利用阵列传感系统降低硅微机械 加速度传感器的横向灵敏度

为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度,曾采取许多办法,但收效甚微,为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.以     

三轴高g值加速度传感器的横向效应研究

研究了自由落体冲击方法检测高量程三轴高g值加速度传感器的横向效应,即分别在x轴、y轴、z轴作为主轴时,检测三轴压阻传感器其他两个方向感受到的g值大小和方向。实验表明,在Z轴作为横向输出轴时横向效应最大。     

高g值三轴加速度传感器的横向效应研究

研究了自由落体冲击方法检测高量程三轴高g值加速度传感器的横向效应,即分别在x轴、y轴、z轴作为主轴时,检测三轴压阻传感器其他两个方向感受到的g值大小和方向。实验表明,在Z轴作为横向输出轴时横向效应最大。     

一种压阻式三轴加速度传感器的设计

介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化,确定加速度传感器的结构尺寸,并详细论述了三轴加速度传感器的制备工艺步骤和测试结果.     

基于光弹效应的三分量光弹光纤地震加速度传感器

为满足强电磁场环境下的高精度三维地震勘探的需求,研制了一种高精度三分量光弹光纤加速度地震传感器,该传感器具有线性度好、抗横向谐振的特点.利用光弹原理,设计出三轴光弹敏感系统,可高精度检测加速度的三个轴向分量.采用双弹簧弹性系统,有效地提高了加速度传感器的抗横向谐振特性,且线性度好.该传感器的主要参数:共振频率为3 500Hz,横向灵敏度系数为0.11%,主轴相位灵敏度为3.7×10-3 rad/m·s-2.     

三轴压阻式传感器横向效应的研究

研究了霍普金斯杆冲击方法和自由落体冲击方法检测高量程微机械三轴压阻式传感器的横向效应,即分别在x轴、y轴的正向或负向作主轴时,检测三轴压阻式传感器其他2个方向感受到的g值大小和方向。依据结构设计分析应该没有横向效应,然而,在实验的测量中都得出大的横向效应,尤其是在z轴作为横向输出轴时得到较大的横向效应,而x,y轴作为横向输出轴时横向效应相对较小。试验结果表明：一定的主轴输出脉冲方向确定一定的横向输出轴的脉冲方向。     

压阻式硅微型加速度传感器的研制

利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器,对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn,双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn,结果与理论设计值基本吻合。     

加压状态下P-T仪的加速度效应修正方法

针对石油井下射孔压力测试中,承受静液压力的状态下压阻式压力传感器的加速度效应影响了测试精度,提出了在加压环境下进行传感器的加速度效应修正的方法.该方法改进了试验装置,模拟产生静液压力作用于传感器敏感面上,利用摆锤锤击作为加速度冲击的激励源,获得了压阻传感器与加速度的响应关系,从而求得加速度效应灵敏度数学模型来修正实测中的射孔压力值.     

叠加电桥检测的加速度传感器设计

基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称"八悬臂梁—质量块"结构,构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端,4个惠斯通电桥的输出电压叠加后作为传感器的最终输出,有效提高了加速度传感器的灵敏度。通过数学建模仿真分析验证了方案的可行性。性能测试结果表明:该加速度计的灵敏度为1.1381mV/gn,频响范围为0～1000Hz,灵敏度约为单电桥检测法和串联电桥检测法加速度传感器灵敏度的4倍。叠加电桥检测法为压阻式传感器提高灵敏度提供了一种新思路。     

具有横向加速度补偿功能的硅微型加速度计

本文介绍一种量程为100g的压阻式加速度计，用硅材料制作，适于批量生产。这种新型加速度计的工作原理与原有的加速度计有所不同，检测质量块由两端支承的挠性梁支撑，利用梁上8个电阻构成的桥路来检测加速度。这一新型设计，不仅增添了横向加速度补偿功能，而且带宽、灵敏度高。加速度灵敏度为20mV／V F．S．O．，谐振基波频率为3．65kHz，检测质量块重量为4．1mg。