压电石英称重传感器及其在动态公路车辆称重系统中的应用

本文介绍了以石英晶体为敏感元件的压电石英称重传感器的工作原理、结构与特点;石英晶体的压电效应,压电石英晶体片的并联、串联连接方法,电荷电压计算;石英晶体片的装配要求和装配工艺;石英晶体敏感元件与电阻应变计的性能比较。分析利用多个石英晶体敏感元件组装的工字梁型动态称重传感器的结构与技术特点,及其在动态公路车辆称重系统中的应用。     

3D刻录电涡流传感器特性研究

针对传统的工艺加工敏感元件周期长、零件间摩擦阻尼大的特性,提出基于3D刻录技术电涡流传感器的改良型敏感元件加工制备方法。设计工艺包括了敏感元件的模型建立,参数调整和实测效果验证等。实验结果表明,3D刻录涡流传感器线性范围为0～5 mm,非线性误差为0.7%,有更宽的线性范围和更好的响应灵敏度。与传统工艺制造的传感器相比,3D刻录涡流传感器具有更低的制造成本,打印模块重复利用率高,可以通过多次原型迭代来优化传感器性能。     

湿度传感器在自动气象站中的应用

本文主要分析了国外湿度传感器结构原理、误差来源等,提出发展我国湿度敏感元件的必要条件.     

湿度传感器在自动气象站中的应用

本文主要分析了国外湿度传感器结构原理、误差来源等,提出发展我国湿度敏感元件的必要条件。     

敏感元件及传感器

一、国内外技术现状及发展趋势 敏感元件及传感器生产技术，近年来在世界各国得到迅速发展。美国、法国、德国、荷兰、俄罗斯、日本等国已实现产业化。我国在研制敏感元件及传感器方面有一定技术基础，并已研制开发了部分产品，主要技术性能指标已达到国际先进水平，但目前尚未实现工业化生产。 用新的敏感元件材料制成的力敏、热敏、磁敏、气敏、湿敏等敏感元件，已广泛用于能源、化工、石油、自动控制和军工等各个领域。敏感元件及传感器技术的发展趋势是集成化、微机械化和智能化。二、技术开发的总体目标和重点任务 重点开发高精度ＮＴ…     

湿度传感器在自动气象站中的应用

本文主要分析了国外湿度传感器结构原理、误差来源等，提出发展我国湿度敏感元件的必要条件。     

CMOS集成二维风速和风向传感器的研制

提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器，其芯片上集成有运算放大电路。它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成，其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝／多晶硅型热电堆所构成，加热电阻位于热敏感元件的中间。具体阐述了此传感器的工作原理、结构尺寸和制备工艺，最后给出了试制的芯片和传感器的测量结果。     

电容式角位移传感器有限元仿真及拓扑优化研究

以一种高精度电容式角位移传感器的敏感元件为模型,通过有限元法分析电容式角位移传感器敏感元件在机械角度、厚度和弹性模量变化下的应变。通过分析应变结果获得传感器的测量范围,通过改变敏感元件的厚度可以扩大或缩小其测量范围。最后采用拓扑优化方法对敏感元件的机械结构进行了最优化设计,得到其拓扑最优化结构,可以对传感器敏感元件的结构设计提供参考。     

第二届全国敏感元件与传感器学术会议（STC′91）介绍

本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传感器和微机械加工技术的发展状况。     

北京大云传感技术开发部向您提供美国IC Sensors MOTOROLA公司压力传感器、变送器

·用于组装压力传感器、变送器的敏感元件·应用于工业控制、生物医疗、国防工业等领域的压力传感器、变送器 传感器与敏感元件     

单磁芯双绕组非晶丝新型磁场传感器的研究

本文研究了利用近零磁致伸缩系数钴基非晶态合金丝制成的单磁芯双绕组新型磁场传感器。通过对敏感元件的优化设计,改善了传感器的线性度、灵敏度、温度稳定性指标。分析了传感器的工作原理,给出了部分实测结果。对传感器的信号处理电路进行了设计。     

热沉冷却式薄壁量热计设计及分析

为满足大当量战斗部热毁伤威力评估的需求,弥补传统薄壁量热计在爆炸场环境中易变形、易烧蚀的不足,采用在热敏元件后壁面添加热沉体的方式,设计一种新型热沉冷却式热流密度传感器,以间接测量的方式,通过热敏元件后壁面温度,获得入射热流密度。建立传感器理论模型,推导响应时间表达式,并对传感器响应特性进行数值仿真,仿真结果显示:传感器响应时间只与热敏元件的尺寸和材料有关,与热沉体无关。以0.5 mm紫铜作为热敏元件的传感器响应时间可达1.2 ms左右;热沉体吸热系数越大,热敏元件温升越小,同时,随着时间的增加,温升速率逐渐减小。验证试验显示,热沉体的加入可有效降低热敏元件温升,所设计传感器可正确反映入射热流变化。     

