厚度对钇掺杂氧化铪薄膜性质的影响

通过中频磁控溅射在p型(100)硅基片上沉积了不同厚度的Y掺杂Hf O_2(Y∶HfO2)薄膜。利用X射线光电子能谱(XPS)分析薄膜的Y掺杂浓度及元素结合状态。掠入射X射线衍射(GIXRD)分析表明,3.25 mol.%的Y掺杂HfO_2薄膜相结构为立方相。利用X射线反射率(XRR)测量得到了不同溅射时间的薄膜厚度、密度和粗糙度。电性能测试表明,Y掺杂HfO_2薄膜基电容器介电常数随膜厚的增大而增大。基于界面层分压原理,详细讨论了SiO_2界面层对薄膜介电特性的影响。     

功率对直流磁控溅射氧化钒薄膜电学性能的影响

采用直流磁控溅射方法在长有300 nm厚的Si₃N₄薄膜的Si(100)晶圆上制备了氧化钒薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)和探针法分析了不同功率对薄膜结晶结构、成分、表面形貌和电学性能的影响。结果表明：不同功率沉积的氧化钒薄膜均为非晶结构,薄膜主要成分为VO₂和V₂O₅;随着功率的提高,薄膜的平均粗糙度降低,V₂O₅的含量升高,进而导致电阻温度系数绝对值也随之增大。     

电子束蒸发制备HfO2薄膜的性能研究

用电子束蒸发方法沉积HfO2薄膜,用X射线衍射和透射光谱测定HfO2薄膜的结构特征和光学性能,并测定薄膜的弱吸收和损伤阈值.结果表明:HfO2薄膜在沉积温度为350℃时,达到了较好的结晶程度.在可见光和近红外光区具有很高的透过率;HfO2薄膜的损伤阈值比较高,达到10.5 J/cm2.     

二氧化铪（HfO2）薄膜制备的研究进展

随着集成电路的迅速发展。高K值栅介质材料将成为下一代MOS器件最具有希望的候选材料。HfO2具有宽带隙和高介电常数而备受关注。本文简述了HfO2薄膜的制备方法及研究进展。     

大自旋极化率半金属Fe_3O_4薄膜制备及其磁性能

采用磁控溅射法先在Si(100)基片上沉积适当厚度的Fe薄膜作为底层,通过对Fe底层厚度及氧气流量的控制,使底层Fe形成化学计量的无缓冲层的Fe3O4多晶薄膜。通过X射线衍射和磁强计分析了样品的结构和磁性能。结果表明:当初始氧气流量为1.5mL/s时,在15nm的Fe薄膜底层上可成功制备高晶粒织构的化学计量的Fe3O4薄膜。将Fe3O4薄膜应用到巨磁电阻(giant magnetoresistance,GMR)多层膜中,由于多层膜材料间电阻率的失配,利用Fe3O4半金属薄膜并不能获得预见的大GMR效应。     

柔性FEP基底修饰对ZnO:Al薄膜透明导电与附着力性能的影响研究

采用O_2等离子体对柔性氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)进行表面处理,然后,利用射频磁控溅射法在柔性氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)上沉积修饰一层超薄SiO_2,再沉积生长ZnO:Al薄膜。主要研究探讨柔性FEP基底修饰对ZnO:Al薄膜结构、薄膜界面结合状态、薄膜形貌、电学性能、弯曲后电学性能退化、光学性能和薄膜附着力的影响机理,利用XRD、XPS、AFM、SEM、UV-Vis-NIR分光光度计、ScotchTM粘附力测试、PPMS、四探针等表征手段对薄膜结构、成分、形貌、界面及薄膜物理性能进行表征。实验表明:柔性FEP基底经修饰后生长的ZnO:Al薄膜的结晶性能得到明显的提升、薄膜内应力有效降低、SiO_2与柔性基底之间产生少量的化学键合。FEP柔性基底经修饰后,ZnO∶Al薄膜的电学性能、缓减弯曲后的电学性能变化等到明显改善、薄膜附着力有明显提高。     

纳米二氧化钛薄膜光催化剂的合成及特性

研究采用溶胶-凝胶技术以载玻片为基质制备了纳米TiO2薄膜,向溶胶中添加乙酰丙酮后改善了溶胶的稳定性及薄膜的牢固性。用扫描探针显微镜(DFM)、X射线衍射(XRD)、红外光谱(IR)及X射线光电子能谱(XPS)对薄膜进行了表征。结果表明:扫描探针显微镜(DFM)观察到薄膜中颗粒的粒径为20~40nm,X射线衍射(XRD)表明TiO2为锐钛型,用红外光谱(IR)表征了溶胶及粉末样品的物性并探讨了反应的机理,X射线光电子能谱(XPS)结果显示薄膜中除含有Ti、O元素外,还有少量从玻璃表面扩散至薄膜中的Na和Si元素。TiO2薄膜对光降解甲基橙水溶液具有很好的光催化性,通过掺SnO2、酸处理途径明显提高了其性能。     

Si(111)衬底上生长的ZnO薄膜的光学特性研究

利用等离子体分子束外延(P-MBE)设备在Si(111)衬底上制备了高质量的ZnO薄膜.通过扫描电镜观察了ZnO薄膜的表面形貌为的六角结构.X射线衍射谱显示ZnO薄膜为C轴择优取向的,ZnO(002)取向X射线衍射峰的最大半宽度仅0.18°.并通过室温和变温发光谱对ZnO薄膜的发光特性进行了研究.在低温下ZnO的发光以...     

