硅杯式力敏元件的金硅共熔封接

本文介绍了国际上广泛采用的金—硅共熔法,它是一种固体封接方法,可使元件的性能得到改善。本文对封接的机理、试验的情况及良好效果进行了说明。图2,表5,参5。     

某些焦绿石型稀土复合氧化物高温热敏电阻材料的研究

近年来,国内外在高温热敏电阻的研究中不断取得进展。为使这种电阻具有高稳定性与高可靠性以及广泛的使用温区和大的 B值,除了改进原有材料的性能外,同时还在寻求新型材料。     

E型扩散硅力敏器件的研制

本文阐述了Ｅ型膜片的结构特性，根据其应力分布特点及硅材料在（１１０）晶面的＜１１１＞晶向上具有最大压阻系数，开展了力敏芯片的最佳设计，并进行了Ｅ型力敏器件的制作。最后给出了器件的主要技术指标。     

全固态通用型压力传感器、变送器

全固态通用型压力传感器、变送器沈阳仪器仪表工艺研究所庞世信，刘沁，吕忠刚扩散硅压力传感器与应变式等其它类型压力传感器相比具有很多优点，多年来一直是人们关注的重点。国外目前已形成了系列化和通用化的产品，国内近些年来在扩散硅压力传感器开发和应用上也取得了...     

硅压阻式真空变送器

本文叙述了采用单晶硅压阻效应制作真空变送器的机理和关键工艺．给出了测量结 果和结论，讨论了该元件应用范围等问题。     

采用快速微分输出的氯气传感器

介绍了一种新型氯气传感器。通过对敏感材料的研究和采用混合集成电路工艺，使器件具有较高的可靠性和批量制造能力。通过对化学吸附平衡方式的敏感特性的研究，提出以微分输出信号作为检测信号的方式，从而实现了在３秒钟内响应输出的高敏感速度，并使器件实现频繁的重复测量而重复性误差很小。最后介绍了利用该传感器和微分检测电路构成的工业氯气报警系统     

压力传感器的封接原理和工艺

本文介绍了压力传感器的力敏元件膜片和基座之间的各种封接原理和工艺,对传感器的研制和生产真有一定的参考作用。     

绝对压力力敏器件的研究

本文介绍的扩散硅绝对压力力敏器件采用集成电路平面工艺、真空静电封接技术制造。器件灵敏度高、精度高、稳定性好。适合于测量粗真空度和制作绝对压力变送器。     

第二届全国敏感元件与传感器学术会议（STC′91）介绍

本文介绍了第二届全国敏感元件与传感器学术会议的一般情况,我国敏感元件与传感器研究及开发取得的可喜成绩,同时还介绍了半导体传感器和微机械加工技术的发展状况。