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研究了压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器的热挠曲理论模型。利用IC工艺和微机械加工技术设计制作了一种硅/铝/碳纳米管三层微机械悬臂梁红外探测器,该探测器基于硅和铝两种材料热膨胀系数的差异,存在双物质效应,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过梁根部的压敏电桥检测。为提高探测器的红外吸收特性,实验探索出了在微机械悬臂梁上涂敷碳纳米管吸热层的工艺方法。实验研究了具有碳纳米管薄膜吸热层的三层微机械悬臂梁红外热探测器对红外辐射的响应规律,结果表明涂敷碳纳米管吸热层使响应灵敏度提高近一倍。 相似文献
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采用化学气相沉积法在平面硅基体上制备碳纳米管薄膜,并通过扫描电子显微镜、透射电子显微镜和接触角测量仪对样品进行形貌结构和浸润性质的表征。结果表明:碳纳米管的定向性主要由基体上催化剂粒子的分布控制,并遵循顶部生长生长机制;2种碳纳米管薄膜都具有较大的接触角,获得的定向碳纳米管表面具有微纳米复合结构是产生超疏水的主要原因。 相似文献
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一、概述 电子电位差计和平衡电桥用的伺服放大器是自动平衡记录仪的核心,它的作用是将测量来的微小偏差信号放大,来驱动平衡或执行机构,以便实现系统的自动平衡。随着硅器件工艺的进步,在伺服放大器中硅器件取代了锗晶体管,从而大大提高了晶体管伺服放大器温度性能和可靠性。目前我国大量 相似文献
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采用丙酮、异丙醇、丙酮/无水乙醇混合溶液3种不同的分散剂,利用电泳沉积法在硅基底上制备了碳纳米管(CNTs)薄膜;采用超景深光学显微镜和电子显微镜观察了不同薄膜的表面形貌,并在高真空中对碳纳米管薄膜阴极进行了场发射特性测试。结果表明:以异丙醇作分散剂制备的CNTs薄膜表面均匀连续,场发射性能较好,开启电场和阈值电场分别为0.188V.μm-1和2.8V.μm-1。 相似文献
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《仪表技术与传感器》1972,(2)
西德 AEG—Telefunken 公司生产了两种新型光电控制元件——BPX28及 BPX37。光电控制元件 BPX28在许多情况下都可作为高灵敏度的光电晶体管使用,它特别适用于直接控制电器。在与 TO5相似的具有平面窗口的外壳中把一个2×2毫米大小的光电元件和一个硅—NPN—外延平面晶体管、一个偏压二极管及一个雪崩二极管组接在一起。在工作 相似文献
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李伯虎 《计算机集成制造系统》2012,18(7)
云制造是一种基于网络(如:互联网、物联网、电信网、广电网、无线宽带网等)的、面向服务的智慧化制造新模式。它融合发展了现有信息化制造(信息化设计、生产、实验、仿真、管理、集成)技术与云计算、物联网、服务计算、智能科学、高效能计算等新兴信息技术,将各类制造资源和制造能力虚拟化、服务化,构成制造资源和制造能力的服务云池,并进行协调的优化管理和经营, 相似文献
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