几种抽速测量方法的比较

：为了把美国和欧洲一些用户所反映出来的离子泵抽速存在差别这个问题协调一下，我们利用一台抽速约为２３０升／秒的泵进行了两种抽速测量方法的比较。一种叫做费希尔一莫森法［Ｅ、Ｆｉｓｃｈｅｒ ａｎｄ Ｈ、 Ｍｏ－ｍｍｓｅｎ， Ｖａｃｕｕｍ １７． ３０９（１９６７）］，另一种叫做３－规通导管法［Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｏｆＡＶＳｔｅｎｔａｔｉｖｅ ｓｔａｎｄａｒｄ４．１． Ｓｕｐｐｌ、Ⅲ（ｂ）］。然后再用第三种方法－在泵室压强维持恒定条件下，测量抽空一只容积已知，初始压强也已知的滴管所需要的时间．来检验测量结果。发现滴管法和费希尔－莫森法相符，而３－规管法测得的抽速大约高８％。从给出的数据表明，用纯气体和用气体混合物（如空气）测量抽速各有利弊。     

制冷机低温泵抽速测试方法探讨

本文指出用常规的抽速测试方法来测量制冷机低温泵的抽速是不合理的。根据低温泵的特点以及对低温抽气研究的回顾，对低温泵的抽速测试罩进行了理论分析，并给出了压强的理论计算误差，据此推荐了几种制冷机低温泵的抽速测试方法。本文最后介绍了最新研制成功的ＺＤＢ－１３００制冷机低温泵的抽速测试。     

新的真空泵抽速特性系数及其应用

给出了以真空泵抽速特性系数表示的抽速计算公式，以实例说明如何求值和选定真空泵抽速特性系数，最后说明真空泵抽速特性系数应用。     

论不锈钢容器中烘烤对出气率与抽速关系的影响

为了研究真空系统中烘烤时对出气率与抽速关系的影响，在室温条件下未经烘烤和在室温条件下经过温度为１００℃和２５０℃烘烤的情况下，对出气率与抽速的关系进行了测量。测量所得出气率ｑ（Ｔｏｒｒ，ｌ／ｓ，ｃｍ＾２）遵循指数规律：ｑ＝（Ｃｓ／Ａ）＾ｍ，其中，ｃ和ｍ（０〈ｍ〈１）为常数：Ｓ／Ａ为抽气参数，其定义为抽速Ｓ（ｌ／ｓ）与真空容器表面积Ａ（ｃｍ＾２）之比，Ｓ／Ａ的变化范围从２．４６×１０＾－５到１．２６     

制冷机低温泵的抽速测量

为了简便地、正确地测定制冷机低温泵的抽气速率，回顾了泵的抽速测量发展过程和现行测试规范的制定。分析了制冷机低温和扩散泵特性的相似性。认为测试罩的几何尺寸、进气管的位置与进气管的位置与进气方强的正确测量。它们都与本征抽速的测量方法有关。用两种测试方法对我们研制的ＺＤＢ－５００Ｋ制冷机低温泵的抽速进行了测量，并对测量结果进行了分析。认为ＩＳＯ中为扩散泵抽速测量所制定的规范对制冷机低温泵是适用的。     

分子泵对Xe气抽速的测试

在不同Xe气流量下测量了F-400／3500和F-250／1500分子泵对Xe气的抽速，指出分子泵对Xe气的抽速是其对N2抽速的0．6～0．8倍。这一折算系数和泵的型号有关，和泵口真空度也相关。     

微型离子泵抽速测量方法的探讨

探讨了用定容法测量微型离子泵抽速的装置及程序.并给出了抽速测量不确定度的简化评估.     

大型钛薄膜吸附泵的抽速测试装置

叙述了２×１０￣５Ｌ／ｓ钛升华泵的一种抽速测试方法，介绍了实验原理和测试装置设计。     

抽速测试罩的蒙特卡罗分析

本文基于更少的物理假定，考虑了不可忽视的隔板孔影响，采用更简捷的推导得出了计算抽速测试罩理想规管位置和规管置于非理想位置处测量抽速误差的准确公式。著名的 Ｆｉ—Ｍｏ法公式是本文公式忽略隔板孔影响时之近似式．根据上述公式用蒙特卡罗法分析了若干“双规小孔”抽速测试罩，得到了不同抽气几率下的理想规管位置，给出了规管置于非理想位置处之校准曲线，研究了隔板孔的影响，讨论了计算结果的可靠性．还提出用“半透明散流板”来模拟了散流板以便将现有蒙特卡罗程序推广应用于带散流器测试罩．最后，建议一机部在蒙特卡罗分析和必要实验的基础上制定新的部标准。     

大抽速轴流分子泵

作者简要地介绍了轴流分子泵的工作原理。接着描述了在大油速轴流分子泵上得到的一些结果。该泵的真空度直到１×１０乇时仍有９０００升／秒量级的抽速。试验期间达到的最低压强为１．４×１０～（－１１）乇。不过，这并不是泵的极限压强，因为在试验过程，泵之转速减低一半以上，压强仍可维持在５×１０～（－１１）乇。     

