电离升华泵的几种新颖高效电离器

一、概述 电离升华泵由于结构简单、价格低兼以及启动压强较高,目前在各种需要清洁高真空或超高真空的场合已获得广泛的应用。电离升华泵中,惰性气体主要依靠电离器离解成离子后抽除的,因此提高电离器的效率是提高这种泵对惰性气体抽速的重要措施。 电离器的抽速由下式(1)决定 Sj=0.193ajK,Ie(1)式中S为抽速(升/秒),a为离子的吸附几率,K为电离灵敏度(托-1),Ie为阴极发射电流(安培),足标j表示对惰性气体的种类。 由(1)式可知,提高电离器抽速的途径为:1.提高离子的吸附几率;2.提高电离灵敏度;3.适当增加阴极发射电流。 离子吸附几率与吸附…     

《WZK─IP型》复合计改为高压强计试验报告

一、概述 近年来,在低真空测量方面,工业上通常采用热传导真空计(热偶计、电阻真空计)或水银真空计。在工业用的真空系统中,如真空冶金、真空镀膜、真空浸渍、制药、造纸等要测量的压强常常处在中真空范围(1～10-5乇),因此广泛采用复合计。 热传导真空计测量准确性较差,受环境温度,油蒸汽污染的影响较大,对压强的快速变化反应较慢。水银真空计虽然原则上比较准确一些,但它影响工人的健康,此外操作不方便,读数慢,不能测量可凝性汽体等缺点。复合计的低真空和高真空衔接不好,用钨丝做灯丝的电离计管在10-1～10-3乇情况下工作寿命很短,。高压强…     

油扩散泵系统的电离规对前级压强测量的影响

一、序言 当油扩散泵的前级压强测量使电离规工作,极限压强测量用的BA规读数就增大,这种现象营田荣治,金铉佑①曾经碰到过,说他的原因是由于前级压强侧电离规的裂化气体起反扩散引起的。有一位作者在进行希科曼(Hickman)泵的极限压强特性的测量②时也观察到了同样的现象,根据实验条件发现这种现象有极端扩大的趋势。扩散泵一级的系统,其前级压强一般没有用电离规测量的,但是最近在超高真空排气系统惯用的串联扩散泵系统中,似乎主泵的前级压强有时用电离规测量的。在这种场合,为了用BA规正确地测量系统的极限压强,需要弄清各种因素对引起这…     

IF—2型分子筛吸附泵(超高真空维持泵)研制小结

一、概述 分子筛吸附泵是利用分子筛加热脱去吸附的气体和水份后,在低温时能吸附大量活性气体的特性而制成的一种吸气泵。这种真空泵既可以做予抽的前级泵,也可以做主泵,它可以用在低真空、高真空,也可以用在超高真空。目前用于低真空和高真空的较多,而用于超高真空则较少。在冷却方式上有外冷式和内冷式的种。现在,低真空用的外冷式结构较多,两者各有优缺点,今后的发展趋势应是内冷式的结构。 分子筛吸附泵比其他真空泵的结构简单,操作容易,活化了的分子筛只要连续供给液氮,在不需要水和电的条件下。就能吸附大量活性气体获得低真空、高真…     

新产品介绍──ZDR-8型数字式中真空电离计 ZDYQ-2型自动压强控制器

机械工业部沈阳真空技术研究所最近小量投产一批ZDR-8型数字式中真空电离计和ZDYQ-2型自动压强控制器,该产品线路结构新颖,工艺优良,技术指标先进,是真空测量仪表数字化显示的更新换新代产品。现在开始承接1986年订货和1985年四季度少量供货。主要技术性能:ZDR-8型数字式中真空电离计:·测量范围:1-1×10～(-6)托(9.9×10～1-9.9×10～(-4)帕).·测量精度:规管DL-8型小于±15%,电路:小于±5%.新产品介绍──ZDR-8型数字式中真空电离计 ZDYQ-2型自动压强控制器@李广顺$机械工业部沈阳真空技术研究所…     

金属离子源在冷阴极溅射离子泵中的应用

溅射离子泵之性能决定于它的电离速率。在低压强下,可电离的气体分子数量相应地减少。如果用一种高蒸气压的金属作放电电极,就能消除这个极限。在放电时,高蒸气压的金属电极发生局部加热,从而在气相中释放出大量金属原子。这些金属原子被空间电荷电子电离并被加速轰击到阴极上,结果使抽速提高很多。结果发现,在低于１０－４乇压强范围内电离速率（单位：安培／乇）增加５０％,对空气抽速（单位：升／秒）也增加５０％,这就远远超过现有离子泵的水平。残余气体分析指出,高蒸气压金属对真空系统并不产生污染。     

