一种新型小型化高抽速的复合吸气泵

本文介绍了一种高抽速体积小巧的由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成的复合泵,其特别适用于超高真空实验室设备、便携式真空仪器等领域。其采用吸气剂泵作为主泵,用一个小型离子泵安装在吸气剂泵的支架内用来抽除吸气剂泵无法抽除的甲烷、惰性气体等,具有结构紧凑、体积小巧、便于安装和维护,抽速高等特点。     

石英膜标准漏孔的试制与测定

金属结构的高真空与超高真空系统,近年来广泛采用氦质谱仪作为检漏工具.由于氦具有很高的扩散速率,而质谱仪又是一种对极微量元素即能产生反应的仪器,因此利用氦质谱仪可以迅速、灵敏地达到检漏的目的.除了金属真空系统外,对其他电子器件外壳的检漏也同样适用.     

JLH-1型氦质谱检漏仪

由于当代高真空技术的迅速发展,特别要求在金属真空容器内保持极低的压强,因此必须对真空系统设备的连接、各种真空容器和管道等进行密封试验,以消除一切可能存在的漏隙。因此在很多场合下普遍需要一种灵敏度较高的检漏仪器,来探知真空系统上极其微小的漏孔。福州无线电厂已试制成功一种 JLH-1(仿ПТИ-4А)型的氦质谱检漏仪,它是一可移式的、用氦气作探测气体的小型磁偏转质谱仪,可用于寻找金属真空系统任何部分的微漏,是一种重要的仪器。     

分子束外延实验装置中的前级抽气系统

本文介绍一种用于分子束外延实验装置中取代吸附泵的前级抽气系统。该系统由机械泵、扩散泵及分子筛吸附阱组合而成。文中讨论了设计、组装这种系统的背景及有关技术细节,并根据用四极质谱仪得到的资料及分子束外延实验装置的运行情况对该前级抽气系统作出了初步评价,为用有油机组作前级抽气系统以便获得基本无油的超高真空环境提供了有益的经验。     

脉冲真空电弧离子能量的测量研究

离子能量是影响脉冲真空电弧离子镀镀膜质量的一个重要参数,因而测量真空电弧中离子的能量非常重要.本文介绍了一种测量脉冲真空电弧离子能量的装置-五栅网,分析了其测量离子能量的原理,并用它测量了脉冲真空电弧的离子能量.     

BS350扫描电镜的真空系统及其维护

BS350超高真空扫描电镜的真空系统属无油真空,具有清洁,安全,可靠、抽速高,无噪音及操作方便等优点。图1为这套真空系统的结构图。预真空室的真空是通过低温吸附泵获得的;枪室和样品室的真空是通过静电离子泵和磁离子泵二级抽气达到的。第一级吸附泵利用分子筛的低温吸附作用进行抽气,使预真空室的真空达到10~(-10)pa。每次使用以前都要对它进行烘烤,在300℃～350℃温度下保持3～4小时的驱除吸附的水汽,得以再生。但多次使用以后,分子筛的吸附作用有所降低,再生不理想时就必须更换泵中的分子筛。第二级静电离子泵的稳流电源提供0～60mA的可调电流加热灯丝使其发射出具有一定切向动量的电子注入电子运动轨道。电子受阳极     

CD-J50型超高真空阀门

前言随着电子工业的迅速发展,对清洁超高真空等基础工艺提出了新的更高的要求。自一九七三年以来,我厂研制了一些长寿命、高可靠、低噪声的电子管。因而逐步对原有的油扩散泵抽气系统进行了技术改造。用冷阴极钛溅射离子泵和钛球升华离子泵抽气系统更换了油扩散泵抽气系统。经过几年来的生产实践和不断改进,已能适应和满足生产的工艺要求,收     

小型无油真空系统的试验

一、前言在无产阶级文化大革命的推动下,电真空事业蓬勃发展,无油真空系统在电子器件上的应用日益广泛,不少单位有了实例。我们在一九七四年进行了试验。首先是用8升/秒的钛离子泵系统对FU-101大功率发射管进行排气试验。封离真空度在10~(-8)托,比现有的1000升/秒的油泵系统要高。随后又制作了30升/秒的钛离子泵和200升/秒的钛升华泵。并首先在     

DB—5型光栅扫描电子束曝光机真空系统

本文介绍了我国自行研制的第一台生产实用型光栅扫描电子束曝光机的真空系统,包括系统设计、分子泵与离子泵的应用、全系统泵阀的可编程自动控制,以及为改善系统性能采取的一些措施。     

LIMA——激光显微眼

人们对激光探针显微分析技术正表现出极大的兴趣，这种技术能够在超髙真空条件下分析厚及薄的两类样品。称为激光感生离子质谱仪(LIMA)的系统，最初是由原子武器研究机构，即奥德马斯顿和剑桥顾问团科学家之间合作研制的。原子武器研究机构特有的原始LIMA,在奥德马斯顿已获得了有意义的结果。剑桥质谱技术的进一步发展导致了LIMA2A,据说它是世界第一个商品仪器型号。     

全玻璃无油超高真空系统的研制

本文介绍一种简单实用、廉价的全玻璃无油超高真空系统。系统包括冷吸附泵、钛泵、前置阀门和超高真空阀门四部分。文中首先综合分析国外近年来玻璃无油系统及零件的发展动向,吸取国外的新成果,并结合我们的研究工作,设计具有一定特点的零件。其中,前置玻璃无油阀门是参考并改进一九七三年Pope公司介绍的产品;超高真空阀门是采用翻边式和磨砂结构的镓阀门,其漏气量可比普通结构降低四个数量级,而且能承受一个大气压力差;钛泵采用钛球升华离子泵,升华器的钛贮量约8克,比老式的缠绕式升华器增加了几十倍,钛泵壁的冷却采用外加水冷套,大大地简亿了钛泵制作工艺和降低了成本。用机械泵和吸附阱代替冷吸附泵,可构成玻璃的半无油超高真空系统,在液氮供应困难的地区有使用价值。最后,介绍玻璃无油系统在电子管排气和计量部门的一些应用。     

