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SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展 总被引:5,自引:4,他引:1
甲烷是具有稳定四面体分子结构的碳氢化合物,其键能大、分解困难且活性低,是煤矿安全生产的主要障碍及一种温室气体。SnO2半导体薄膜制备工艺简单、成本低廉、性能稳定,是甲烷传感器研发的主流气敏材料。科技人员进行了很多相关研究以提高传感器的性能,如新气敏材料的研究、催化剂/添加剂的使用、气敏机理的探索、传感器结构改进及气敏膜的表面修饰改性等。本文从气敏膜制备与改性、传感器结构设计及气敏机理研究三个方面,综述了近年来SnO2复合薄膜甲烷传感器的研究进展,结果表明:①应开发复合型金属氧化物半导体及高分子气敏材料,以提高灵敏度、选择性与稳定性;②研发微型智能传感器是未来发展的主要方向,而自组装技术应可用于制备金属氧化物半导体薄膜气体传感器微纳阵列;③气敏机理应与实验测试、材料设计及器件制备进行对照研究。 相似文献
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介绍了气体传感器的特性;根据气体传感器使用的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的效应不同,对气体传感器进行了分类;介绍了目前气敏元件的加工技术;论述了气体传感器的发展方向。 相似文献
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二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料,常用来制备气敏传感器。本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化畅薄膜,在500℃下退火2h。通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试。实验表明,该薄膜对酒精、丙酮和二氧化硫气体具有较强的敏感性。本文还研究了温度、复合浓度和气体浓度对薄膜气体传感能力的影响。 相似文献
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选择性是评价气敏传感器使用价值的重要性能指标.综述了近年来国内外气敏材料及其传感器选择性方面的研究进展,从气敏机理详细分析了影响传感器选择性的因素,重点介绍了提高气敏选择性的新技术、新方法,如掺杂、气体过滤膜、纳米技术、制备复合型气敏元件等,详细探讨了其工作机理,并简要介绍了气敏选择性未来的研究趋势. 相似文献
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可燃气体报警器按自身形态可分为固定式和便携式可燃气体报警器。按照检测原理主要有催化燃烧式、气敏半导体式和红外线吸收式等。催化燃烧式可燃气体报警器是目前市场上最多的一种.在国内.此种报警器技术已经比较成熟。 相似文献
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以三氧化钨为基材,通过掺杂制作了半导体型氯化氢气体传感器,研究元件的气敏特性.以钨酸钠和浓盐酸为反应物,采用溶胶一凝胶法,制备出具有特殊结构的三氧化钨.通过XRD、SEM、TEM等微观分析手段,发现该材料具有层片状结构,结构松散,平均粒径约17纳米.研究发现,掺杂适量的氧化铝可以大大提高三氧化钨对氯化氢气体的灵敏度,但元件稳定性以及选择性比较差,通过掺杂少量的氧化锌,虽然降低了元件的灵敏度,却可以大大提高元件的稳定性,适当提高加热电压,可抑制元件对NO2等气体的灵敏度,提高选择性.本文对三氧化钨的气敏机理及特性进行分析. 相似文献
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防毒面具的滤毒盒失效判断主要依靠嗅觉和规定使用时间,但这两种方法都存在明显局限。多年来人们寻求用一种客观的方法指示滤料失效。章对应用半导体气敏传感器实现防毒面具滤毒失效指示进行了探讨,对气敏元件的基本原理、选择性、分辩力、重复性、响应时等主要技术参数进行了阐述,对使用CGS气敏传感器的试验结果进行了分析讨论。结果表明,应用半导体气敏传感器实现防毒面具滤毒盒失效指示的技术途径是可行的,有着广泛的潜在市场和较大的社会经济效益。 相似文献
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《功能材料与器件学报》2021,(1)
丙酮是一种有毒有害的有机气体,广泛存在于工业生产及家居生活中,同时也是糖尿病的诊断物之一,因此准确实时的丙酮检测手段是安全生产和人体健康所迫切需要的。金属氧化物半导体气体传感器具有灵敏度高、成本低、可靠性高等优点,在有毒有害气体检测领域应用广泛。本文综述了近年来丙酮气敏传感材料的研究进展,对气敏材料的结构与形貌、气敏机理与改性手段等方面进行了介绍,分析了其研究现状以及未来的发展趋势。 相似文献