热壁LPCVD设备TEOS工艺炉管的使用与维护

通过介绍热壁LPCVD的TEOS工艺淀积SiO2薄膜的原理,分析了在淀积薄膜的过程中经常遇到的薄膜均匀性等方面的问题。重点分析了硅片中心与石英管轴心所处的相对位置对片内薄膜均匀性的影响关系、石英舟的位置以及恒温区的温度控制对片间均匀性的影响关系,并详细地分析、给出了具体的调整方法。对于该工艺炉管在实际的使用过程中经常遇到的一些故障现象,分析了产生故障的原因并提出了解决方法。最后对TEOS工艺炉管在日常使用过程中的保养和维护给出了一些建议。     

ALD反应室流场分析及优化研究

为解决用于钙钛矿SnO₂电子传输层镀膜工艺的原子层沉积(ALD)设备存在的镀膜均匀性问题,基于计算流体力学(CFD)仿真软件Fluent,从流场的角度对设备反应腔体进行了分析。根据流场分析的结果,进行了反应室结构优化设计。并通过工艺试验,验证了流场的改善对镀膜均匀性有明显帮助作用;对ALD设备流场分析及相关设备的设计优化具有一定参考意义。     

提高红外器件磁控溅射沉积镀膜厚度均匀性的一种方法

介绍了一种提高红外器件磁控溅射沉积镀膜厚度均匀性的方法。这种方法被称为基片离心旋转法,是在保持磁控溅射靶不动及靶和样品台间距不变的情况下,通过样品台离心旋转的方法,补偿或改善圆形磁控靶在正对的基片上沿径向的溅射沉积不均匀分布,是一种动态沉积法。这种方法可以在不改变磁控靶结构的情况下大大提高磁控溅射沉积镀膜的厚度均匀性。     

AA-7000原子吸收分光光度计的维护和保养

原子吸收分光光度计的特点是灵敏度高、分析速度快、测定元素多、数据准确、操作简便和干扰少,作为金属分析的主要精密仪器发展迅速。不过在使用的时候,或多或少会出现一些故障问题。定期对仪器进行维护和保养可以延长仪器的使用寿命,减少因保养不当或保养不及时所造成的故障。本文叙述了岛津AA-7000原子吸收分光光度计从光源、原子化系统、光学系统、气路系统、自动进样器以及日常常规维护等方面进行的维护和保养。     

机械设备的维护与保养技术探讨

在机械设备的使用过程当中,要注意机械设备的日常维护及保养工作,未雨绸缪,使机械设备一直保持在最佳的状态下开展工作,从而降低设备的损坏率,提高使用效率,延长机械使用寿命。文章针对机械设备维护和保养中存在的问题进行了详细的分析,并提出了具体的措施来加强设备的维护和保养。     

5ESS交换机计费文件联机采集维护经验

特服汇接局和市话联机采集两大项目在广东省的上马,将交换机联机采集的功能推上了我们日常维护的舞台。在项目实施过程以及目前的日常维护中遇到了一些问题,本文着重分析5ESS交换机实施联机采集后出现的各种故障的产生原因,并阐述各种故障的具体解决方法。     

混凝土搅拌站电气控制系统常见故障分析

通过对混凝土搅拌站电气控制系统以及机械、元件的故障问题进行汇总分析,由于大多故障发生由于日常维护和保养不利造成,因此基于混凝土搅拌站日常保养和维护也提出了具体的措施。其目的是为电气控制系统诊断提供依据,以便延长机械系统使用寿命,提高生产效率的目的。     

射频溅射沉积SiO2膜的工艺及其结构性能研究

利用自制的磁控溅射沉积设备,针对影响SiO2薄膜沉积速率的氩气流量,氧气分压两个关键参数进行工艺研究,并通过扫描电子显微镜(SEM)对沉积完成的Si不O2薄膜表面、剖面结构质量进行表征,结果表明,射频溅射沉积的SiO2薄膜均匀、致密,具有良好的结构性能.     

浅析电力运行设备的日常保养与维护

电力设备是生产生活所必需的基础设施,且随着经济的发展和科技进步,电力设备的结构也开始日益复杂,这对电力运行设备的保养与维护也提出了新的要求。要保证电力运行设备的安全运行和使用,就必须做好对这些设备的日常保养与维护工作。本文主要分析电力运行设备的日常保养和维护的必要性和现状,并对电力运行设备的日常保养和维护的要点进行分析。     

SDH光传输故障探讨

传输系统在运行过程中经常会发生故障,导致系统无法正常运行,系统链路故障、设备本身故障、维护人员的操作不当以及工程施工不规范、质量差等原因都将引发传输故障。为此文章就日常维护时常见的光传输链路故障作简要的分析、探讨,希望能为传输设备日常维护提供有意义的参考。     