An ultra-high pressure sensor with cylinder structure

Based on strain-resistance effect, an ultra-high pressure sensor has been developed with the range of 0–500 MPa. It is mainly composed of the elastic element and sensitive element. This sensor’s range is determined by the elastic element’s structure and material. In order to endure the ultra-high pressure, the elastic element’s material is selected as spring steel, and its structures are analyzed and simulated. After that, the metal strain gauge as the sensitive element is packaged on the elastic element. Then the sensor is developed after some compensation processes are carried out. In the end, the sensor is calibrated. The results show that the sensor has good performance, such as the accuracy of 0.35%FS, which meets the requirements of aerospace, weapons and other fields.     

应用火花塞式传感器测量增压汽油机缸内压力

气缸压力是发动机的一个重要的指标,通过选举火花塞式传感器测量增压汽油机缸内压力,得出增压后发动机的工作状态及其增压效果。该传感器由一个小型点火电极和一压力传感件构成,其接收气缸压力的表面尽可能接近燃烧室,同时易受热影响的压电陶瓷传感元件尽可能近地置于火花塞温度最低的塞柱底座。避免了燃烧气体的纵向共振和热传递的影响。     

差动电容式倾角传感器的研究

利用差动电容原理设计了倾角传感器,产生倾角时,借助气体和液体电介质,使传感器敏感元件的二个电极间覆盖的有效面积发生变化,导致相应电容发生变化。同时,利用温度传感器结合MCU智能控制热膜为倾角传感器敏感元件部分保持恒温。这种设计不但扩大了传感器的工作温度范围至（-45－＋120）℃,还提高了倾角传感器的非线性、重复性、迟滞和精度。     

基于S11639的紫外-可见光谱仪的设计

目前微型紫外光谱仪多采用背向减薄式或镀膜CCD作为感光元件,针对其价格昂贵的问题,提出了将高性价比的CMOS传感器芯片S11639应用于紫外-可见光谱仪中的设计方案,系统采用非对称性的切尔尼-特纳光学系统进行分光处理,利用STM32微处理器芯片配合复杂可编程逻辑器件CPLD来设计电路将数据上传到上位机,进行光谱图像显示。通过实验对比,验证了用该方案设计的微型紫外-可见光纤光谱仪,具有良好的紫外敏感性,频谱范围为200~900nm,分辨率可达1.5nm。     

一种基于模态局域化的MEMS电场传感器设计与分析

为提高传感器的灵敏度和分辨力,设计了一种灵敏度可调节的基于模态局域化效应的谐振式MEMS电场传感器敏感结构。传感器敏感结构采用静电耦合的三自由度谐振器微结构方案,并可实现灵敏度调节,从而获得最佳灵敏度。通过理论计算和有限元仿真计算,分析了传感器的模态局域化敏感机理,确定了传感器幅频特性、灵敏度、分辨力等关键特性。计算结果表明满足设计目标。     

Research on the parallel load sharing principle of a novel self-decoupled piezoelectric six-dimensional force sensor

This paper presents a novel integrated piezoelectric six-dimensional force sensor which can realize dynamic measurement of multi-dimensional space load. Firstly, the composition of the sensor, the spatial layout of force-sensitive components, and measurement principle are analyzed and designed. There is no interference of piezoelectric six-dimensional force sensor in theoretical analysis. Based on the principle of actual work and deformation compatibility coherence, this paper deduces the parallel load sharing principle of the piezoelectric six-dimensional force sensor. The main effect factors which affect the load sharing ratio are obtained. The finite element model of the piezoelectric six-dimensional force sensor is established. In order to verify the load sharing principle of the sensor, a load sharing test device of piezoelectric force sensor is designed and fabricated. The load sharing experimental platform is set up. The experimental results are in accordance with the theoretical analysis and simulation results. The experiments show that the multi-dimensional and heavy force measurement can be realized by the parallel arrangement of the load sharing ring and the force sensitive element in the novel integrated piezoelectric six-dimensional force sensor. The ideal load sharing effect of the sensor can be achieved by appropriate size parameters. This paper has an important guide for the design of the force measuring device according to the load sharing mode.     

蚀刻深度传感器耦合问题的研究

对离子束蚀刻深度传感器敏感元件与传感器元件间的耦合问题进行了探讨。表明敏感元件 对蚀刻深度的测量结果有较大的影响。给出了振动误差的抑制措施。     

WO3对O3敏感特性研究

】实验发现ＷＯ３半导体材料对Ｏ３有好的敏感特性,而且元件的烧结温度和工作温度对其敏感特性有大的影响。在对这些参数优化的基础上,研制出了具有较好特性的Ｏ３气敏元件。测定了元件灵敏度与Ｏ３浓度的关系,初步讨论了元件对Ｏ３气体敏感的机制。