一个新型的单极质谱仪

仅12吋长(即30厘米左右),不用磁场,可进行450℃的烘烤,并可工作在高温下。通用电气公司研制的单极质谱仪是市售质谱仪中主要的一种,专门用于高真空和超高真空的气体分析。可测质量范围到300原子质量单位(amu)。在250 amu以内,相邻峰值分辨得很清楚,可测的总压强和分压强小于10~(-13)乇。在该管上接一个真空小室后可以进行离子注的研     

合肥光源直线输运线真空数据采集系统

建立了基于实验物理和工业控制系统的合肥光源直线输运线真空数据采集系统.IOC从智能溅射离子泵电源控制器获取数据,MEDM程序作为监控的人机界面,运行Channel Archiver的PC机对离子流数据存档,允许从不同的联网计算机上检索数据.目前该系统已经对直线输运线离子泵数据做了长时间的采集和存档.     

分析细小气溶胶粒子的质谱仪

美国Delaware大学Johnston等人研制出用做超细粒子分析的激光质谱仪，用激光烧蚀法实时分析单个气溶胶粒子，粒子直径为10～150nm；比现有同类仪器能测量的粒子直径小一个量级。用微分迁移率分析器分选出不同尺度的气溶胶粒子，然后将其引入质谱仪，在质谱仪中它们受到高能激光脉冲的烧蚀。产生的离子用飞行时间质谱分析仪检测。在大多数气溶胶质谱仪中，首先是利用粒子对连续波激光束的散射进行探测。一旦粒子被探测到，即用高能量激光脉冲将其烧蚀。利用对连续波激光束的散射可以判定粒子的尺度，同时它提供了一种粒子到达和激光触发同步…     

激光器

0007436原子能院自由电子激光器真空系统[刊]/陈文奎//真空科学与技术学报.—1999,19(增刊).—4～7(C)介绍中国原子能科学研究院自由电子激光器真空系统。激光器由 L 波段行波电子直线加速器、束流输运系统和包含1.5m 摇摆器的光学谐振腔组成,10台钛溅射离子泵分布在各段以获得并保持超高真空。     

无油机组升华泵钛球的制造工艺

一、引言在同一抽速下,钛球升华泵的体积、重量、成本是扩散泵、溅射离子泵的几十分之一。它可以用作外真空的主泵;加机械泵作内真空的前级和排电子管时作附助泵。如图1所示。     

TECNAI 10透射电镜真空系统的故障分析和检修

本文讨论了ＴＥＣＮＡＩ 10透射电镜真空系统的结构和工作程序 ,对所发生的故障进行了分析。ＴＥＣＮＡＩ 10透射电镜的真空系统采用了前置真空泵 (Ｐｒｅｖａｃｕｕｍｐｕｍｐ简称ＰＶＰ)、油扩散泵 (Ｏｉｌｄｉｆｆｕｓｉｏｎｐｕｍｐ简称ＯＤＰ)和离子泵 (Ｉｏｎｇｅｔｔｅｒｐｕｍｐ简称ＩＧＰ)三级真空。电子光学系统从下到上被分隔为储气桶 (Ｂｕｆｆｅｒｔａｎｋ)、照相室 (Ｃａｍｅｒａ ,包括投影镜和观察室 )和电子枪 镜筒 (Ｇｕｎ Ｃｏｌ)几个主要部分 ,相互间由阀门隔离 ;分别由Ｐｉｒ1、Ｐｅｎ3和ＩＧＰ1对其进行真空监测。照…     

Zr—Al16吸气剂在低真空的应用

本文介绍 Zr-Al16吸气剂材料在1～130Pa 的低真空状态下的应用试验。特别是在靠溅射离子泵来维持、监测真空度的静态密封真空器件,当器件内部真空度变坏,以致溅射离子泵无法启动和正常工作的程度,如果采用一个结构简单的 Zr-Al16泵,则能有效而简便地解决问题。     

折迭路程小型化质谱仪

战场生物战剂和爆炸物总有一天可被小型飞行时间质谱仪察觉，这种仪器正由约翰·霍普金斯大学应用物理实验室研究人员和该校医学院研究组、马里兰大学以合作方式发展。飞行时间质谱术的意思是，样品分子被所加电压而电离并加速达到一理想的动能，然后解除电压漂移已知距离，到达探测器，在途中按离子荷质比的不同而分离。数据可以质谱离子强度与荷质比的关系作图，由此鉴别各种成份。普通质谱仪是笨重的仪器，需消耗大量功率。由美国国防先进研究计划局投资的微型飞行时间质谱仪项目的目标是制作一种可使战场人员搜索生物战剂或地雷、未爆炸…     

冷阴极溅射钛泵的试验

超高真空的获得对于现代科学技术、电子管工业生产有着极其重大的意义.我们在毛泽东思想指导下,领导、工人、技术人员相结合,在试验冷阴极溅射钛离子泵获得超高真空方面,已收到一定效果.可供各种微波管排气使用.溅射钛离子泵目前已发展成为一种重要的超高真空泵,许多国家已成批生产.由于它具有一系列优点,深为人们重视.