能进行单分子层生长的相位控制外延

自从分子束外延问世以来,电子衍射仪就是该技术的一种必不可少的仪器,用它来观测生长过程中的结晶情况及表面结构变化。随着MBE技术的发展及研究工作的深入,电子衍射仪的用途也在不断扩展:如观测衍射象的变化探讨晶体的生长机理;利用衍射象随温度的变化来辅助测量衬底温度;通过观测衍射象的振动来控制生长厚度达到分子层的精度等等。本文介绍的“相位控制外延技术”被认为是这些扩展的应用中最有吸引力的。特译出此文,以飨读者。     

Semicon Japan’85展览会介绍——赴日考察报告之一

应日本电子机械工业会的邀请,中国电子工业部元器件管理局访日代表团一行七人,在团长邱桂山同志的率领下,于85年12月4日至14日在日本进行了参观考察。代表团在日本的主要活动是:1.参观Semicon Japan’85展览会;2.和日本半导体工业界人士进行学术交流;3.在东京、熊本、熊谷等地参观了七家日本半导体设备厂及集成电路生产工厂。     

反应离子腐蚀实验装置

本文在扼要介绍各种干法腐蚀工艺之后,重点报导研制的反应离子腐蚀实验装置的构成以及在该装置上进行腐蚀铝的实验情况,并对装置上的质谱分析系统进行简单的说明。     

干法腐蚀和铝的反应离子腐蚀

本文在介绍几种主要的干法腐蚀工艺过程中,指出了因文献中名词术语不统一而造成的互相混淆的现象,建议把“刻蚀”和“腐蚀”加以区别。文中着重介绍了反应离子腐蚀,并结合几个具体实例对铝的反应离子腐蚀进行了比较详细的介绍。     

(三)个人用计算机

汉字词汇ROM 是日语字处理机或操作系统(OS),在语言方面把使用的汉字词汇ROM化的意思。 汉字词汇是把日文假名(或罗马字)的资料贴切地变换为汉语单字、成语资料的集合。通过对这些资料进行有条理的语法解释作用,使日文假名变换为汉字成为可能。     

分子束外延实验装置的辅助升华钛泵

一、引言早在一九七七年下半年,我们在调试当时订购回的全无油超高真空钛泵机组时,发现该机组的升华泵吸气面冷却效果欠佳,可能满足不了MBE对真空的要求。MBE要求超高真空条件,即应在优于5×10~(-8)托的环境下进行外延生长。生长前应优于5×10~(-10)托。据估算,喷射炉工作时的总气体量约为10~(-4)托·升/秒数量级,欲使工作室的真空<5×10~(-8)托,泵的有效抽速应>2000升/秒。     

分子束外延实验装置中的前级抽气系统

本文介绍一种用于分子束外延实验装置中取代吸附泵的前级抽气系统。该系统由机械泵、扩散泵及分子筛吸附阱组合而成。文中讨论了设计、组装这种系统的背景及有关技术细节,并根据用四极质谱仪得到的资料及分子束外延实验装置的运行情况对该前级抽气系统作出了初步评价,为用有油机组作前级抽气系统以便获得基本无油的超高真空环境提供了有益的经验。     

干法工艺的恒压供气

本文讨论恒压供气的基本原理及有关计算,扼要介绍初步的实验结果。     

(二)微处理机

微处理机 虽然微处理机有时看作是微型计算机的同义词,但一般说来,微型计算机是由CPU,ROM,RAM,I/O等基本部份组成,微处理机多指其中的CPU芯片。CPU(Central Procecsing Unit)即中央运算处理单元,是计算机系统的核心部份,它控制、管理存贮器、输入输出接口(I/O)等部份的动作并对数据进行算术和逻辑运算。微型计算机与大型计算机不同,CPU中不包括程序存贮器和数据存贮器。把程序存贮器,数据存贮器,I/O以及CPU做在不同芯片上的微型计算机称为多片机,把上述这些部份做在一个芯片上的称之为单片机,其关系示如图1。     

TK—95型特种扩散泵研制报告

一、引言TK—95型特种扩散泵(外观见封二)是在日本大亚(DAIA)公司DPF—3Z型油扩散泵的基础上,我们将其材质和结构上加以改进后于88年推出的新产品,是显象管生产线排气小车上不可缺少的专用高真空油扩散泵,属于消化吸收提高型新产品。该泵的研制工作于87年12月份开始。在试制过程中,长沙曙光电子管厂提供了一台大亚公司的原装DPF—3Z型泵和相应的产品说明书,并对第一台试制泵进行了试用,提出了若干改进意见。