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本文利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法,将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全乍的灰度图,这种微区薄层电阻测试Mapping技术十分有利于评价材料的质量。在测试过程中应用微处理器,可立即数字显示相应的测量电压及微区的薄层电阻,加快了计算速度并有利于控制探针的合适位置。 相似文献
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微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法,将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全片的灰度图,这种Mapping技术十分有利于评价材料的质量,在测试过程中应生处理器,可立即数字显示相应的测量电压及微区的薄层电阻,加快计算速度并有利于控制探针的合适位置。 相似文献
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介绍了用有限元方法计算半导体方块电阻四探针测试中二维点电流势场的模型并且证明了其正确性,由于有限元方法对边界没有限制,该方法为方块电阻测试中精确确定边界修正系数,更重要的是为微样品测试结构确定提供直接明了的理论依据。 相似文献
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介绍了用有限元方法计算半导体方块电阻四探针测试中二维点电流势场的模型并且证明了其正确性。由于有限元方法对边界没有限制,该方法为方块电阻测试中精确确定边界修正系数,更重要的是为微样品测试结构确定提供直接明了的理论依据。 相似文献
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本文分析了在普通实验室内用六端口技术测量目标散射截面(RCS)的一种新方法,并给出了其误差修正模型。同时对六端口反射计测量RCS的实验结果进行了讨论。 相似文献
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用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量 总被引:4,自引:1,他引:3
提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法。论述了系统利用劳埃德镜干涉装置,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计。测量结果表明,新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量。该测量系统具有一定的实用价值及较广阔的应用前景。 相似文献
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提出了一种使用表面加工工艺设计多晶硅薄膜热导率的测试结构 ,论文推导了热学模型 ,给出了测试方法。由于其制造工艺能和其它微机械器件制造工艺完全兼容 ,因而能够达到监控MEMS器件制造工艺和在线检测的目的 相似文献
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利用激光光热技术测量材料初始应力 总被引:2,自引:0,他引:2
阐述利用激光光热技术测量材料初始应力的原理及实验技术。根据弹性力学的基本原理所建立的热传导方程,由激光光热技术的检测原理,导出了应力与激光光束偏转角的关系式。通过对激光偏转角的测量,得到材料内的初始应力,并对环氧树脂材料内的初始应力进行了测量,其结果与理论分析一致。 相似文献
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姜维正 《信息技术与信息化》2006,(4):63-65
本文给出了一种利用单片机进行控制的精密测频方法,以及该方法克服测量误差的原理。并对传统的测频方法中存在的精度低的问题进行了简单分析。 相似文献
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A new approach called field perturbation theory is presented to analyze the electricalimpedance technique for medicine.The formula of constant voltage and constant current fieldperturbation,modified G-L formula and the formula of electrical field perturbation evoked bysound field are derived.The application results of the theory in electroglottography are alsointroduced. 相似文献
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本文论述了瞬态电磁场用于目标识别的一种新方法,给出了激励目标的单模散射场的基本理论及其数学推导过程。把这一理论用于线性目标和导电球体,已获得了较为满意的结果,给出了计算目标冲击响应得到的有用的结论。最后提出了一个实际可行的,在时域中测试目标冲击响应的方案。实验证明这一方案是可行的。 相似文献
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场发射电子枪亮度测定的一种新方法 总被引:2,自引:0,他引:2
本文报导了通过测量场发射电子显微镜(FEM)分辨率,来测定场发射电子枪亮度的新方法。与考虑了系统像差影响的球——锥面模型理论的计算结果进行了比较,二者结果基本一致。 相似文献