四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用

在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性,使得该工艺用于微压传器器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计,膜区厚度为１０μｍ,制造出的微压传感器灵敏度为５０ｍＶ／３ｋＰａ．１ｍＡ。端点法非线性为０．５％。     

微机在微压测量中的应用

介绍用微机和传感器技术，测量范围为－１０＾５￣＋１０＾５Ｐａ的微压测量系统。实验及应用效果良好。只要选择相应的传感器就可以用于其它范围的微压测量。     

微机在微压测量中的应用

介绍用微机和传感器技术，测量范围为－１０￣５～＋１０￣５Ｐａ的微压测量系统。实验及应用效果良好。只要选择相应的传感器就可以用于其它范围的微压测量。     

可倾式弹性金属塑料瓦（EMP）的初始型面研究

本文对倾式金属塑料瓦轴承（ＥＭＰ）的初始型面进行数学模型设计和数值试验，通过台架试验，该轴承已无故障运行了７个多月，比压可达１０．５ＭＰａ，ＰＶ值达１９０ＭＰａ．ｍ／ｓ，这标志着我国已能制造小型ＥＭＰ轴承的国家之一。     

使用换向阀遇到的问题

某压铸机的液压回路如图１所示,工作过程为泵Ａ的出口经过一个电磁换向阀、单向阀和泵Ｂ的出油口相通,泵Ａ的参数为额定压力６．３ＭＰａ,额定流量７０Ｌ／ｍｉｎ,泵Ｂ的参数为额定压力２１ＭＰａ,额定流量１０Ｌ／ｍｉｎ,当电磁换向阀通电时,泵Ａ向总油路供油,压...     

锅炉管道内压力,差压测量系统的研制

】介绍了由一只静压传感器和一只差压传感器构成的复合式传感器,并且把该传感器与ＭＣＳ－５１系列单片微型计算机通过一定的接口方式相联接,对锅炉管道内压力、差压进行巡回测量、记录。微型计算机对传感器输出信号进行处理。     

光纤微型传感器研制及其系统的设计

本文介绍一种新型的微型化学传感器及其系统的设计。这种传感器具有很多优点并有良好的线性，线性范围为１０－６～１０－３ＭＫ＋，５×１０－６～５×１０－３ＭＡＣＨ。响应时间（ｔ９０）为１～３分钟。     

用于测量石油天然气管道流量的复合式传感器

基于流体力学皮托管测量流体流速的原理,提出了一种用于测量流体流速的复合式传感器,由一个静压和一个差压传 感器构成。介绍了这种新型传感器的测量原理、结构设计和芯片制作,并列举了实验数据。此传感器能同时显示流体的静压和 差压,并且实现了智能化,能被用于无人流体观测站。     

新型低碳贝氏体非调质钢研究

所研究的新型贝氏体非调质钢与传统微合金非调质钢相比具有以下特点：不用Ｖ、Ｎｂ、Ｔｉ等合金元素，取消淬火、回火，从而节约合金元素，降低生产成分以及能耗。该钢具有较好的综合力学性能：σｂ≥８８０ＭＰａ、σｓ≥５５０ＭＰａ、σｓ／σｂ＝０．６￣０．６８、ａｋ≥６０Ｊ／ｃｍ＾２，能在连杆、轴类件等多方面应用。     

智能刚度测量仪

本文介绍了高精度光栅位移传感器，经过对光栅输出的电信号的电路和软件细分等处理后，智能光栅传感器的测量范围２０ｍｍ，分辨率１μｍ、由位移传感器、压力传感器和测试台组成智能波纹管刚度测量仪系统。在测量系统中对由压力产生的位移误差以及压力的非线性误差进行误差补偿，提高测量精度一个数量级别，最后测量精度为２‰。刚度测量仪可以自动测量波纹管，测量时间１０秒／件，最后由打印机直接打印出所测量刚度、压力、位移的数值。     

消息报道

消息报道　　　　　　高压三维旋转喷头研制成功由合肥通用机械研究所设计，四川简阳试压泵厂生产的高压三维旋转喷头在合肥化工厂投入使用。清洗对象为５０ｍ３反应釜，垢层为糊状聚氯乙烯树脂，工作压力４０ＭＰａ，流量１０ｒｎ’／ｈ。该旋转喷头设计压力至７０ＭＰａ...     

