从真空微电子学到真空纳电子学

微细加工技术和场发射作为电子源促成了真空微电子学的诞生,许多从事微细加工技术、真空电子技术、微波电子学、材料科学、表面科学、薄膜科学等领域的研究人员也开始了这方面的研究工作,1988年在美国召开了第一届国际真空微电子学会议（IVMC）,随后每年一届在世界各地轮流召开。科学技术的发展非常之快,纳米结构、纳米加工技术、纳米材料等也渗透到这个领域,真空微电子学的研究领域也随之扩展,所以2004年在美国召开的第17届国际真空微电子学会议改名为国际真空纳电子学会议（IVNC）。本文就真空微电子学的发展历史,该领域的技术发展做了综述和分析,对目前真空纳电子学的兴起、研究内容的变化做了分析。     

九十年代微电子学突破方向的展望

纳电子学和真空微电子学是九十年代微电子学的两个极有发展前途的新方向。本文概要介绍了纳电子学和真空微电子学发展的状况及其主要器件的工作原理，并介绍了它们的应用领域和发展方向。     

真空电子学和微波真空电子器件的发展和技术现状

真空电子学是研究真空中与电子相关的物理现象的学科,主要研究电子的产生和运动、电子与电磁波和物质的相互作用,是各类真空电子器件和粒子加速器等真空电子装置的基础。微波真空电子器件是最重要的真空电子器件,已广泛应用于国防、国民经济和科学研究领域,是军用和民用微波电子系统的核心器件,本文将介绍真空电子学和微波真空电子器件的发展历史,技术现状和应用情况,并对其发展趋势作简要的评述。     

大功率微波真空电子器件的发展及应用

本文给出了大功率微波真空电子器件的发展及应用情况。海湾战争证明,微波管仍然是现代军事电子装备的关键器件,其性能的不断改进,大大增强了电子战和雷达系统的成力。真空微电子技术和相对论电子学为微波真空电子器件的发展,奠定了更为广阔的基础。     

第十六届国际真空电子学会议(IVEC-2015)征文通知

正2015年4月27-29日,北京IEEE第十六届国际真空电子学会议(IVEC-2015)将于2015年4月27日至29日在北京国际会议中心举行。国际真空电子学会议起源于2000年,现在已经成为国际上真空电子器件和系统研究领域的盛会,每年都有来自世界各地的知名专家参会。第十六届国际真空电子学会议由IEEE Beijing Section、中国电子科技集团公司第十二研究所和大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室联合主办。     

真空微电子学的崛起

近年来,真空微电子学的发展引人瞩目,它的应用十分广泛,普遍认为真空微电子学是继真空管、集成电路之后电子学发展中又一新产业的标志,本文主要探讨真空微电子的发展背景。     

第十六届国际真空电子学会议(IVEC-2015)征文通知

正2015年4月27-29日,北京http://cie-china.org/icec2015IEEE第十六届国际真空电子学会议(IVEC-2015)将于2015年4月27日至29日在北京国际会议中心举行。国际真空电子学会议起源于2000年,现在已经成为国际上真空电子器件和系统研究领域的盛会,每年都有来自世界各地的知名专家参会。第十六届国际真空电子学会议由IEEE Beijing Section、中国电子科技集团公司第十二研究所和大功率     

第十一届中国场致发射与真空微电子学学术会议（第一轮通知）

根据中国真空学会真空电子学分会场致发射专业委员会的决定，“第11届中国场致发射与真空微电子学学术会议”拟定于2007年8月中旬在北国春城长春市召开。本届会议由中国真空学会真空电子学分会场致发射专业委员会主办，中国科学院激发态物理重点实验室和中国科学院长春光学精密机械与物理研究所承办。     

埋入无源元件从实验室到制造的发展

概述了埋入集成无源元件印制板以及它们的非真空加工和真空加工的选择,还讨论了埋入集成无源元件业务的拓展趋势。     

真空微电子学1996我们正在哪里,我们要去何方

译者序 近年来真空微电子学的发展十分迅猛。去年七月在俄罗斯圣彼德堡召开的第九届国际真空微电子学会议 上有166篇论文发表,本文为这次大会的特邀报告。 值得注意的是几家即将把场发射显示器件(FED)推向市场的公司都没有发表有实质性内容的论文。这很可能是FED上市前的短暂沉寂和商业需要。FED究竟何时能够实现商品化?工作在GHz范围的场发射阵列(FEA)阴极何时能在射频功率放大器上得到实际应用?真空徽电子学又出现了哪些新技米和新的应用?等等,这些都是学术界和产业界十分关注的问题。 真空徽电子学权威之一,美国海军实验室的Henry F.Gray博士在本届国际真空徽电子学会议上的特邀报告中全面而概括地讨论了这些问题,对真空徽电子学的进一步发展作了谨慎的预见。他认为由于在科学技术土已没有明显的障碍,FED在一年内应能实现商品化。他还提出一个有趁的历史性问题:1948年开始了从真空君件到固态器件的过渡。在21世纪开端,我们能否看到从固态簇件到真空器件的回归呢?至少在策微电子学领域中的特殊应用场合是如此。1996年法国的PixTech及日本的Futaba公司终于向世界发布了5 .2英寸FED的商品广告,从而将FED推向市场,将预告1997年将推出8.5英寸的VGA级全彩色FED。这证实了Henry博士预见的准确性,预示了FED繁     

