镀膜工艺与镀膜系统配置

在过去的15-20年中，光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前，一般的镀膜机都是纯人工操作，最先进的也只是半自动控制，都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在，高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块(子系统)的全自动系统。这些智能模块(子系统)通常在多个微处理器的指令下结成局域网(LAN)，而局域网又可并入整个工厂的自控系统。用户对设备性能的完善性要求越来越高，现在我们经常见到用户在购买镀膜机的同时，还要求厂家提供相关工艺技术。本探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件，以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用。尽管其他技术日渐流行，但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段，因此本中的讨论只涉及物理蒸镀技术。     

ZZSX—600光学镀膜机

ZZSX—600光学镀膜机是北京仪器厂最新研制的用于光学镀膜批量生产的先进机型。该机配有大功率e型电子枪和电阻蒸发源,可蒸镀各种高低熔点的金属及化合物材料。设备带有光学膜厚控制仪和石英晶体膜厚速率监控仪,可精确地控制膜层的光学厚度或几何厚     

行星周转镀膜装置设计

针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置。该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、重量轻、负载小、运转稳定、方便清洁、易于调整等要求。该行星周转镀膜装置的使用,使圆柱形腔杜瓦在公转时实现自传,实现圆柱形腔杜瓦的一次蒸镀,克服原有的三次平面蒸镀带来的问题。试验结果表明:杜瓦镀金引线膜层在粘附性、均匀性等关键指标上均优于原蒸镀方式,在实现产品质量提高的同时,降低了生产成本,提高了生产效率。     

真空离子镀膜经验讲习班公告

<正>讲课内容:真空基础知识、薄膜沉积技术、离子镀膜机结构、离子镀膜一般工艺制订、离子镀代替电镀、离子镀超硬涂层、磁控溅射新技术、装饰膜材及色调、离子镀膜应用等。也可根据客户要求确定讲课内容。(2)现场操作实习:参观三束材料表面改性国家重点实验室,工具镀膜生产加工厂及镀膜机制造厂,镀膜专利工艺、操作决窍分析。     

第十八讲真空蒸发镀膜

1 概述 真空蒸发镀膜(简称蒸镀)是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质,使之汽化,蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术.蒸镀是PVD技术中发展最早,应用较为广泛的镀膜技术,尽管后来发展起来的溅射镀和离子镀在许多方面要比蒸发镀优越,但真空蒸发镀膜技术仍有许多优点,如设备与工艺相对比较简单,可沉积非常纯净的膜层等等,因此,真空蒸发镀膜仍然是当今非常重要的镀膜技术.近年来由于电子轰击蒸发,高频感应蒸发以及激光蒸发等技术在蒸发镀膜技术中的广泛应用,使这一技术更趋完善.     

真空离子镀膜经验讲习班公告

<正>讲课内容:真空基础知识、薄膜沉积技术、离子镀膜机结构、离子镀膜一般工艺制订、离子镀代替电镀、离子镀超硬涂层、磁控溅射新技术、装饰膜材及色调、离子镀膜应用等。也可根据客户要求确定讲课内容。(2)现场操作实习:参观三束材料表面改性国家重点实验室,工具镀膜生产加工厂及镀膜机制造厂,镀膜专利工艺、操作决窍分析。     

真空离子镀膜经验讲习班公告

<正>讲课内容:真空基础知识、薄膜沉积技术、离子镀膜机结构、离子镀膜一般工艺制订、离子镀代替电镀、离子镀超硬涂层、磁控溅射新技术、装饰膜材及色调、离子镀膜应用等。也可根据客户要求确定讲课内容。(2)现场操作实习:参观三束材料表面改性国家重点实验室,工具镀膜生产加工厂及镀膜机     

金属蒸镀膜的附着力测定

1.前言 对于蒸镀膜在基板上的附着强度和把该膜从基板上剥离下来时的破坏过程的研究,在考虑蒸镀膜应用技术及其膜的持久性时是重要的。并且,做为蒸镀膜的物性研究也是很有兴趣的问题。 在这里通过真空蒸镀法就测定玻璃基板上蒸镀金属(银、铜、铝)的附着力、膜厚度的依存性以及基板温度的依存性的结果进行报告。 2.试验材料的制作 附着力测定时所用材料(银、铜、铝)的蒸镀是采用扩散泵排气系统进行排气的真空室。试验材料的纯度用99.999～99.99%在锦蒸发器中进行加热,其蒸发速度为2～4A/s。蒸镀过程中的真空度为4 × 10-3帕。基板采用 26 ×…     

真空蒸发镀膜设备性能的改进

为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适就应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜审的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次.并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求.     