用于尺寸测量的气针式传感器初探

论述了一种新型气动传感器——气针式传感器的静特性。气针式传感器的研制将使气动测量技术用于高精度测量场合成为可能。该传感器的测量范围为±１０μｍ,整个测量系统精度可达±０．０９μｍ．对系统经过进一步完善后,预计测量精度可达±０．０５μｍ．     

微机械染膜结构1kPa量程压力传感器

采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感产品的量程已达５－１０ｋＰａ。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计（ＰＴ－２４），结合适当的工艺可以制成量程为１ｋＰａ的器件。     

硅微机械谐振传感器稳幅式真空计的研究

文中介绍硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。利用恒定振幅闭环测控电路方式,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。真空度测量范围接近１０２～１０－１Ｐａ,测量响应速度为十几毫秒。     

DL-Ⅲ型流量积算仪的应用

１　仪表的构成原理ＤＬ－Ⅲ型流量积算仪以ＭＣＳ－１系列单片机为核心,与温度、压力、差压变送器可组成一套带有温度、压力自动补偿的计量系统,其组成如图１所示。仪表硬件部分主要由５１系列单片机、程序存储器、采样开关、Ｄ／Ａ转换器、Ｖ／Ｆ转换器、运算放大器、数码显示器等组成。软件部分包括初始化程序、检测采样、报警显示、参数设置、保护、运算、中断服务、掉电保护等。仪表工作原理如下：涡街流量传感器输出的与流量成比例的脉冲信号经光电耦合隔离后送单片机计数,差压、压力、温度变送器输出的０～１０ｍ以或４～２０ｍＡ…     

在氢环境中2.25Cr—1Mo钢短裂纹扩展行为研究

通过对在空气中与阴极渗氢情况下２．２５Ｃｒ－１Ｍｏ钢的短裂纹扩展研究,发现在氢的作用下,ΔＪｔｈ约为３６０×１０－６ＭＮ／ｍ,较空气中约低２００×１０－６ＭＮ／ｍ,ｄａ／ｄＮ－ΔＪ关系与空气中相比左移,且随ΔＪ区间不同,左移量不也不同。断口分析表明,在疲劳裂纹扩展的三个阶段,氢原子与交变力动态地起着协同作用。在≈１０００×１０－６ＭＮ／ｍ＜ΔＪ＜≈１２００×１０－６ＭＮ／ｍ内氢原子对裂纹扩展影响不明显可解释为：氢原子在局部晶界的偏聚导致应力过分集中而产生穿晶裂纹后应力缓解的结果。     

动平衡对离心式压缩机的影响分析

金昌冶炼厂制氧 Ｈ４００—６．５／０．９７离心式压 缩机是制氧量为３ ２００ｍ３／ ｈ空分装置的主要动力消 耗设备,它使用空气作为 加工气流。空气由吸入塔 吸入,经过两台直面式空 气过滤器过滤后,进入压 缩机,通过四级压缩三级 中间冷却后,将压力为 ０．５０ＭＰａ和温度约 ９６℃的 压缩空气送到空分系统, 采用深度冷冻法分离空 气,制取纯度为９９．６％的 氧气和９９．９％的氮气。 一、动不平衡的分类 影响 Ｈ４００—６．５／０．９７ 离心式压缩机正常运转的 因素很多,如对中不良、 基础变形、低压电跳闸 等。近１０年的…     

扩散硅多功能集成差压传感器

传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式。大大提高了仪表的测量精度,达到0 1%和0 075%。增加了传感器输出的信息量,实现了传感器的智能化,这也是国际传感技术发展的方向。所研制的小型多功能压力传感器是利用微电子和微机械加工融合技术在尺寸仅为3 5mm×4 0mm的硅片上集差压敏感元件、静压敏感元件、温度敏感元件为一体、并将其封装在由金属膜片隔离密封的保护液中,具有可靠的密封性。利用数字补偿技术进行处理,可使其在-30～80℃的温度范围内,变送器精度达到0 1级。该传感器能够同时实现对现场中的差压、静压、温度变化的测量,静压和温度的测量数据可修正被测环境的差压输出信号,从而可提高差压传感器的精度,它是工业智能差压变送器的核心部件。     

基于应力集中原理的压阻式压力传感器

本文提出了一种灵敏度高、线性好，用于３００Ｐａ压力测量的压阻式微型压力传感器，为减少非线性，这种传感器采用了由４个弹性梁和一个刚性中心膜构成的模片结构。本文讨论了该传感器的有限元仿真、制作工艺和传感器特性等问题。     

扩散硅压力传感器误差补偿方法的研究（二）

二、差压传感器特性鉴定系统 为了能够运用“群特性”进行“软补偿”,必须建立与三维校验法相配套的传感器特性鉴定系统。我们在差压变送器的高压腔和低压腔同时用同一压力源加载就可以在零差压条件,测出不同温度时、不同静压下的附加误差n'_(spo),由于采用同一压力源加载,