Integrated electronics and change in the electronics industry

Those who use electronics to solve problems for customers must exercise science, engineering, art, and business sense, and work with four generations of electronics based on vacuum tubes, discrete semiconductor devices, integrated circuits, and integrated electronic components, respectively. This paper includes forecasts of the growing applications and economic impact of integrated electronics. The concept of Active Element Groups (AEGs) is used to analyze the growth of the market from 1963 to 1973 and to emphasize the increasing integration of electronics. Despite dramatic trends now emerging in product mix and technology, the electronics industry will not be radically changed in structure. Bigger organizations are likely to get still bigger and stronger; smaller organizations are likely to consolidate; integrated electronics will make electronics pervasive. Integrated electronics makes the inward-looking science, engineering, and art of electronics more usable and allows the outward-looking practitioners who use electronics to solve problems for customers to move up their skills and concentrate on more effective and more sophisticated solutions-to those problems. It does not decrease their ability to serve their customers. It does require that they upgrade and change the emphasis of that ability to serve their customers more effectively.     

真空微电子学的研究和进展􀀂

真空微电子学是迅速发展的一门新学科，近年来国内外的研究已取得了一系列的成果。本文着重介绍了近两年真空微电子学在微尖性能提高、发射材料、阴极结构以及场致发射应用(主要是场发射显示器)等方面的最新进展。真空微电子学在场发射平面显示器件方面的研究已进入实用阶段，相信近几年在这方面的应用将会获得突破性的进展。     

微型真空电子器件和太赫兹辐射源技术进展

微加工技术为真空电子技术的发展提供了新的领域和新的应用.场致发射阵列阴极(FEA)是最突出的代表.本文综述了FEA近年来的发展,特别给出了我所在FEA研究方面的新进展.已经获得5 A/cm²左右的电流密度,为进一步的应用奠定了良好的基础.国际上正在开展微型真空电子器件研究,该项研究将导致微波管体积、重量、成本的降低和工作频率、可靠性的进一步提高.微型真空电子器件可为太赫兹频域提供1W的大功率发射源.     

The cool sound of tubes [vacuum tube musical applications]

Although solid-state technology overwhelmingly dominates today's world of electronics, vacuum tubes are holding out in small but vibrant areas. Here, the author describes how music applications are one of the last remaining domains dominated by vacuum tubes, and how the devices flourish and even innovate in this field     

A micromachined vacuum triode using a carbon nanotube cold cathode

A fully integrated on-chip vacuum microtriode using carbon nanotubes as field emitters was constructed laterally on a silicon surface using microelectromechanical systems (MEMS) design and fabrication principles. Each electrode in the triode was made of a hinged polycrystalline silicon panel that could be rotated and locked into an upright position. The device was operated at a current density as high as 16 A/cm/sup 2/. Although the transconductance was measured only at 1.3 /spl mu/S, the dc output power delivered at the anode was almost 40 /spl times/ more than the power lost at the grid electrode. The technique combines high-performance nano-materials with mature solid-state fabrication technology to produce miniaturized power-amplifying vacuum devices in an on-chip form, which could potentially offer a route of integrating vacuum and solid-state electronics and open up new applications for "old-fashioned" vacuum tubes.     

电真空器件用氧化铝陶瓷的介电性能

对影响氧化铝陶瓷介电性能(介电常数、介电损耗和介电强度)的各种因素进行了较为系统的评述,并对相应的影响机理进行了分析和探讨.希望能为电真空用氧化铝陶瓷的质量控制和检验提供理论依据,同时也为工艺方法(包括材料工艺和电真空器件工艺)的选择提供有益的技术参考.     

百年电子学--纪念真空电子管发明一百周年

电子学的崛起、发展和广泛应用是20世纪最伟大的科学技术领域之一.在电磁波理论和自由电子发展的基础上,1904年出现了第一只真空二极电子管,一般认为这标志着电子学的诞生.电磁波频谱资源的开发和利用是电子学发展的基础和动力.从电磁频谱统一的观点看,光已经象微波一样进入到电子学的领域,成为无线电电子学中不可分割的组成部分.电子学的基本任务是:研究带电粒子流与电磁场相互作用的物理概念和物理过程,以及利用相互作用的不同物理机制实现粒子与场之间能量有效转化的方法和条件.从电子器件的观点看,电子学可分为真空电子学与固态电子学;而从电子运动规律的观点看,现代电子学将处理自由电子,准自由电子和束缚电子的运动规律及其与电磁场的相互作用.1958年,电子学领域出现三个重要发现和发明:集成电路、激光和相对论自由电子的回旋辐射.相应的,半导体电子学(微电子学)、激光电子学和相对论电子学等现代电子学领域则发端于此.电子器件小型化、微型化、功能集成化将电磁频谱的开拓和占领推向光波和红外毫米波.