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探讨了液相沉积法制备类金刚石的新工艺,并采用XPS,Raman光谱和SEM等对所得膜的结构进行表征,证实所得的是类金刚石膜。液相沉积得到的类金刚石膜与钛合金基材之间具有较强的结合强度,并具有较低的摩擦系数和一定的耐磨损能力。 相似文献
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类金刚石薄膜等硬质碳膜具有许多优异特性,其开发研究已引起人们的极大关注.文章就类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备方法与各种特性进行了解说. 相似文献
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金刚石膜的出现突破了传统人造金刚石尺寸的限制,使得金刚石的电学、热学、光学和电子学等方面的优异性能得到了利用,极有可能为超硬材料行业开拓新的更大的市场.金刚石膜或类金刚石膜用来作为场发射的阴极,是其极具前景的应用之一.文章叙述了冷阴极场发射的概念、金刚石膜的性能和用作冷阴极场发射显示器的相关研究,介绍了国内外相关研究的成果和发展前景,供同行参考. 相似文献
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日本住友电气工业公司试验在硅、铝、钼的表面生长2μ厚多结晶金刚石被膜取得了成功。试验是用高频把甲烷和氢的混合气体等离子化,在700~900℃下基片表面合成生长金刚石被膜。被膜经用电子衍射、红外吸收光谱分析等数种方法测试,根据超高压法,已确认该被膜和金刚石的性质几乎相同。另外,对合成被膜的硬度、耐药性、热传导性也进行了测试,也确认具有金刚石的 相似文献
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类金刚石膜结构的红外分析 总被引:4,自引:0,他引:4
采用直流-射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜,用Fourier秀昨吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究,类金刚石膜中大部分碳原子以sp^3组态存在,结合在膜中的氮原子与碳原子之间可形成sp^3C-CH2,sp^3C-CH3和sp^2C-CH2基,其含量以sp^3C-CH2,增加Ar气分压与提高极板负偏压对类金刚石膜结构产生的影响,是相似的,增大极板负偏压或Ar气的含量将减小类金刚石膜中sp 相似文献
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通过实验研究了金刚石合成的规律,总结了合成原料、合成工艺条件、掺杂物种类等对含硼金刚石合成及其晶体性质的影响。这对含硼金刚石的工业生产及其产品的制造起到指导作用。介绍了含硼金刚石优异的物理化学性质及在工业生产中的广泛使用情况。 相似文献
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荷能粒子在类金刚石膜形成中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
类金刚石膜由于其优异性能和广泛应用已引起越来越多的研究兴趣。尽管各种化学和等离子体辅助CVD和PVD技术已用来沉积类金刚石膜(DLC膜),但其形成机理仍不清楚。本文通过分析荷能离子的作用,应用热峰效应和离子刻蚀效应来解释DLC膜的形成。 相似文献
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金刚石膜电极电化学处理污染物的研究 总被引:7,自引:0,他引:7
采用人工合成的金刚石膜电极进行电化学氧化降解处理污染物的探索工作。已成为环境电化学领域中最为关注的国际性研究热点之一。从电催化氧化降解技术处理污染物的研究现状及其存在的问题出发.分析了适用于污染物降解处理的高效电极材料应具有的表面特性及其电化学性质。在综述了金刚石膜电化学研究以及应用于污染物处理的工作基础上,结合近期相关的研究结果,论述了金刚石膜电极的电化学特性以及对污染物氧化降解的应用和降解机理。金刚石膜电极将是未来环保处理中非常适用、高效、稳定的电极材料。 相似文献
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类金刚石膜的结构与性能研究 总被引:8,自引:2,他引:8
用激光Raman谱和XRD谱对用直流-射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析,并研究了工艺参数对膜的沉积速率,内应力和直流电阻率的影响,结果表明,类金刚石膜是由sp^2和sp^3键组成的非晶态碳膜,当负偏压高于300V时,膜中sp^3/sp^2键的比值随负偏压的升高而降低,类金刚膜的沉积速率与负偏压Vb的成正比,膜内存在1~4.7GPa的压应力,随负偏压的升高而降低,膜的电阻率 相似文献