叶片泵抽速计算及动力分析

近来，在真空和印剧等工业部门的一些特殊的工艺过程中，要求无油叶片泵作为抽气设备，以达到“清洁真空”的目的。相应叶片的材料多选为石墨，用户反映叶片寿命较低。本文给出了叶片动力分析方法，找到了影响叶片寿命的原因，并提出了改进措施。同时，本文也给出了叶片泵抽速计算通式。     

聚氯乙烯／梯形聚苯基倍半硅氧烷共混物的相结合及流变性能

由单螺杆挤出机制备ＰＶＣ／ＰＰＳＱ（１００／０．９５,９５／５,９０／１０,８５／１５,８０／２０）机械共混物,通过扫描电镜（ＳＥＭ）观察了该共混物的相结构 ,富ＰＰＳＱ相形成的球状颗粒较均匀地分散于ＰＶＣ的连续相中。ＰＶＣ／ＰＰＳＱ共混物的流动温度均低于纯ＰＶＣ的Ｔｆ,而它们的玻璃化转变温度略高于纯ＰＶＸ的Ｔｇ,随ＰＰＳＱ含量的增加,ＰＶＣ／ＰＰ－ＳＱ共混物的Ｔｆ移向低温,更易塑化。     

往复真空泵抽速测试的理论探讨

本文对往复真空泵抽速测试装置中的喷咀几何型线，抽速计算公式中的修正系数——流量系数α、气体膨胀系数ε作了理论的分析。     

油扩散泵两种抽速测量方法的比较

本文提出了介绍油扩散泵两种抽速测量方法的比较研究。所使用的方法是试验罩法和带有辅助抽气系统的流导管法。这个辅助抽气系统是在流量低于 １０－５Ｎｍｓ－１（～０．１μｌｓ－１）时的很低压力下使用。人们发现为了得到在重叠压力范围用两种方法测量油扩散泵抽速比较结果，当规管距泵口法兰是Ｄ／２时，即得到泵本征抽速的试验罩法的同样位置，流导管法中的流导管应安排在距泵口１．２Ｄ的高度。     

聚氯乙烯／梯形聚苯基倍半硅氧烷共混物的相结构及流？…

由单螺杆挤出机制备了聚氯乙烯（ＰＶＣ）／梯形聚苯基倍半硅氧烷（ＰＰＳＱ）（１００／０、９５／５、９０／１０、８５／２０）机械共混物,通过扫描电镜（ＳＥＭ）观察了该共混物的相结构,富ＰＰＳＱ相形成２的球状颗粒较均匀地分散于ＰＶＣ的连续相中,ＰＶＣ／ＰＰＳＱ共混物的流动温度（Ｔｔ）均低于纯ＰＶＣ的Ｔｔ,而它们的玻璃化转变温度（Ｔｇ）略高于纯ＰＶＣ的Ｔｇ,随ＰＰＳＱ含量的增加,ＰＶＣ／ＰＰＳＱ共混物的Ｔ     

提高溅射离子泵抽速的研究

按抽气过程推出了溅射离子泵的抽速公式。实验研究了阳极结构、阴极材料对提高抽速的作用。通过离子泵抽氩清洗后抽速提高现象的分析研究.证实了阴极材料表层成分对离子泵抽速有几倍的影响;钛阴极的泵在抽氮气达到稳定值后,阴极表层即盖满 TiN,而泵的正常抽速是离子溅射 TiN 生成的钛原子在阳极表面抽气提供的。研究表明,理想的离子泵阴极材料不仅应当溅射率高,溅射膜有高的吸气性能,而且应对入射的被抽气体原子有足够高的扩散能力。     

爪型泵的抽速计算及其平衡的研究

在爪型泵型线研究［１］的基础上，本文推导出该泵的理论抽速计算式，为了对爪形 转子的动平衡进行分析与计算，本文又给出了该转子的质心计算式。     

微型溅射离子泵极小抽速精确测量的意义和难点

抽速小于10~(-4)m~3/s量级的微型溅射离子泵在航天载荷产品、电子器件、科学仪器领域应用广泛,现有的抽速测量方法都大于10~(-2)m~3/s量级,无法解决极小抽速精确测量的急需。制约抽速测量的主要原因是测量用电离真空计本身的抽速在10~(-5)～10~(-4)m~3/s量级,与被测微型真空泵抽速在同一数量级,以及现有测量方法无法适用于极小抽速的测量。在论述微型溅射离子泵极小抽速测量的重要意义及分析其难点的基础上,调研了极小抽速测量研究的最新进展,提出了极小抽速测量的构想,期望能为实现微型溅射离子泵极小抽速的精确测量提供帮助。     

抽速为20000升／秒的低温真空泵

这台低温真空泵是GANIL的真空系统。GANIL是建在法国卡昂的一座粒子加速器，它主要由两台分离扇形回旋加速器组成。为了抽空总表面积约1000米^2，决定安装抽速为20，000升／秒的低温真空泵。     

溅射离子泵对N2和CO抽速的理论计算

根据潘宁放电机理，导出溅射离子泵抽速的理论公式。讨论了抽速对各种放电参数的依赖关系。计算了离子泵对Ｎ２和ＣＯ的抽速。计算结果和实验测试以及经验公式的结果有较好的符合。