JK系列高真空抽气机组抽速不稳的解决办法

一、JK系列高真空抽气机组的特性一般它是由2X系列旋片真空泵作前级泵,用K系列高真空油扩散泵作主泵,并配有高真空蝶阀和低真空阀等。从这两种泵的抽气特性可看到,油扩散泵的工作压强为l0~(-4)～l0~(-6)托,最佳工作压强在5×10~(-4)～10~(-6)托;旋片真空泵的工作压强在760～10~(-2)托,最佳工作压强在760～10~(-1)托。以JK-150真空机组为例,它配的前级泵为2X-4,油扩散泵为K-150。分别绘出它们的抽气特性曲线。从特性曲线看到,JK系列真空机组     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2009年第3期88页) 4 扩散泵抽气系统 4.1 扩散泵抽气系统组成 一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图.抽气系统主要由扩散泵、冷阱、闸板阀和机械泵等的结合组成.     

最近油扩散泵技术的发展与实例

1、前言 近十几年来,油扩散泵在工艺上已有了显著的发展。近来,不使用液氮冷阱可获得10-9托的极限真空度,同一口径的泵抽速几乎提高了一倍;最大允许反压强及最大流量也大幅度地提高了,泵入口处工作液返油率已降低到10-3毫克/厘米2·分左右。 扩散泵性能的这些提高在很大程度上是依赖高性能的工作液(即常温下蒸汽压强在10-10托以下,在高温下不会引起热分解及氧化,在常温下具有适当粘度的工作液)的相继出现而实现的。 油扩散泵最伤脑筋的问题是工作液蒸汽的返流引起被抽系统的污染。油扩散泵所具有的许多优点都被这一缺点所掩盖了,因而出现了…     

油封式机械真空泵理论抽速的计算与设计

一、引言 油封式机械泵(以下简称机械泵)大体上可分为三类:定片泵、旋片泵、滑伐泵(如图一)。机械泵是现代真空荻得技术中最基本的设备之一。它不仅能独立使用获取低真空,而且和高真空泵(如升压泵、扩散泵等)配套使用获取高真空。因此,我国制造厂每年生产大量机械泵,以满足各部门的需要。 标志每台机械泵性能的主要参数:极限真空,抽气速率,耗损功率,温升,耗水量等,其中抽速大力重要。 理论抽速或几何抽速(简称抽速)的精确计算与设计,不论对机械泵设计质量的提高,或者对机械泵性能结构的研究比较,都有很大意义。 二、抽速的计算 力简化公式的…     

如何选择和使用涡轮分子泵

本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。     

用油封机械泵获得10~(-5)帕压强

1.引言通常认为,加常规吸附阱的双级油封机械泵,在理想条件下能获得低于10~(-3)帕的极限压强。这类泵常用作扩散泵、涡轮分子泵和离子泵的前级抽气和粗抽。这里所说的极限压强是指在吸附阱前方测得的总压强。     

小型单级往复式无油真空泵的设计和试制

一、前言 无油真空泵可以获得无油清洁真空。使用者不必担心泵因长通大气而喷油。没有漏油,也没有油蒸汽排出,不会引起油的消耗和污染周围环境,不会对人体健康和设备产生不良影响。一在运输过程中,或用在移动式装置上,也不会有油的存储和逸出问题。不存在停泵后泵油返回到进气管道、污染被抽系统的情况。也不会有油蒸汽返流到进气系统,影响产品质量的问题。因此,不需要进气口吸附阱,排气口的油气分离器等附属装置。为此,人们曾研制过多种无油真空泵。在粗真空机械泵方面,就有隔膜式、旋片式、摇摆式、胶管式等品种。我国曾化了十年左右的时…     

油封式旋片真空砂在恶劣介质环境中的应用

油封式旋片真空泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一，应用面广而量大。但其在恶劣介质环境中（如含大量可凝气体、可凝结介质、灰尘，频繁大气起动及经常工作于高压强状态等）中使用，则因为油路易堵塞、油性能快速下降、被污染的油返入泵腔或排气阀易损坏而造成泵油浪费、砂性能下降甚至泵损坏，本文介绍了通过改进后的油循环结构及排气阀结构的油封旋片式真空泵，使其广泛应用于恶劣介质环境而保持长期性能稳定。     

复合离子泵的研制与调试

我厂是生产电真空器件的工厂。为了减少油蒸汽对器件的污染,原来所用的无油超高真空系统是以溅射离子泵为主体泵,尽管溅射离子泵有使用方便、可靠、极限真空度高、寿命长等优点,但也存在着启动压强低、用机械泵做前级难以启动,以及抽速低不能承受较大放气量(如电子管阴极分解时     

机械泵的维护

机械泵的常规维护通常限于换油、清洗油箱和对传动部份进行调整。换油的需要取决于使用情况,可以多到一天一次或少到几年一次。在比较清洁的应用中,例如对扩散泵系统进行粗抽气和作为前级泵时,周期大多是每半年一次。 润滑油一般采用300秒(SAE　20W)的液压级或透平级矿物油。油粘度变化 100秒就必须换油,否则不能达到所希望的工作压强水平。杂质的压强可用下述方法测量:从总压强计读数中减去空气分压强(根据麦氏计),并对润滑油的表现蒸汽压进行修正。如果不存可鉴别的污染源,则新鲜油样上的蒸汽压增加100毫托,即表示油发生了不希望有的分…     

