业经济社会中, 相似文献
3.
介绍了深亚微米(0.35/-.25/0.18μm)半导体器件制造的最新工艺及设备,包括新一代CMOS工艺、FOND工艺、PSM技术、电子束光刻工艺、X射线光刻工艺、Cu互连技术和圆片老化筛选工艺及设备。 相似文献
4.
量子效应器件正在崛起 总被引:3,自引:0,他引:3
本文介绍了量子效应器件的定义、分类、特点、工作原理、特性、制造方法和应用。还介绍了国内研制量子效应器件的动态和成果。 相似文献
5.
本文分析了当前全球、台湾地区和我国晶圆代工市场的动态和发展趋势.论述了我国IC企业侧重发展晶圆代工的可能性和优势。认为目前我国IC企业可同时并举发展晶圆代工和IDM.但侧重发展晶圆代工是大势所趋。找出了我国晶圆代工与台湾地区晶圆代工的差距。 相似文献
6.
一、特点及发展方向 声表面波滤波器(SAWF)是一种利用声表面波(SAW)效应和谐振挣陛制成的对频率有选择作用的器件。在四端网络理论中,它是一种对频率进行选择的电路,其作用是允许某一频带的信号通过,而阻止其他频带的信号通过。SAWF的工作原理是输入IDT将电信号变成声信号,沿着压电晶体表面传播,输出IDT将接收到的声信号变成电信号输出,它对电信号的加工处理在这两次变换中完成。 相似文献
7.
无掩模光刻技术的前景 总被引:7,自引:1,他引:6
介绍了无掩模光刻技术的现状、存在的问题和前景展望;说明了无掩模光刻技术的最大优点即是降低掩模成本;同时还介绍了电子束光刻技术及其改进。 相似文献
8.
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