哈里斯PLATINUM Z10调频发射机维护及故障检修

本文在对哈里斯Z10发射机工作原理全面了解掌握的基础上，根据多年在使用和维护过程中的经验和一些具体故障，分析总结了日常维护的要求和常用见故障的处理方法。     

脉冲激光沉积Al膜的沉积模式及沉积速率研究

为了给脉冲激光沉积(PLD)法沉积大面积均匀薄膜的应用提供相关的理论依据,以纯铝块作为靶材,采用PLD法在同轴和旁轴两种模式下对比研究了Al薄膜的厚度均匀性。同时,在旁轴的沉积模式下分别研究了基片温度、激光功率和重复频率对A l薄膜沉积速率的影响规律。实验结果表明,采用PLD方法在旁轴的沉积模式下获得的Al薄膜的厚度更加均匀。随着基片温度的增加,薄膜的沉积速率反而降低。升高激光功率,薄膜的沉积速率也随之提高。而在激光重复频率的变化过程中,Al薄膜的沉积速率有一最大值。     

索尼DVCAM数字摄录设备的使用与维护

介绍了DVCAM摄录像设备的相关使用技巧,如数字变焦、光圈调整、曝光、背光、故障应对等,最后介绍了设备的日常维护与保养经验.     

含山台硬盘播出系统故障案例分析及解决措施

详细地介绍了含山广播电视台硬盘播出系统的故障案例以及解决措施.从含山台硬盘播出系统的故障现象入手,层层分析出现故障的原因,进而判断出系统设备的故障点.所选故障案例具有很强的针对性、普遍性和实用性.另外,根据日常工作中的技术维护经验,总结了延缓硬盘播出系统工作年限的一些客观条件.     

磁控溅射台镀膜形貌及均匀性改善研究

针对目标磁控溅射台通孔结构侧壁覆盖能力差、镀膜均匀性差(8%左右)的问题进行设备优化改造;通过结构优化,其在高深宽比结构上的镀膜能力显著提升;同时将各类金属镀膜的均匀性指标提升至3.5%左右,提高金属薄膜性能可靠性,满足了工艺上各种高深宽比加工工艺的要求。     

对AIMS V系统典型故障的分析及建议

航管信息自动化系统(简称AIMS系统)是民航空管部门日常处理航班飞行数据重要的设备.笔者所在单位使用AIMS V系统作为主用系统,设备运行过程中,由于软件问题引起的故障占大比例,对空管设备安全保障产生了较大的影响.本文主要针对由于软件漏洞导致的典型故障进行分析和总结,希望对更好地维护航管信息自动化系统工作有所帮助.     

基于BSO算法的SiO2沉积速率控制

为了提高SiO2薄膜质量,将晶振膜厚控制仪用于沉积速率采集,采用闭环反馈控制电子枪灯丝两端电压,利用 Ziegler Nichols整定经验法确定PID参数范围,并通过天牛须搜索－粒子群算法(BSO)实现参数自整定,从而改变电子束束流大小,实现薄膜沉积速率的稳定控制,实验结果表明,在本控制系统下,沉积速率在4s左右建立稳态且波形无明显振荡,相比于遗传算法,BSO算法全局搜索能力更强,该方法可用于电子束蒸发镀膜过程中不同靶材沉积速率的控制,可进一步提高薄膜表面均匀性。     

数控机床电气故障分析及维修技术的探讨

随着科技的迅速发展，控制理论和自动化技术也得到了较大发展，数控机床的应用变得普遍起来。但是，对这样的设备使用者往往更多地是看重其效能，而不重视对它的合理使用，对其日常保养及维修工作关注太少，等到故障出现时再临时抱佛脚造成停产停工的现象很是普遍。所以，故障分析与诊断是数控机床故障排除过程的最重要环节，分析出了故障原因，问题也就迎刃而解。     

对数控机床几种故障分析

数控设备是技术密集型的产品。我们在日常设备维修中,经常会遇到设备故障。要想迅速而准确地查明原因并确定故障部位,是有一定难度的。这就要求设备维修人员分清故障的类型,根据机床的结构和工作原理,分析故障的原因,采取什么措施,确定具体维修方案,并且根据故障缘由,彻底排除引发故障的根源。     

数字电视一则黑屏故障案例的启示

黑屏故障是数字电视维护中常见的故障之一,产生黑屏故障的原因众多,由于终端机顶盒的设计缺陷而导致黑屏就是其中的一种,本文就笔者在维护过程中遇到的问题进行简要分析,对终端及前端设备、系统的采购测试提出了更高要求。