薄膜CdSe及CdSexTe1—x电极的光电子能谱研究

用X射线光电子能谱(XPS)研究了不同含氧气氛中烧结的薄膜CdSe及Cdse_xTe_(1-x)电极表面,以及薄膜与Ti底基之间的界面。研究中发现,二种薄膜电极的表面形成了CdO,SeO_2及TeO_2氧化物,与薄膜接触的Ti底基表面上形成了TiO_2。用俄歇电子能谱(AES)对在电极表面及Ti表面所生成的氧化层分别进行了深度分析。结果表明,各种氧化物形成的程度有很大的不同,氧化层厚度也存在差异。对影响薄膜电极的光电性能的因素进行了讨论。     

溶胶-凝胶法制备的(C_6H_5)_2SiO·MO_2(M=Ti、Zr)薄膜的抗侵蚀性能

用溶胶-凝胶法制备了70(C_6H_5),SiO·30TiO_2(以下简称I)和75(C_6H_5)_2SiO·25ZrO_2(以下简称Ⅱ)薄膜,通过溶液侵蚀法和调温调湿箱中风化试验法研究了它们的抗酸、抗碱、抗水和抗潮湿空气侵蚀性能。用薄膜的失重测量、溶液的化学分析、红外光谱和X射线光电子谱(XPS)所得的数据评价和比较了薄膜的抗侵蚀性能随薄膜的化学组成、热处理温度和侵蚀介质种类的变化。经150℃热处理的薄膜的抗酸和抗水性能与载玻片玻璃相当,但抗碱性能則比后者差得多.用(Ⅰ)制成磷酸盐玻璃的保护膜层,大大改善了后者的化学稳定性。受到侵蚀作用的薄膜的X射线光电子能谱分析结果解释了薄膜在酸中和水中的不同侵蚀行为。     

乙烯酮(双乙烯酮)下游产品废水的治理技术

乙烯酮(双乙烯酮)是十分重要的化工中间体,其下游产品较多。江苏某化工厂开发生产乙烯酮(双乙烯酮)下游产品三十多个,年生产规模三万多吨,是国内以乙烯酮(双乙烯酮)为中间体生产精细化学品的综合骨干企业。针对乙烯酮(双乙烯酮)下游产品废水特点,该厂结合企业实际,开展了产品优化,结构调整,清洁生产,资源循环利用,节水降耗等工作,从源头削减了污染物的生产。同时投资二千多万元新建预处理装置三套,6000m3/d废水生化处理装置一套,使全厂乙烯酮(双乙烯酮)下游产品的废水得到了有效的治理。     

分解炉扩径的技术改造

我厂3号回转窑(Φ4m×60m)生产线在1996年年底由SP窑(产量912t/d)改为NSP窑(产量1320t/d),预分解系统为四级旋风预热器带离线式分解炉     

水泥水化热测定方法综述

水泥水化热是中、低热水泥和核电工程用水泥的一项关键的技术指标。全球范围内测定水泥水化热的方法有溶解法、直接法/半绝热法、等温传导量热法三种。本文总结了中、美、欧相关方法标准,对其测试原理、仪器设备、试验过程等方面进行了比对,并对其在领域的应用做了简单的概括。     

基于组件技术的化工原理实验课件的设计

利用组件技术开发化工原理实验课件,给出了系统层、组件库层和应用层的架构划分。重点讨论了组件库的设计,给出了流体阻力这一典型实验的实现描述。实践证实,基于组件技术可以提高仿真实验的开发效率。     

粉煤灰中烧失量检测的不确定度分析

以F类粉煤灰为例,详细介绍了测定粉煤灰中烧失量的步骤、计算数学模型、影响测量不确定度的因素以及各项测量不确定度分量评定,人员、设备、材料、方法、环境都是影响测量不确定的因素。     

几种乙炔加压设备性能的比较

阐述并比较了几种加压设备在乙炔加压清净过程中的性能和特点。     

A study of miscibility of blends of polybutadienes of varying microstructure

The miscibility of various amorphous polybutadienes with mixed microstructures of 1,4 addition units (cis, 1,4 and trans 1,4) and 1,2 addition units have been investigated. The studies here involved optical transparency, differential scanning calorimetry, and small angle light scattering. It was found that a 90 percent (cis) 1, 4 addition polybutadiene was immiscible with high (91 percent) 1,2 addition polybutadiene. Reduction of the 1,2 content to 71 percent induced an upper critical solution temperature (UCST) with the cis 1,4 polymer. Polybutadienes with 50 percent and 10 percent 1,2 contents were miscible above the crystalline melting temperature of the cis 1,4 polybutadiene. Immiscibility of the 91 percent 1,2 addition polymer was also found with a 10 percent 1,2 polybutadiene. The latter polymer also exhibits an UCST with the 71 percent 1,2 polymer. The results are used to interpret the characteristics of blends of polybutadienes of varying microstructure.     

Process of acceleration of filtration of viscose

Conclusions It is significant that the purification on a single passage of viscose through porous ceramic corresponds to the result of a two-stage filtration of it in industrial filter-presses with standard fillings.Kiev Combine. Kiev Technological Institute of Light Industry. Translated from Khimicheskie Volokna, No. 3, pp. 20–22, May–June, 1969.