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介绍了一种新的镀膜技术—过滤式真空电弧离子镀膜技术。针对典型的过滤式真空电弧镀膜装置,描述了其结构组成,分析了它的工作原理。分析结果表明,该技术与传统真空电弧离子镀膜技术相比,可有效地消除宏观颗粒对镀层的污染,可广泛应用于制作各种微电子膜透明导电薄膜(ITO)以及类金刚石(DLC)薄膜。 相似文献
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浅析离子辅助光学薄膜镀膜机的特性 总被引:1,自引:0,他引:1
真空镀膜产品的质量问题,一直是应用镀膜技术人员探索的课题。人们经过长期探索,采用离子束辅助沉积镀膜技术,改善了镀膜层牢固性,提高了反射率。本技术在通讯技术、太阳能应用、汽车、装潢等领域应用十分广泛。本文介绍了真空离子束辅助沉积镀膜设备特性。 相似文献
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同轴式磁控溅射离子镀膜机是磁控溅射和离子镀膜相结合的一种镀膜设备。从不小于1.5×2m 大面积基底上所镀膜层的均匀性和实际应用的可行性来看,是一种较好的成膜手段。1.国内现状目前国内生产蒸发式镀膜设备的厂家不少。这种方法是以高纯铝丝或铁铬镍合金丝等作为膜材,在大面积上镀镜或镀建材玻璃膜。普遍认为蒸发膜存在着如下问题: 相似文献
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机器人系统任溅射镀膜设备中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
现代工业的发展要求真空镀膜设备具有对复杂曲而零部件进行均匀镀膜的能力,要实现此类工件的镀膜要求,只有引进机器人技术才能达到.本文介绍了机器人系统在磁控溅射镀膜机中的应用,并对镀膜机器人应用条件和控制过程进行论述. 相似文献