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电子束精密封装焊接技术 总被引:3,自引:0,他引:3
电子束作为一种高能量密度热源,用来焊接某些结构件具有许多独特的优点。本文主要讨论小功率电子束焊接的特点,并介绍作者所从事的传感器精密焊接与封装焊接工艺研究。 相似文献
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木文介绍了两种硅压阻式压力传感器的新颍的制造工艺。文中讲述的芯片证明了一种重要的、新的硅-硅焊接工艺,即硅熔焊接(SFB)。利用这一工艺,单晶硅片能够以接近理想的界面被可靠地焊接起来,而不必利用过渡层。用SFB工艺制造的压力传感器比用常规工艺制造的传感器性能有很大的改善。SFB工艺还可以用于许多其它的微机械加工的结构件。 相似文献
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隧道式加速度传感器的制备 总被引:2,自引:0,他引:2
隧道式加速度传感器具有高的灵敏度而被用来测试微小加速度,介绍了扭摆-隧道式加速度传感器的工作原理,结构特点,关键工艺及工艺制备的结果。 相似文献
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在熟悉焊接工艺基础上,给出了应用UG开发焊接轨迹自动编程系统的方法。该系统由模具建模、焊接工艺规划、焊接轨迹仿真二三个模块组成,快速有效地生成符合模具形状特点和焊接修复工艺的NC代码,简化了焊接轨迹的编程过程。 相似文献
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