扩散泵真空系统的运转和维护

本文详述了扩散泵真空系统的污染来源。说明了减少这些污染的方法。还提出了合理的抽气方法,特别强调采用干燥的氮气净化气体。 引言:本文的目的是汇集在真空技术的各个领域中合理使用扩散泵、机械泵机组,降低在抽气过程中来自有机泵油、人造橡胶一密封圈以及真空油脂等污染的经验。以前发表过的很多资料[1-3],从过去几年的经验表明还没有被广泛了解,为了进行更清洁的真空处理,还要更好地宣传。 讨论:我们规定污染就是系统里的各种有害气体,通常是可凝气体或活性气体(如油、水、氧),并考虑污染来源。图1表示不考虑机械泵的简化的扩散泵系统…     

国外油扩散泵、钛泵近况

一、油扩散泵 自进入七十年代以来,国外油扩散泵制造厂的产品都已进入稳定和成熟阶段。很少有新品种出现。各主要生产厂都具有一种或数种系列的定型产品。从文献资料来看,自六十年代后期以来,就很少发表扩散泵理论研究的文章,改进扩散泵局部结构的专利也逐年减少。实验室研究重点是放在如何减少扩散泵的返油到10-6(毫克/厘米2·分)以下和测量微量返油的方法。 极限真空 油扩散泵在六十年代初期是因为出现了DC-705硅油,而再度被重视和发展的。由于DC-705硅油极低饱和蒸汽压力特性,使扩散泵能获得10-8-10-10乇的超高真空,这样才使扩散泵适应…     

扩散泵返油主要原因的分析

返油是油扩散泵的最大弱点,且返油只能减少,不能根除。为了减少扩散泵返油,首先要搞清楚返油的主要来源,是怎样造成的。而后,方能采取相应措施,更有效地降低扩散泵的返油率。 一、扩散泵返油的主要原因 扩散泵的返油主要来自第一级喷咀出口附近的区域,这已为大家所公认。但是造     

以聚苯醚为介质的油扩散泵超高真空机组试制总结

一、概述 随着真空技术在国民经济各部门的广泛应用。油扩散泵超高真空机组同无油超高真空机组一样被应用在许多大型表面分析仪器上。如国外电子能谱仪ES200、ES300、BSCA650B和VG公司SSMD2型分子束外延设备都配有油扩散泵超高真空机组。尽管返流油蒸汽污染真空室,但当采取适当措施。如挡油帽、水冷挡板、冷凝阱等,可使返流油蒸汽大大减少。尤其扩散泵与离子泵、升华泵比较,造价低。运行可靠、使用维护方便。特别是在某些仪器上,如电子能谱仪、高频溅射仪等,大大优越于无油机组。 一近年来聚苯醚的问世,给扩散泵的发展以强大的生命力…     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2008年第3期第80页) 3.2 机械泵抽气系统清洁真空的获得 油封机械真空泵(简称机械泵)广泛应用于真空系统中,多数作为前级真空泵.由于科学技术的发展,对清洁真空的要求愈来愈普遍.因此机械泵中的油蒸气返油问题便愈来愈受到重视.我们把机械泵油流向高真空端的现象叫做机械泵的返油.     

降低油扩散泵返油率的试验研究

一、引言 众所周知,油扩散泵广泛地应用到真空冶金、电子工业、原子能及宇宙模拟、国防军工等新技术领域中,其特点是结构简单、运转可靠。但由于它有返油而污染被抽容器的缺点,影响了它的使用范围。为了降低扩散泵的返油,人们做了不少探讨和研究①②,并采用了各种措施,如加设冷凝阱(用液氮或乾冰)、吸附阱(用碳或砩石)、水冷挡板、挡油帽、过热喷嘴及各种汽相加热器等,取得了不同程度的效果。我所曾于1964年对扩散泵的各种水冷挡板(百叶窗式、塔式等)进行了试验研究,证明这些挡板皆能有效地降低泵的返油率、提高真空度,但另一方面却严重地影…     

油扩散泵返油率的控制分析

基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。     

真空杂志1964～2001年容积泵论文索引

一、旋片真空泵 (含定片真空泵 )1.旋片真空泵的漏油成因与防止何璧生 .1994,( 4) :30………………2 .对消除旋片泵喷油问题的探讨刘景彦 ,等 .1995 ,( 1) :40……………3.关于旋片真空泵常用泵油的实践与看法何璧生 .1997,( 6) :2 8……4.我厂 2 X型系列真空泵的维护与修理 1976,( 2 ) :46…………………5 .2 X-15 0 F旋片式机械泵 1972 ,( 1) :2 1………………………………6.旋片式真空泵和 K-2 0 0扩散泵产品质量评比交流会的情况介绍 1973,( 1～ 2 ) :18……………………………………………7.对 2 X型旋片式真空泵提高转速的点滴体会…     

气体标准样品的制备

<正>研制了一个气体标准样品制备的玻璃系统。该系统由抽气装置(机械泵、扩散泵和压强测量规组成)、气体纯化装置、各种气体充气和充气压强测定装置组成。能配制容积为0．01~1．5升、最高压强为2．26 ×104帕的单一气体和不同比例的混     

与真空有关的科学仪器的碳氢化合物污染

碳氢化合物污染影响到大多数与真空有关的科学仪器的性能。在电子显微镜里,由于样品受到返流泵液和系统的其他碳氢化合物的聚合作用而污染,使得分辨能力很差。在表面分析设备(例如XPS, AES和 UPS)中,碳氢化合物污染会干扰分析工作。在质谱计里,它能有害地影响分辨能力,使结果的整理工作复杂了。通常要使用几种泵的组合来获得科学仪器所需要的真空。抽气系统一般使用下列一个或几个泵:机械泵、扩散泵、涡轮分子泵、离子泵、升华泵及低温泵。污染的主要来源就是这些泵及设备所用的构造材料以及这些材料的加工工艺。在超净系统里,样品本身…