15Mn26Al4无磁钢在真空冷规上的应用

一、前言从真空工作范围来讲,以低、中真空比较普及。中真空测量技术在气体放电、等离子体、稀薄气体动力学以及真空冶炼、真空焊接,真空镀膜、空间模拟等方面具有重要的实际意义。目前广泛使用的电离(DL—2)—热偶(DL—3)复合真空计虽已有几十年的历史,但它的缺点却随着低、中真空技术的推广而日益显露。主要是:DL—2电离真空计在5×10~(-4)～1×10~(-3)乇内寿命很短、阴极工作十多小时后,发射能力将急剧下降;而在10~(-2)乇附近的低真空时,往往由于DL—3热偶计的判断失误、导致DL—2电离计进入高压强下工作,使电离计的电极氧化,甚至烧毁灯丝。此外,电离计是玻璃外壳,容易损坏。     

超高真空分离规的研究

本文介绍我们研制的超高真空分离规的初步结果。给出分离规的结构、工作状态、压强范围和灵敏度。在全压强范围,分别利用大圆筒电离计、BA计和分离规进行对比,说明分离规的读数是可靠的,发现分离规在高压强时收集极电流有饱和现象并加以说明,发现BA计在10~(-8)托(空气)量程就已出现电子诱导栅极离子解吸现象。在0.3×10~(-11)托的极限真空下,改变栅灯电压测收集极电流,用对数直线外延法确定分离规的x射线光电流本底,它为1×10~(-12)托,讨论了这种方法的可行性。最后提出进一步提高分离规灵敏度的一种措施。     

次级电子倍增器型离子泵

一、前言近年来,以半导体工业为主,超高压电子显微镜,加速器,表面物理研究等许多领域越来越需要清洁的超高真空。为达到这一目的,将注意力多集中在涡轮分子泵和低温泵方面。两者的优点是均比较容易获得清洁超高真空,而缺点是都需要烘烤出气,安装方向受到限制和需要辅助泵,要获得完全无油的超高真空排气系统似乎还存在一些问题。看来,一定需要清洁超高真空的装置的抽气,目前还是使用在上述方面问题较少,而且使用简便的离子泵。离子泵存在的问题是按容积计算泵的抽速小,特别是达到高真空后真空度越高抽速下降得越显著。抽速下降是因为气体压强在10~(-6)帕以上时电离空间的电子数几乎保持不变,而到更高真空时电子数随着气体压强的下降而减少。     

新型同轴电极结构碳纳米管场发射电离计

本文以碳纳米管(CNT)作为阴极电子源设计一种新型的冷阴极电离真空计结构,结构包括场发射电子源、阳极和离子收集极,阳极和离子收集极为同轴圆环结构。利用热化学气相沉积法在金属基底上直接生长碳纳米管,分别制备了4mm×5mm矩形和直径0.1mm圆形两种阴极发射面。碳纳米管阴极具有优异的场发射性能,开启电场1.70 V/μm。在氮气环境下,分别对不同阴极真空电离计结构的真空测量性能进行了研究,真空计在10-7到10-3Pa区间归一化电流(Ii/Ia)与压强表现出良好的线性关系,矩形和圆形发射面阴极对应的真空计其测量灵敏度分别是3.1×10-2Pa-1和1.3×10-2Pa-1。     

蒸发离子泵

本文叙述了从钛金属滴蒸发的新型蒸发 离子泵以及情性气体被无栅极的简单装置所 电离的原理。对普通气体来说,在压强为 1×10-6毫米汞柱下泵抽气速度约2000- 5000升/秒。对氩气来说,在压强为1×10-6 毫米汞柱压强下,泵抽气速度为50升/秒。 泵极限压强为3×10-8毫米汞柱。 高真空钛蒸发离子泵最初由美国学者提 出来的,作者们满意的感到泵中没有工作液 存在和可能避免按接冷凝阱。下述的泵虽是 仿照美国设计的,但蒸爱器和用离器的设计 确实是很有名望的。钛从液态滴表面连续蒸 发,此间可用液钛来消除蒸发器的恶化, 而且在没有蒸发器补充的条件…     

JK系列高真空抽气机组抽速不稳的解决办法

一、JK系列高真空抽气机组的特性一般它是由2X系列旋片真空泵作前级泵,用K系列高真空油扩散泵作主泵,并配有高真空蝶阀和低真空阀等。从这两种泵的抽气特性可看到,油扩散泵的工作压强为l0~(-4)～l0~(-6)托,最佳工作压强在5×10~(-4)～10~(-6)托;旋片真空泵的工作压强在760～10~(-2)托,最佳工作压强在760～10~(-1)托。以JK-150真空机组为例,它配的前级泵为2X-4,油扩散泵为K-150。分别绘出它们的抽气特性曲线。从特性曲线看到,JK系列真空机组     

四极质谱计与电离真空计组合的分压强测定法

1.前言 由于真空材料和真空技术的进步,已经能够比较容易地实现高真空和超高真空,但是伴随着高真空和超高真空的发展,以电离真空计为代表的所谓全压强计的指示值,因残余气体成分不同而进行变化,因此难以掌握正确的压强值。 另一方面,虽然以滤质器为代表的四极质谱计进行残余气体成分分析的方法是最简单的,可是由于四极质谱计离子检测灵敏度经常在变动,故不能充分地稳定进行残余气体成分的定量分析,即分压强定量分析不稳定。 然而,掌握真空容器中残余气体的成分在半导体生产工艺中是个非常重要的因素,因此,为了稳定而高灵敏度地定量分析残余…     

