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建立了一套在气样室内气样压强低于700Pa时均可满足“分子流进样”条件的质谱校准与定量分析系统。通过大量的实验,确定了四极质谱计的工作参数;测定了常用被分析气体的定量系数;并采用实时校准的办法,利用标准气样标定了本装置的系统误差;对各类荧光灯中混合型填充气体的配比和国内外成品荧光灯中的杂质气体含量进行了质谱定量分析;测定了生产中未充入填充气体的灯管内的残气压强。取得了一批对指导生产、改进工艺有用的数据。本系统同样也适用于其他类似场合。 相似文献
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密封真空器件内残气的质谱分析,必须解决开管取样技术问题。因为分析结果的可靠性在很大程度上取决于这种技术。本文叙述了各种开管方法、专用装置以及气体的引出和向质谱计管的输送。 相似文献
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介绍了多层绝热低温容器进行真空夹层残余气体质谱分析的目的、方法和装置,分别测出被测低温容器在注入液氮之前、之后的残余气体质谱图。分析结果表明:容器经过抽真空封口后,因多层绝热材料放气,夹层真空逐渐降低,其放气的主要成份是氢,其次是H_2O和CO、N_2等;装入液氮后,夹层真空会有较大幅度地提高,这时残气成份几乎全是氢。认为材料放气中的氢是获得和长期维持更好真空的主要限制因素。最后提出减少氢气量的三点技术措施。 相似文献
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HT—7超导托卡马克真空系统和真空调试实验 总被引:1,自引:1,他引:0
本文介绍了HT-7超导托卡马克装置的真空抽充气系统,质谱分析和真空测量系统。给出HT-7装置真空调试过程中的真空密封、检漏排漏、漏气率放气率和极限真空及质谱分析和放电清洗的实验结果,对有关问题进行了讨论。 相似文献
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本文简要介绍了利用四极质谱定量分析技术对某离子管管内氢气分压强与氢发生器加热功率关系的测定结果,同时也给出了附在该离子管上的微型钛泵对管内残气成分影响的质谱分析结果。 相似文献
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范有裕 《真空科学与技术学报》1985,(2)
本文详细地叙述了预真空残气质谱分析的设备和方法,并且提供了一系列目前常用的预真空获得方法的残气质谱图。通过对这些残气质谱的分析和比较,可以为清洁的超高真空系统选用一种合适的预真空获得方式。 相似文献
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四极质谱计定量分析的研究 总被引:3,自引:1,他引:2
一般认为,用作真空残气分析的四极质谱计是很难进行定量分析的。通过对四极质谱计测量过程的理论分析,指出了用四极质谱计获得可靠的定量结果的条件及由此产生的分析方法和限制因素。重点分析了四极质谱计的稳定性、线性、灵敏度、分辨本领。同时指出了实现四极质谱计定量分析可能的努力方向。 相似文献
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硼碳膜吸氧将导致真空室残气中水分压的降低,所以可以通过分析各种情况下真空室残气谱水分压的变化,来研究托卡马克等一壁硼碳膜的吸氧过程,残气谱分析表明硼化过程中,硼碳膜吸氧;各种等离子体轰击过程中硼碳膜吸氧;而没有等离子体轰击时如抽本底真空过程中,硼碳膜不吸氧。了解这些过程对合理使用膜有重要意义。 相似文献
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一种实用的残余气体分压强定量测定方法及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍测定被分析残气样品分压强的一种实用的新方法,其实质在于用四极质谱定量分析与电离计测量的组合。将电离计读数压强转化成真实压强(计算值),进一步求出残气分压强。 相似文献