大型包装薄卷绕真空镀膜机的研制

本文通过对南光ＰＲＣ－１３００／Ｍ型包装薄膜卷绕真空镀膜的介绍。详细叙述该镀膜机的结构特点，各系统的组成及功能简介，以及用于各种基材上蒸镀包装薄膜。通过用户的使用表明该镀膜机是目前国内有领先水平的，高性能的蒸镀各种包装薄膜的理想设备。     

压阻式真空传感器校准技术研究

随着科学技术的发展,各种类型真空传感器在真空测量设备中得到广泛应用,日常测量和校准问题也日益得到相关计量部门的关注。通过对压阻式真空传感器使用原理的分析,采用比较法真空校准装置,获得真空变量与测量输出信号问的函数关系,对照测量误差是否在准确度等级范围内,准确判断测量结果与被测量真值的一致程度,解决该类型真空传感器的测量和校准问题。     

Advances in understanding of transparent conducting oxides

The band structures of some transparent conducting oxides are calculated using the screened exchange hybrid functional. The optical properties and band gaps of the CuAlO₂ defossalite family follow the expected chemical trends. The limits to the doping of n- and p-type oxides are examined in terms of the dopant compensation by native defects. The accessible range of the Fermi energy under doping is that for which compensating native defects have a positive formation energy. These energy limits are aligned on a band offset diagram. N-dopable oxides have a conduction band minimum that lies deep below the vacuum level, while p-dopable oxides have a valence band top that lies high towards the vacuum level. The nature of electron conduction in amorphous InGaZnO_x type oxides is discussed, in terms of the nature of localisation and the density of states at the mobility edge.     

A study of silica coatings on the surface of carbon or graphite fiber and the interface in a carbon/magnesium composite

A study has been made of the method of depositing a silicon dioxide coating on the surface of carbon or graphite fibers and of the interface in C/Mg composites manufactured by vacuum pressure infiltration: the mechanical properties of the materials were also studied. For the coating process, the fibers were passed through a toluene solution containing a silicon-based organometallic compound and chloride, following which hydrolysis and pyrolysis of the organometallic compound occurred to form a thin and uniform silicon dioxide coating on the surface of the fibers. The air-stable silicon dioxide coating facilitates wetting and bonding between carbon or graphite fibers and liquid magnesium. The carbon- and graphite-fiber-reinforced magnesium composites were fabricated by vacuum/pressure infiltration processing. Special attention was focused on analysis of the structure of the coating which was deposited by the solution immersion process with the aid of analytic instruments such as SEM, EDAX, TEM, XPS and SAM. Manufacturing processes of C/Mg composites, the interface chemical reaction, and the mechanical properties were also studied.     

Sn3.0Ag0.5Cu3.0Bi钎料对化学镀镍SiCp/6063Al复合材料真空钎焊接头组织和性能的影响

采用Sn3.0Ag0.5Cu3.0Bi软钎料对镀镍后的两种不同体积比SiC_p/6063Al复合材料进行真空钎焊。通过SEM、剪切试验等方法分析了化学镀镍后SiC_p/6063Al复合材料真空钎焊接头的显微组织以及保温时间对接头性能的影响。结果表明:两种不同体积比SiC_p/6063Al复合材料真空钎焊后的焊缝组织致密,钎料对镀镍复合材料的润湿性良好;在270℃、保温35min的钎焊工艺下,钎焊接头的剪切强度最大值为38.3 MPa;钎料中的Sn、Cu元素能够与复合材料表面的Ni层发生化学反应,实现钎料与母材的冶金结合;镀镍后SiC_p/6063Al复合材料真空钎焊接头断裂形式为韧性断裂为主的混合断裂,断裂主要发生在钎料内部,部分发生在镀镍层与钎料的结合处。     