一种实用的残余气体分压强定量测定方法及其应用

本文介绍测定被分析残气样品分压强的一种实用的新方法,其实质在于用四极质谱定量分析与电离计测量的组合。将电离计读数压强转化成真实压强(计算值),进一步求出残气分压强。     

夏普PC-1500计算机在标准麦氏计检测电离规中的应用

在真空测量和校准中,用标准麦氏计检测二等标准电离真空规和工作用电离真空规以及其它高真空规,已成为一种可靠的手段。尽管麦氏计本身有一些不利的因素限制了它的使用范围,但是它具有精度高、重复性好、设备制造成本低等特点,是其它标准测量装置难以替代的。在校准过程中,因计算较麻烦,效率低,我们使用了 SHARP“pc-1500”计算机。     

油封罗茨泵作粗真空泵的试验

按罗茨原理工作的变容泵目前国内主要应用在两个领域:一是入口压强 760托,出口压强0.1～2公斤/厘米2做罗茨鼓风机使用;二是在入口压强为10～10-2托范围内与前级泵配合做机械增压泵使用;除此而外罗茨泵还有第三个重要的应用,即通过水封或油封,使罗茨泵直接对大气排气在入口压强为400托以上的粗真空区域工作。在这个范围内与目前广泛应用的水环泵相比罗茨泵的突出优点是能源消耗少,据法国《hibon》公司介绍用罗茨泵取代水环泵可以节电35%,我国沈阳造纸机械修造厂试制的ZBK—13型水封罗茨泵用于造纸机脱水也取得节电25%的效果。鉴于国内这方…     

玻璃扩散泵的新发展(二)

本文叙述一种新型的超高真空玻璃油扩散增压泵的设计思想及其特性的研究结果,泵的内径是 7 cm,在 1× 10-9乇至 5 × 10-3乇压强范围内保持抽速曲线平坦,加双层水冷帽后的平均抽速为150升/秒,泵的极限真空是 5 × 10-10乇,在 1× 10-3乇的最大前级耐压为1.2乇。新泵的特点是结构简单,极限真空高,工作范围很宽,返油率低。 引言 油扩散泵和油增压泵都是利用定向高速运动的油蒸气来排除气体,由于它们的结构不同和使用不同的工作液,因而其工作特性也就不同。油扩散泵的前级耐压较低,一般在0.3—0.76之间,但能在10-‘王以下相当宽的压强范围内保…     

金属超高真空检定系统

它是由天津市第四通用机械厂、天津市华北电器厂、天津市计量管理所共同设计试制成的,与标准电离真空计配合,可检定１０－４乇～１０－７乇之间的工作用电离真空计,并可作为超高真空测试系统。 系统采用两个油扩散泵串联,用北京化工研究院２７５＃硅油。经烘烤,加液氮冷凝,平均１６小时能达到≥５×１０－１０毛的极限真空。利用纯氮气经精密针间从中心喇叭嘴注入,形成亚稳态分子流层。使动态稳定性达到５分钟内变化≤１％。由于金属管道能精加工,与玻璃水银系统比较,能获得很好的对称性,消除了管道几何尺寸不一致所造成的压强差。 试验表明：检定误差的主要因素是标准电离真空计线路及电离计管的线性,以及对规管的除气功率和环境温度,而本系统带来的误差是很小的。     

蒸发离子泵原理和结构

高真空泵的一种新型式早已被发现,这种泵不用冷阱或挡扳即能抽出真空系统中的有机蒸汽物质和高蒸汽压物质,只要采用一定的功率就能抽出真空系统中的有机蒸汽物质和高蒸汽压物质,只要采用一定的功率就可以得到很高的抽速。在这种泵中采用连续蒸发钛收气对绝大多数普通气体都产生抽气作用。不能被收气作用抽走的气体成份都被电离和被驱逐到泵壁上,并于此被冷凝的钛埋陷住。在 2×10-6毫米汞柱时,对氢、氧、氮的抽速为7000升/秒左右。可达到的最低压强为2×10-7毫米汞柱。抽速决定于收气表面的温度,被蒸发钛的压强和速率,本文讨论在抽气机构中…     

DJT—1型金属陶瓷电离计管

DJT—1型金属陶瓷电离计管是我们学校电真空教研组为了贯彻毛主席的教育为无 产阶级政治服务,教育与生产劳动相结合的教 育方针,在1973年试制的。由于我们工作缺乏 经验,管子难免存在很多缺点,欢迎各单位试 用并提出宝贵意见。 一、DJT-1的结构(见图1) 1.管子的底盘是由无磁不锈钢制成,表 面镀镍。电极引线是由钨杆、可伐帽和95% Al2O3瓷封接而成,然后采用72 %银铜焊料, 钎焊在底盘上,最后经质谱探漏仪检查不漏, 这样就保证真空密封,并可以进行高温烘烤。 2,电极由栅极、两根倒J型灯丝和收集 极构成。栅极采用φ0.5mm钨丝制成直径 20mm…