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介绍了一种以单板机为核心的数据处理器,可对质谱进行归一化百分比处理,也可以进行峰选和峰强度监测,在处理器中建立了24种高真空系统中常见气体成份的质谱数据库,可以对残气成份进行定性的谱图检索。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2019,(11)
低温多效海水淡化装置的蒸发温度不高于70℃,设备需在真空环境下运行,因此,真空度的保持是整个系统稳定运行的重要保障。本文对海水淡化系统中不凝气体析出量、空气泄漏量以及携带蒸汽量等参数的传统计算方法,进行了分析并提出了修订及改进。结合低温多效海水真空系统抽气量的具体案例给出了详细计算过程和结果,为低温多效海水淡化装置的真空系统的计算机辅助设计和选型提供理论支持。 相似文献
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赵洁莲韩延民 《真空科学与技术学报》2019,(11):964-968
低温多效海水淡化装置的蒸发温度不高于70℃,设备需在真空环境下运行,因此,真空度的保持是整个系统稳定运行的重要保障。本文对海水淡化系统中不凝气体析出量、空气泄漏量以及携带蒸汽量等参数的传统计算方法,进行了分析并提出了修订及改进。结合低温多效海水真空系统抽气量的具体案例给出了详细计算过程和结果,为低温多效海水淡化装置的真空系统的计算机辅助设计和选型提供理论支持。 相似文献
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本文介绍了一批彩显管早期失效的性能特征和对其失效原因的诊断过程,我们先后采用了残气质谱分析,慢性漏气的快速无损检测以及氦质谱检漏等技术手段来寻找失效原因,从理论上分析了这类管子的早期失效机理并对相关问题进行了讨论,彩显管的早期失效并非仅这一种类型,应该针对其性能特征来具体分析。 相似文献
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为了对HL-2A装置升级改造后的器壁处理效果展开分析,使用四极质谱计对HL-2A装置壁处理过程中或壁处理前后的残余气体进行了质谱测量。利用粒子平衡方程和质谱图变化分析了直流辉光放电清洗过程中的气体成分变化。研究了HL-2A装置壁处理的性能并优化了He+D2-GDC的氦氘比例参数。结果表明:HL-2A装置真空室烘烤除气后,残余气体中H2O所占百分比由烘烤前的92%降至56%,真空室真空度达到2.2×10-5Pa;在不同阶段利用H2-GDC、He-GDC、He+D2-GDC进行壁处理消除了真空室内部件升级改造对壁处理造成的不利影响,保障了HL-2A装置等离子体放电实验的开展。 相似文献
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超大型航天遥感器评价系统是用于大口径光学遥感器在地面模拟在轨环境的条件下进行性能测试与评价的试验装置,由真空容器、低温热沉系统、真空获取系统、氮流程系统、外热流模拟装置等组成。真空容器是超大型航天遥感器评价系统的主体,其结构复杂、开孔数量较多、体积庞大,存在泄漏因素多,其漏率指标是影响航天器地面模拟试验工作真空度指标能否实现的关键因素。本文针对真空容器研制过程各个阶段氦质谱检漏方法进行了对比分析,并根据超大型真空容器研制过程的漏孔定位难点进行分析,在研制过程提出了利用氦质谱负压采样法,优化了真空容器氦质谱检漏流程,实现了漏孔快速、高效定位,并在实际工程应用中取得了良好效果。 相似文献
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锆石墨消气剂激活时吸放气及其质谱分析 总被引:1,自引:0,他引:1
有色金属研究总院研制的YGS-1锆错石墨消气剂在室温具有吸收N_2、CO、H_2、H_2O、CH_4、O_2、CO_2等活性气体的能力,能有效提高电子管等真空器件的真空度。经同台测试证明,它对N_2,CO、H_2的吸气性能都超过了国外同类产品的水平。锆石墨消气剂在加热激活时会放出一定量的气体,但也吸收一定量的气体。我们对此特点进行了质谱分析。一、实验方法及装置实验采用静态定容法。整个装置是玻璃系统(如图1),主要由玻璃泡、四极质谱计探头、镓銦阀、B-A规和消气剂样品室等所组成。用GP3.5-E型高频感应加热设备加热消气剂样品。用铂铑-铂热电偶测量温度。消气剂的放气和残气由SJX-1型四极质谱计分析。 相似文献