真空气相沉积可控制备有机半导体单晶薄膜

利用多温区温度可控的真空气相沉积设备,在热氧化硅片衬底上沉积了并五苯（PEN）与甲氧基寡聚苯乙烯撑（MOPV）2种有机半导体材料的薄膜。研究了不同的沉积条件下有机半导体材料在二氧化硅衬底上的成核和生长模式。MOPV的生长遵循Volmer-Weber模式。在理想的条件下分别得到了岛状与线状的单晶结构。偏振显微荧光研究证明单晶纳米线有显著的荧光各向异性。     

高熵合金FeCoNiTi的微观组织演变和强韧化行为

使用热力学软件设计了一种新型双相高熵合金(FeCoNiTi),利用真空电弧熔炼和热处理制备出FeCoNiTi高熵合金块体材料。表征结果表明,FeCoNiTi高熵合金由层状结构的Laves相和魏氏体板条FCC相组成。在室温下FeCoNiTi高熵合金具有良好的综合力学性能(抗压强度σ_b=2.08 GPa,压缩应变ε=20.3%)。高强度来自“硬”Laves相(层状结构)的强化,而“软”FCC相(魏氏体板条)中的位错滑移和变形孪晶提供塑性。     

小开距真空电弧特性实验设计与研究

对小开距真空电弧进行了实验设计以及其特性诊断过程进行了阐述，通过实验，得到了小开距真空电弧伏安特性、相对电子密度和相对光强度分布曲线，为智能相控开关的设计提供了理论依据。     

热压烧结增强Ca3Co4O9多晶的c轴择优织构和电输运性质的研究

分别采用常压固相反应和进一步的真空热压烧结法制备了Ca_3Co_4O_9多晶块材,通过XRD、SEM、致密度、电阻率-温度曲线、霍尔效应测试,对比研究了热压烧结对多晶织构和电输运性质的影响。结果表明两种方法制备的多晶样品均为c轴择优,经热压烧结后多晶的择优织构显著增强,致密度增大,但真空烧结使样品中氧的化学计量比不足,结晶质量略有下降。热压烧结后多晶的面内电阻率显著下降,其室温电阻率约为常压烧结样品的1/7,且电阻率随温度的降低而增大,这主要是由于热压样品晶粒沿(00l)择优排列显著增强,使沿材料ab面内的电输运占优,且晶界和缺陷散射减弱使Co~(4+)载流子迁移率增大。     

醇胺改性氧化石墨烯的制备及二氧化硫吸附性能

固体吸附剂在烟道气脱硫方面具有很大的潜力。以氧化石墨烯(GO)为基底材料,通过乙醇胺(MEA)、二乙醇胺(DEA)和三乙醇胺(TEA)对氧化石墨烯进行改性,得到了GO-MEA、GO-DEA和GO-TEA三种用于吸附SO_2的固体吸附剂。利用扫描电镜(SEM)、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、X射线光电子能谱(XPS)、能量色散X射线能谱(EDS)、元素分析(EA)等手段对其进行表征,并采用称重法测定了醇胺改性氧化石墨烯对SO_2气体的吸附性能。结果表明,醇胺改性氧化石墨烯对SO_2的吸附性能相比未改性氧化石墨烯有较大提高,其中GO-DEA的SO_2吸附性能最好,15h后平衡吸附量达到188.5mg/g。在130℃、真空条件下进行解吸,经过五次循环之后吸附量依然保持在165.3mg/g。     

低温绝热容器中皮拉尼真空计取代热偶真空计的可行性分析

在低温绝热容器夹层真空度的测量中,皮拉尼真空计和热偶真空计较适用,目前热偶真空计应用较多。从测量范围、测量精度、测量温度、互换性、远程监控、检漏能力和性价比等方面,对皮拉尼真空计和热偶真空计的性能进行了比较,得出皮拉尼真空计更适用于低温绝热容器夹层真空度测量的结论。最后列举了目前国外几种典型的商用皮拉尼真空计和热偶真空计的技术参数。