国内部分

92168 国内外电子气体技术进展化工新型材料,1991,19(9),4～10、20 综述了国外兆位级集成电路制造用气体品种与纯度标准、MO源材料的开发、电子气体配套器件、电子气体技术进展。指出国内尚未开发出ULSI级气体,在纯化技术、气瓶及管线内表面处理技术、分析检测与安全技术,特别是供气技术上与国外水平有一定差距。92169 氩气的应用与发展现代化工,1992,(1),60～61 论述了氩气在金属冶炼、钢包喷粉、钢包吹氩、电子工业、金属切割与焊接中的应     

我国含氟电子气体发展现状及技术进展

介绍了我国含氟电子气体发展现状以及技术研究进展。国内含氟电子气体产品在下游应用企业中的接受度较低,与国外发展存在明显差距。研究和开发含氟电子气体的关键技术主要包括合成、纯化、分析和包装等技术。     

国外电子气技术进展及对发展我国特气行业的建议

论述了兆位级集成电路制造对气体的需求,ULSI级气体品种及质量标准,国外电子气新品种的开发,电子气的“超纯”、“超净”技术,对发展我国特气行业提出了15条建议。     

我国特种气体生产技术与国外的差距

论述了工业用标准气,环保气,大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气,MOCVD的源材料—金属有机化合物,以及电子气配套器件国内科研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距,指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体技术水平与国外的差距还要大,仅约相当于国外70年代中末期水平,而标准气约相当于国外80年代初中期水平,电子气则相当于国外80年代初期水平。特气生产技术关键是气体纯化技术及高纯或瞄蚀性气体包装技术等。为加速电子气国产化进程,提出了6项政策性措施。     

国外电子气体供气系统洁净技术

电子气体是发展大规模、超大规模和兆位级集成电路必不可少的材料。目前国外256K DRAM(动态存取存储器)已进入成熟期,1兆位DRAM进入全盛期,4兆位DRAM已正式销售,1987年首先由日本开发成功16兆位DRAM。为适应IC(集成电路)发展对材料的需求,国外许多特种气体公司先后开发出电子级、超大规模集成电路级(VLSI)和兆位级电子气体。线宽进入亚微米级后,尘埃、金属粒子污染问题更为人们所关注。本文简介粒子污染及其洁净技术的进展。一、尘埃和金属粒子源及其对半导体器件质量的影响在用于制造半导体器件的气体中,如存     

全国特种气体信息站组织网员单位赴韩国技术考察

随着特种气体、电子气体技术的迅猛发展,特种气体技术日新月异,学习国外先进技术,扩大国际视野的需求迫在眉睫,为了不断加快特气行业的科学技术进步与发展,加强与国外气体界的交流与联系,同时也为了增进友谊,加强国际问的的合作,学习国外先进的技术与科学管理经验,实现本行业的效益最大化,光明化工研究设计院暨全国特种气体信息站组织广东佛山市华特气体有限公司、中国科学院金属研究所、杭州新世纪混合气体公司、     

国外电子特种气体技术进展及国内合资气体公司概况

综述国外电子特种气体的“超纯”、“超净”技术，一体化供气系统，超微生气体杂质和元素杂质的分析检测技术，电子材种气体市场以及ＩＳＯ９０００系列认证。     

全国特种气体信息站组织会员单位赴日本参观半导体展览会及进行技术考察

为进一步了解国外半导体技术的发展动态．不断学习国外特种气体技术的研制、生产与管理等经验,加强国际间的交流与合作,光明化工研究设计院暨全国特种气体信息站组织以理事长单位光明化工研究设计院、副理事长单位广东华南特种气体研究所有限公司、保定市华宇新型电子材料有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、会员单位大连大特气体有限公司、大连八方经济技术有限公司、     

信息动态

国家要大力发展的半导体产业搞得轰轰烈烈,而其上游配套原材料——国产电子气体的生产却冷冷清清。原来这条产业链上的上半截在国外——靠跨国气体提供电子气体。有人形容＂如果上游电子气体技术没有突破的话,整条产业链就像是在海边堆沙,海浪一来就冲没了＂     

特种气体——高大上的电子气体

我国特种气体市场起步较晚,所以在技术领域较国外巨头企业有一定的差距,也正是因为如此特种气体市场长期被外企所垄断。但近年来国内电子气体奋起直追,表现格外抢眼。     

电子气体：一种亟待解决的关键微电子材料

分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法.     

超纯电子混合气体及标准气体的配制技术

介绍了电子混合气体的配制方法,指出我国此类气体在制备过程中存在的诸多问题。并对国外电子混合气体配制精度、组分气体和平衡气体的杂质要求进行了极其详细的分析。     

京辉气体:“拥抱”氢能新时代——访北京环宇京辉京城气体科技有限公司董事长兼总经理孙国春

<正>近几年,京辉气体在气体分离设备开发方面持续发力,超纯氢提纯设备、高纯一氧化碳制取设备和氧化亚氮制取设备的研发均属国内首创,以超纯氢为代表的一系列超纯气体产品(包括超纯氧、氮、氩、氦等),打破国外技术垄断,真正实现超纯气体的国产化,改变了长期以来国外产品垄断国内气体市场的格局。     

八氟环丁烷的纯化技术研究进展

随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻。总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技术各自优缺点。在实际生产中,根据八氟环丁烷中所含杂质的种类,选择合适纯化技术联用来获得高纯八氟环丁烷。此外,应不断开发新型、高效电子气体纯化技术,促进我国电子气体行业的发展。     

深冷文献消息(国内部分)

<正>925101 国外气体分离技术新进展唐文俊《低温与特气》 1992 № 2 1~7介绍了国外近几年来PSA和膜分离技术的最新进展,对它们的前景,尤其是联合工艺的开发作了评述。925102 液氢的生产方法     

中国化工代表团赴美日考察报告：电子特种气体部分

概述了电子特种气体考察情况。着重介绍所考察的美国Ｐｒａｘａｉｒ公司和日本酸素株式会社在电子特种气体的研制、开发、生产、供应方面的技术细节，提出了发展我国电子特种气体产业的一些建议。     

用高温等离子破坏氟里昂

削减使用氟里昂气体的具体措施不外乎是将用完的氟里昂气体回收再利用,或破坏和取代氟里昂气体等技术,但是,目前除了回收再利用外,其他技术尚未实用。现在日本通产省工业技术院公害资源研究所已开发了利用等离子反应装置来破坏氟里昂气体的基础技术。所谓等离子就是原子全部分离为电子、质子、中子状态的气体,正负离子是平衡的,电气性质呈中性。     

深冷文献消息(国内部分)

<正>892101 国外电子气体技术进展(上)(下)梁国仑《大连化工》1988 No3 13~14,No4 6~13892102氧、氮和氧在苏联国民经济中的应用陈明元《苏联科学与技术》1988 No5 47~48892103 冶金制氧技术经验交流会论文     

电子气体净化器现状与趋势

电子气体净化器是对电子气体进行在线净化,使主要杂质含量由10-6级降低到10-9、10-12级的关键纯化装置。与电子气体一样,同属我国亟待发展的战略资源与关键技术。从技术和市场角度,对电子气体净化器国内外现状和发展做总体性概括、介绍和展望。     

国外特种气体发展状况(1982下半年～1983上半年)

八十年代以来,由于电子、医药、环保、气体分析等方面的迫切需要,促使特种气体有较快的发展。现将1982年下半年到1983年上半年国外特种气体的发展情况分述如下: